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再利用が可能な基板上での窒化物半導体発光素子の作製

研究課題

研究課題/領域番号 16K14232
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関京都大学

研究代表者

船戸 充  京都大学, 工学研究科, 准教授 (70240827)

研究分担者 川上 養一  京都大学, 工学研究科, 教授 (30214604)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2017年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2016年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワード窒化物半導体 / 発光素子 / へき開性基板 / 結晶工学 / 光デバイス / 結晶成長
研究成果の概要

本研究では,へき開・再利用可能な基板上での半導体の結晶成長およびデバイス応用に向け,ScMgAlO4基板上の窒化物半導体を検討した.GaNやInGaN量子井戸発光層の作製条件を確立し,近紫外~緑の発光ダイオード(LED)を試作したところ,従来のサファイア基板上LEDよりも強く発光した.また,ScMgAlO4基板に格子整合するIn組成17%のInGaNをベースとした量子井戸を作製し,黄緑~赤で発光を得ることに成功した.サファイア基板上量子井戸と比較すると,例えば赤色で発光強度は約40倍に増大した.提案する構造が,可視発光素子の基本構造として高いポテンシャルを持つことが明らかになった.

報告書

(3件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2017 2016 その他

すべて 学会発表 (5件) (うち国際学会 2件、 招待講演 2件) 備考 (1件)

  • [学会発表] Impact of InGaN epitaxy lattice matched to ScAlMgO4 substrates on future photonic devices2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Kawakami, T. Ozaki, and M. Funato
    • 学会等名
      12th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 窒化物半導体における輻射・非輻射再結合過程2017

    • 著者名/発表者名
      船戸充, 川上養一
    • 学会等名
      第9回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Compositional pulling effect of InGaN films grown on ScAlMgO4 (0001) substrates by metal-organic vapor phase epitaxy2016

    • 著者名/発表者名
      T.Ozaki, M.Funato, and Y.Kawakami
    • 学会等名
      Intern. Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Orlando, USA
    • 年月日
      2016-10-04
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ScAlMgO4 (0001)基板上InGaN薄膜における格子整合近傍での組成引き込み効果2016

    • 著者名/発表者名
      尾崎拓也, 船戸充, 川上養一
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ,新潟
    • 年月日
      2016-09-15
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] ScAlMgO4(0001)基板上InGaN薄膜における組成引き込み効果2016

    • 著者名/発表者名
      尾崎拓也, 船戸充, 川上養一
    • 学会等名
      第8回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス
    • 年月日
      2016-05-09
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [備考] ScAlMgO4基板上への可視発光ダイオードの作製

    • URL

      http://www.optomater.kuee.kyoto-u.ac.jp/research_4.html

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2019-03-29  

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