研究成果の概要 |
硝酸ガリウム,アンモニア,硝酸などを含む水溶液中から電解合成により窒化ガリウム半導体薄膜を合成した. はじめに,0.01M GaCl3浴中において,Cu, Zn, Fe, Pt 電極を用いてカソード定電位電解を行った.金属Ga以外に電極との間で金属間化合物を生成した.Ti, Si上へは球状のGaのみが電析し,金属間化合物にはならなかった. 次に,Siを基板としてガリウムイオンを含む酸性水溶液に硝酸アンモニアを加えて電解すると酸化ガリウム相中に窒化ガリウム相が混在した薄膜が得られた.フォトルミネッセンス(PL)では3.28eV (378 nm)にc-GaN特有の発光ピークが観察された.
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