| 研究課題/領域番号 |
16K18031
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
熱工学
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
トランシャン ローラン 九州工業大学, 大学院工学研究院, 特任助教 (50754785)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2016年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 熱伝導 / 薄膜 / 表面フォノンポラリトン / ３オメガ法 / 熱伝導率 / 誘電体 / ガラス薄膜 / 減衰全反射 / 反射率測定 / マイクロ・ナノデバイス |
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| 研究成果の概要 |
解析で予測されている表面フォノンポラリトンによる熱輸送促進を示すため，微細加工技術により，二酸化シリコンの極薄自立薄膜を作製し，3オメガ法により横方向熱伝導率を測定した．薄膜の熱伝導率は，バルク状材料よりも大きな値を示したが，100nmより薄い薄膜を生成できず，明確な表面フォノンポラリトンの熱輸送促進を示すまでには至らなかった．しかし，窒化シリコン膜生成との積層薄膜を作製することで，二酸化シリコン極薄膜を生成する手法，細線加熱による横方向熱伝導率を測定するノウハウを確立し，さらなる極薄膜を生成して表面フォノンポラリトンによる熱輸送促進を確認するための一連の手法を確立した．
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