| 研究課題/領域番号 |
16K14144
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
|
|---|
| 研究機関 | 新潟大学 |
|---|
研究代表者 |
新田 勇 新潟大学, 自然科学系, 教授 (30159082)
|
|---|
| 研究協力者 |
月山 陽介
菅野 明宏
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
|
|---|
| キーワード | 設計工学 / 機械機能要素 / トライボロジー / レーザ走査 / 欠陥検査 |
|---|
| 研究成果の概要 |
機器の高精度化により，平滑面を作製する技術が重要になっている．LED作製に利用されるサファイアウエハでは，微細な研磨傷が性能を左右するために，その傷検査が喫緊の課題である．現状は大がかりな検査装置を複数使って傷検出が行われている．本研究では，通常の顕微鏡に比べて400倍広い視野を持つ広視野レーザ顕微鏡という小型の装置で，ナノレベルの傷検査が可能であるかを調べた．結果としてそれが可能であることを示した．
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
欠陥検査では，ラインセンサやCCDカメラ等を用いるのが一般的であり，多方面に利用されている．現在，欠陥検出への要求は対象欠陥の微小化と，検査領域の広範囲化がある．この2つの要求は相反するものであり，微小な欠陥検出のために光学系の倍率を上げると，観察領域は狭くなる．他にも，フィルムやガラスなどの薄い透明体に対しては，照明系の選択も難しくなり，従来のカメラ型システムが不得意な分野であり，新たな手法の提案が待たれている．
本研究では既開発の広視野レーザ顕微鏡がnmレベルの微細欠陥を検出できるかを調べた．その結果，サファイアガラスとSiウエハに作製した数nmの浅い欠陥でも検出できることを示した．
|
