| 研究課題/領域番号 |
16K13693
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
光工学・光量子科学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
豊田 光紀 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (40375168)
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| 研究分担者 |
高橋 栄治 国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, 専任研究員 (80360577)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | 極紫外 / 多層膜ミラー / 高次高調波 / 回折限界 / 色収差 / 極紫外線 / 軟X線 / 集光光学系 |
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| 研究成果の概要 |
波長10-50nm程度の極紫外(XUV)領域では、先端のレーザー光源技術の発展により、高強度なアト秒パルスが報告され、非線形光学現象の励起が可能になりつつある。本研究では、高次高調波などのアト秒パルス光を回折限界で集光するための、XUV多層膜ミラーによる集光システムを開発した。初めに幾何収差論を用い、大開口数を実現するミラーデザインを得た。さらに、多層膜ミラーの干渉効果による波面の波長分散（色収差）に着目し、この補正法を独自の解析モデルにより見出した。さらに、色収差を補正したアクロマティック多層膜ミラーをマグネトロンスパッタリング法により曲面ミラー基板上に成膜し、集光光学系を構成した。
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