| 研究課題/領域番号 |
16K13695
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
光工学・光量子科学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
種村 拓夫 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (90447425)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2017年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 光集積回路 / プラズモニクス / 半導体レーザ / ナノフォトニクス |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，能動光素子を高密度に集積した半導体光回路の実現に向けて，微小金属キャビティを用いた各種プラズモニック素子を開発することを目的とした．まず，応募者が独自に提案したカプセル型微小金属キャビティ構造の作製に向けて，基盤プロセス技術の最適化を進めた．その結果，高解像かつ側壁の粗さを軽減した構造を作製することに成功し，室温レーザ発振動作を観測した．さらに，電流ブロッキング層を導入した電流注入型素子を試作し，電流注入下における低温レーザ発振に成功した．また，光導波路に結合したキャビティ構造を新規に設計し，素子の試作実証に成功した．
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