| 研究課題/領域番号 |
16K14118
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
箕島 弘二 大阪大学, 工学研究科, 教授 (50174107)
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| 研究分担者 |
平方 寛之 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (40362454)
近藤 俊之 大阪大学, 工学研究科, 助教 (70735042)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2017年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2016年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
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| キーワード | 材料強度学 / ひずみ測定 / 金属薄膜 |
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| 研究成果の概要 |
ナノ薄膜の変形・破壊が生じる局所力学場の実測を目的として，高分解能電子後方散乱回折（HR-EBSD）によるひずみ測定法を含む各種評価手法を比較・検討した。まず，その場電界放射型走査電子顕微鏡観察/EBSD解析が可能な引張試験装置を開発した。これを用いて，銅ナノ薄膜切欠き材のひずみ場を透過型を含むEBSDひずみ解析法で求めた。併せて，電子線誘起堆積法により多数の標点を規則的に配置し，その標点変位より解析する手法を検討した。これらを比較・検討した結果，EBSD法による手法では，ひずみ場を定性的に評価できたのに対して，標点を用いる手法では，定量的に評価できることを示唆する結果を得た。
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