| 研究課題/領域番号 |
16K17993
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
金 亮鎭 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (70755678)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
中途終了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2017年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2016年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 干渉計 / 波長走査 / 曲率半径 / レンズ |
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| 研究実績の概要 |
本研究では曲面レンズの絶対曲率半径の測定を目的として複合型干渉計の開発及び新しい位相検出アルゴリズムの開発を行う予定であった．途中中断により複合型干渉計の開発は行えなかったが，既存の位相検出アルゴリズムの性能を大幅に超える6N-5位相検出アルゴリズムの開発に成功し，透明試料の光学的厚さ分布の変動成分と表面形状の同時測定を研究期間中に行った．
6N-5位相検出アルゴリズムは同研究者の開発した4N-3位相検出アルゴリズムと同様にSurrelの特性多項式を基盤として開発された．特性単位円上に六重根を配置し，特性多項式を展開することによって6N-5位相検出アルゴリズムのサンプリング振幅が得られた．また，カップリング誤差にも注目して他位相検出アルゴリズムと性能評価を行った結果，6N-5位相検出アルゴリズムが一番優れた性能を示すことが分かった．6N-5位相検出アルゴリズムの開発を行う前に5N-4アルゴリズムの開発を行い，シリコンウエハーの表面形状の測定を行った．
6N-5位相検出アルゴリズムとFizeau型波長走査干渉計を用いて透明試料の光学的厚さ分布の変動成分と表面形状の同時測定を行い，いずれの結果も従来の位相検出アルゴリズムを用いた結果より高い精度で測定できることがわかった．
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