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積層セラミック磁気回路を用いたMEMS発電機の開発

研究課題

研究課題/領域番号 16K18055
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関日本大学

研究代表者

金子 美泉 (高藤美泉 / 高藤 美泉)  日本大学, 理工学部, 助教 (30755418)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2018年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2017年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2016年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワードMEMS / タービン / 電磁誘導 / 積層セラミック / 磁性体 / 小型化 / セラミック / 低沸点媒体 / ランキンサイクル / ベアリング / 電磁誘導式 / マイクロ・ナノデバイス / 発電機
研究成果の概要

本研究課題の目的は「積層セラミック技術とMEMS技術を組み合わせることでこれまで困難であった小型な電磁誘導式発電機を開発する」ことにあった。研究成果として、積層セラミック技術による立体配線と磁性コアをもつ三相磁気回路と、MEMS工程で作製したボールベアリングとリム型ロータを導入した回転数290,000rpmのタービンを組み合わせた5mm程度の小型電磁誘導式発電機を開発した。発電結果として、圧搾窒素を0.3MPa、2.9l/minの条件で流入したとき約3mVA(負荷抵抗3Ω)の出力電力を得た。今後は開発した発電機をランキンサイクルと組み合わせることで小型な発電システムの開発を行う。

研究成果の学術的意義や社会的意義

シリコンフォトリソグラフィーを基本とするMEMSと粉体やペーストなどを基本とする積層セラミック技術を組み合わせることの前例は少なく、学術的な特色であるといえる。また、5㎜程度で巻線なしで立体配線をもつ電磁誘導式MEMS電磁デバイスは異例であり、実用化も見込める。また、これらの実例を示すことでMEMSと積層セラミックを融合した新たなデバイスの可能性を示唆することができたといえる。社会的意義としては近年注目が集まるIoTデバイスへ向けた小型電源としての活用が可能となると考えられる。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (20件)

すべて 2019 2018 2017 2016 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (14件) (うち国際学会 7件) 図書 (1件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Design and Fabrication of Electromagnetic Induction Type MEMS Generators with Ceramic Magnetic Circuit2018

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Kazuya Kudo, Kaito Mishima, Kazuki Ebisawa, Ken Saito, Fumio Uchikoba
    • 雑誌名

      2018 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics (AIM)

      巻: - ページ: 580-585

    • DOI

      10.1109/aim.2018.8452283

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Development of mountable electromagnetic induction type MEMS generator2018

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Kaito Mishima, Kazuya Kudo, Kazuki Ebisawa, Ken Saito, Fumio Uchikoba
    • 雑誌名

      2018 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC)

      巻: - ページ: 293-298

    • DOI

      10.23919/icep.2018.8374307

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • オープンアクセス
  • [学会発表] 低沸点媒体を作動流体に用いた小型ランキンサイクル発電機の検討2019

    • 著者名/発表者名
      金子美泉, 工藤和也, 岡嶋航, 田中勝之, 内木場文男
    • 学会等名
      第33回 エレクトロニクス実装学会 春季講演大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MEMS power generator operated by fluorocarbon gas2018

    • 著者名/発表者名
      M. Kaneko, K. Kudo, K. Ebisawa, K. Tanaka and F. Uchikoba
    • 学会等名
      Power MEMS 2018 Conference
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MEMS Air Turbine Generator with Ceramic Magnetic Circuit Aiming at Power Supply for IoT Edge Devices2018

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Kazuya Kudo, Kazuki Ebisawa, Ken Saito, Katsuyuki Tanaka and Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      The 5th International Conference of Competitive Materials and Technology Processes
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 小型ランキンサイクルのためのMEMSタービン発電機の開発2018

    • 著者名/発表者名
      金子美泉、工藤和也、海老澤和紀、田中勝之、内木場文男
    • 学会等名
      第35回 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Design and Fabrication of Electromagnetic Induction Type MEMS Generators with Ceramic Magnetic Circuit2018

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Kazuya Kudo, Kaito Mishima, Kazuki Ebisawa, Ken Saito, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      2018 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics (AIM)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of mountable electromagnetic induction type MEMS generator2018

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Kaito Mishima, Kazuya Kudo, Kazuki Ebisawa, Ken Saito, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      2018 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ボールベアリングを導入したMEMS電磁デバイスの開発と検討2018

    • 著者名/発表者名
      金子美泉、三島海斗、工藤和也、海老澤和紀、佐村隆弘、齊藤健、内木場文男
    • 学会等名
      第32回エレクトロニクス実装学会 春季講演大会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 積層セラミック磁気回路を用いた電磁誘導式発電機の小型機構2017

    • 著者名/発表者名
      高藤美泉、三島海斗、工藤和也、齊藤健、内木場文男
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2017年年会
    • 発表場所
      日本大学 駿河台キャンパス(東京都・千代田区)
    • 年月日
      2017-03-17
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of MEMS Air Turbine Micro Generator with Ball Bearing Mechanism and Magnetic Material2017

    • 著者名/発表者名
      K. Kudo, K. Ebisawa, K. Mishima, M. Takato, K. Saito, F. Uchikoba
    • 学会等名
      Power MEMS 2017
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 軸受機構を導入した電磁誘導式MEMS発電機のための積層セラミック磁気回路設計2017

    • 著者名/発表者名
      金子美泉、三島海斗、工藤和也、齊藤健、内木場文男
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第30回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 軸受け機構を導入したMEMSエアタービンと積層セラミック磁気回路を組み合わせた5mm角サイズの電磁誘導式発電機2017

    • 著者名/発表者名
      三島海斗、工藤和也、金子美泉、齊藤健、内木場文男
    • 学会等名
      電気学会平成29年度E部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of Miniature Generator Combined with Magnetic Ceramic Material and Silicon Micro Air Turbine2017

    • 著者名/発表者名
      Kaito Mishima, Kazuya Kudo, Minami Takato, Ken Saito, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      The 12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Monolithic Magnetic Circuit for MEMS Magnetic Device2016

    • 著者名/発表者名
      Minami Takato, Kaito Mishima, Kazuya Kudo, Yuxuan Han, Ken Saito, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      the 42nd Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society (IECON2016)
    • 発表場所
      Firenze (Florence), (Italy)
    • 年月日
      2016-10-24
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 電磁MEMS デバイスへ応用する積層セラミック磁気回路の開発2016

    • 著者名/発表者名
      工藤和也、三島海斗、高藤美泉、齊藤健、内木場文男
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第29回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      広島大学 東広島キャンパス(広島県・東広島市)
    • 年月日
      2016-09-07
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [図書] MEMS Sensors - Design and Application (Chapter 8)2018

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Ken Saito and Fumio Uchikoba
    • 総ページ数
      206
    • 出版者
      IntechOpen
    • ISBN
      9781789233957
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [備考] 日本大学研究者情報システム

    • URL

      http://kenkyu-web.cin.nihon-u.ac.jp/scripts/websearch/

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [備考] 日本大学理工学部 内木場・齊藤研究室

    • URL

      http://www.eme.cst.nihon-u.ac.jp/~uchikoba/

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [備考] 日本大学理工学部 内木場・齊藤研究室ホームページ

    • URL

      http://www.eme.cst.nihon-u.ac.jp/~uchikoba/

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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