| 研究課題/領域番号 |
16K13637
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノ材料工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
菅原 徹 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (20622038)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2016年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 有機金属分解法 / 半導体ガスセンサ / 酸化物薄膜 / ナノ構造材料 / ガスセンサ / 酸化物コーティング / 酸化物ガスセンサ / ナノ構造 / 酸化モリブデン |
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| 研究成果の概要 |
セラミックス薄膜を省エネ、低材料資源、短時間プロセス（低プロセスコスト）で製造する技術は、次世代エレクトロニクに大きな寄与を果たす。本研究の高精細でアスペクト比の高い単結晶α-MoO3ナノロッドアレイは、簡便な手段で大きなエリアに製膜し、既存のセンサデバイスを大きく上回る性能を示した。従って、本研究の手法は、製造プロセスのコスト削減と省資源を実現する有用な次世代エレクトロニクス製造手段である。
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