| 研究課題/領域番号 |
16K17500
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
吉田 慎哉 東北大学, 工学研究科, 特任准教授 (30509691)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2017年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2016年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) / 超音波トランスデューサ / pMUT / 圧電MEMS / 圧電ＭＥＭＳ / レンジファインダー / ｐＭＵＴ / マイクロ・ナノデバイス / 先端機能デバイス / 電子・電気材料 / 電子デバイス・機器 / デバイス設計・製造プロセス |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は，圧電薄膜を用いながら，低電圧（例えば3.3V以下）で数mの測距が可能な小型の超音波距離センサーを創り出し，ロボットシステムへの応用可能性を示すことである。次のような要素技術開発および実証実験を行った。（１）クラックフリーの超高性能PZT系単結晶薄膜のSi基板上への形成，（２）PZT用金属エピタキシャルバッファ層の開発，（３）圧電微小超音波トランスデューサ（pMUT）の信号雑音(SN)比を最大化するための理論の構築，（４）pMUTレンジファインダの試作と高性能測距能の実証。
この結果，小型で安価なロボット用近接覚センサモデュールやソナーシステムを実現できる可能性が示唆された。
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