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応力発光を利用したポリマーMEMSの構造信頼性新規評価体系構築への挑戦

研究課題

研究課題/領域番号 16K13651
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 ナノマイクロシステム
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

神谷 庄司  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00204628)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2017年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード有機薄膜トランジスタ / フレキシブルデバイス / 曲げ試験 / 電気特性変動 / 電子顕微鏡 / その場観察 / 応力発光体 / 曲げ疲労試験 / 電子顕微鏡観察 / 銀ナノ粒子インク配線 / プリンテッドエレクトロニクス / 有機トランジスタ / フレキシブルエレクトロニクス / 有機半導体
研究成果の概要

本研究は機械的な負荷を伴う電子デバイスの機械的信頼性を確保するため、PENフィルム上に作製した有機薄膜トランジスタの曲げ試験を実施し、曲げひずみとIV特性との関係および素子破壊へ至る限界点を評価した。トランジスタのチャネルに対して水平方向または垂直方向に曲げたとき、曲げひずみの増加に伴ってトランジスタの電流値は減少傾向を示した。素子の破壊の限界点はひずみ9.8%であり、有機半導体層の分断またはリーク電流の2つの故障モードが存在することを確認した。応力発光体をフィルム表面に塗布することで、曲げ負荷によって生じる亀裂の伝播や破壊点を可視化・検出する手段としての有効性を実験的に確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

曲げる電子ペーパーや折りたたみディスプレイのように柔軟性をもつ電子デバイスの実用化が期待される中、これら製品を安全に設計・運用するにはデバイスの機械的負荷に対する電気特性変動や故障に至る限界点の評価が重要であり、本研究では高分子フィルム上に製作した有機薄膜トランジスタの曲げ試験により素子の曲げひずみと電気特性劣化を評価し、さらに電子顕微鏡観察下で曲げ試験を実施することで曲げ負荷に伴う素子の損傷過程についても明らかにした。また機械的な負荷をうけるデバイスの破壊や損傷の可視化・検出方法として応力発光体が有効な手段であることを実験的に確認した。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2019 2018 2017 2016

すべて 学会発表 (7件) (うち国際学会 2件)

  • [学会発表] A novel scheme of characterization for performance deterioration behavior of flexible devices under bending deformation2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kamiya, H. Izumi, T. Sekine, N. Shishido, H. Sugiyama, Y. Haga, T. Minari, M. Koganemaru, S. Tokito
    • 学会等名
      46th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 印刷有機薄膜トランジスタの曲げ変形による損傷と電気特性変動2018

    • 著者名/発表者名
      宍戸信之、泉隼人、関根智仁、杉山裕子、神谷庄司、小金丸正明
    • 学会等名
      日本機械学会2018年度年次大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] レキシブル基板上に印刷された銀粒子配線の曲げ疲労損傷挙動とその評価2018

    • 著者名/発表者名
      神谷庄司、泉隼人、関根智仁、杉山裕子、芳賀康子、宍戸信之、小金丸正明
    • 学会等名
      日本機械学会2018年度年次大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Bending Durability of Organic Thin Film Transistor and Stress Sensing using Mechanoluminecence2018

    • 著者名/発表者名
      H. Izumi, Y. Haga, N. Shishido, S. Kamiya
    • 学会等名
      The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 応力発光を用いた積層構造フィルムの屈曲変形に伴う損傷挙動の評価2018

    • 著者名/発表者名
      泉隼人、芳賀康子、宍戸信之、神谷庄司
    • 学会等名
      日本機械学会東海支部第67期総会・講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] フレキシブル有機トランジスタの曲げ変形による性能劣化モードのその場観察2017

    • 著者名/発表者名
      宍戸信之、末松祐一、泉隼人、神谷庄司
    • 学会等名
      日本機械学会2017年度年次大会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 曲げ試験による有機薄膜トランジスタの信頼性評価2016

    • 著者名/発表者名
      宍戸信之、末松祐一、神谷庄司
    • 学会等名
      日本機械学会2016年度年次大会
    • 発表場所
      九州大学伊都キャンパス、福岡
    • 年月日
      2016-09-11
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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