| 研究課題/領域番号 |
16K13688
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
山崎 順 大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 准教授 (40335071)
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| 研究分担者 |
田中 信夫 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 研究員 (40126876)
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| 連携研究者 |
齋藤 晃 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 教授 (50292280)
郷原 一寿 北海道大学, 工学研究院, 教授 (40153746)
平田 秋彦 東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 准教授 (90350488)
小林 慶太 大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 助教 (40556908)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 収差補正電子顕微鏡 / 正焦点 / 格子縞コントラスト / 金属ナノ粒子 / 三次元分布 / 非整合エピタキシャル界面 / 三次元観察 / 収差補正TEM / 焦点位置スキャン / 結晶格子縞 / ナノ粒子 / 動画計測 / 三次元計測 / 深さ分解能 / ナノ構造 / 単原子 |
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| 研究成果の概要 |
収差補正TEM像における結晶格子縞コントラストが正焦点で極小となる性質を利用して、焦点位置スキャン（フォーカルシリーズ）から金属ナノ粒子の三次元分布を簡便に計測する手法を開発した。またこの過程で結晶格子縞コントラストを定量的に表示できるフィルター処理の開発に成功した。これを活用して半導体の非整合エピタキシャル界面のラフネスを可視化・定量計測する手法開発にも成功した。
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