| 研究課題/領域番号 |
16K14437
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
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研究代表者 |
鈴木 常生 長岡技術科学大学, 工学研究科, 准教授 (00313560)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2016年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
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| キーワード | 硬質薄膜 / パルスレーザー堆積法 / 強制固溶 / ナノコンポジット / ケミカルシフト / 高圧相 / 窒化チタン / 固溶 / 材料加工・処理 |
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| 研究成果の概要 |
硬質薄膜材料の代表であるTiN薄膜に、第三元素としてSiを添加したTi-Si-N薄膜は、TiN結晶内へのSi固溶が明らかではない。パルスレーザー堆積法でMgO基板上にエピ成長させた薄膜を作製し、次の知見を得た。Siの添加量を調整した結果、SR=0-15%のTi-Si-N薄膜がエピ成長していた。SiはTiN結晶内に固溶つまりSiが6配位状態で存在していることが示唆された。硬度は最大で56.9GPaであった。XPSでは、Si-N結合起因の102 eVのピークが得られ、これまでa-SiNXだと思われていたピークと同じ位置であり、固溶状態においても同様のピークを示すということになる。
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