| 研究課題/領域番号 |
16K14252
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 富山大学 |
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研究代表者 |
前澤 宏一 富山大学, 大学院理工学研究部(工学), 教授 (90301217)
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| 研究協力者 |
森 雅之
遠矢 浩士
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2018年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2016年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
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| キーワード | 共鳴トンネル素子 / 酸化物半導体 / 有効質量 / 逐次トンネル / マイクロ波集積回路 / 溶液プロセス / 共鳴トンネル / 非晶質 / マイクロ波 / ミリ波 |
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| 研究成果の概要 |
塗布型酸化物半導体を用いた共鳴トンネルダイオードの実現に向けて検討を行った。半導体材料としては、比較的バンドギャップ、有効質量が小さいIn2O3を対象とした。また、バリア材料としては、In2O3と性質の近いGa2O3、及び、より薄く、均一な構造を作成可能と考えられるHMDS（ヘキサメチルジシラザン）自己整合単分子膜を対象とした。これらを用いてninダイオードを作製し、電流ブロック特性を確認し、RTDのバリア層として使用可能なことを示した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究の目的は、移動度の小さい非晶質酸化物半導体を用いて高性能な共鳴トンネル素子(RTD)を作製し、マイクロ波/ミリ波エレクトロニクスの基礎を作ることにある。非晶質酸化物半導体は、散乱頻度が高いため、移動度が小さく、高周波トランジスタを作るのは難しい。しかし、有効質量は比較的小さく、量子効果の発現は可能である。特にRTDは、散乱頻度が高くても、逐次トンネルの効果により十分に高性能な素子が作製可能と考えられる。これを用いて無線通信が可能な高周波回路が形成できれば、IoT への応用など、その効果は大きい。
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