| 研究課題/領域番号 |
16K17502
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
平井 義和 京都大学, 工学研究科, 助教 (40452271)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2016年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | ナノマイクロ加工 / 原子時計 / 原子磁気センサ / CPT共鳴 / 三次元微細加工 / ガスセル / MEMS / アルカリ金属 / 計測工学 / マイクロ・ナノデバイス / 先端機能デバイス / 応用光学・量子光工学 |
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| 研究成果の概要 |
アルカリ金属ガスをシリコンとガラスで作製したセルに封入した「ＭＥＭＳ型ガスセル」は、小型原子時計や高感度磁気センサの心臓部として使用される。そのため、高性能な小型原子デバイスを作製するには、微細加工技術によるガスセル作製法が重要である。本研究では、多孔質アルミナやシリコンの三次元構造にアルカリ金属アジ化物の結晶を析出したアルカリ金属生成源を開発し、この生成源とプラズマ陽極接合を融合したウェハレベルのガスセル作製法を確立した。提案手法ではＭＥＭＳ型ガスセルが高効率かつ低温で作製できることを実証したとともに、小型原子デバイスの高性能化につながる作製法であることも明らかにした。
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