| 研究課題/領域番号 |
16K14124
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
小川 修一 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (00579203)
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| 連携研究者 |
高桑 雄二 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (20154768)
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| 研究協力者 |
阿加 賽見
杉本 倫太朗
橋本 晋
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 光電子制御プラズマ / 表面平坦化 / 精密加工 / ダイヤモンド / 低エネルギーイオンビーム / ダイヤモンドライクカーボン / 平坦化 / DLC / タウンゼント放電 / CVD / プラズマプロセス / 超精密加工 |
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| 研究成果の概要 |
ダイヤモンド表面を原子スケールで平坦化するために、光電子制御プラズマイオン源を用いた低速イオンビームの生成機構を調べた。ダイヤモンド表面に水素が吸着することによって光電子が放出しやすくなり、平坦化に適した低速イオンビームを生成できることがわかった。また高価なダイヤモンド基板に替わって、安価なダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜を用いた平坦化実証実験を行うため、DLCの成長メカニズムを明らかにした。
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