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ナノワイヤにおけるフォノン熱輸送とひずみの関係の原子論的解析

研究課題

研究課題/領域番号 16K18082
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

服部 淳一  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (80636738)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2018年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2017年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2016年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワードフォノン / 熱輸送 / 熱伝導 / ひずみ / 応力 / ナノワイヤ / 量子細線 / 電子・電気材料 / ナノ材料
研究成果の概要

次世代トランジスタの要となる部材であるナノワイヤを対象に、原子の集団運動、すなわち、フォノンとそれによる熱輸送とを原子スケールで解析し、ひずみの影響を調査した。まず、長さ無限のナノワイヤについて調べると、その熱輸送能力は圧縮ひずみで向上し、一方、引っ張りひずみで低下することが明らかになった。次に、現実のナノワイヤを想定して長さ有限の場合について調べると、長さ無限の場合とは異なる結果を得た。その結果はナノワイヤの接続先の構造に強く依存しており、普遍的な結論を得るには更なる調査が必要である。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は、ナノワイヤにおけるフォノン熱輸送とひずみの関係を完全に明らかにしようとする初めての試みであった。結果、ナノワイヤの熱輸送能力はひずみによって変化する可能性があると分かった。その傾向はナノワイヤの長さが無限の場合には明快であり、ひずみによる熱制御への道も開かれるかに思えたが、実際に即した長さが有限の場合には、ナノワイヤの接続先の構造によるところが大きく判然としなかった。しかし、この事実は、熱輸送の評価に適切な接続先の構造は何か、という重要な課題を浮かび上がらせた。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2019 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (1件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Corrugated Si nanowires with reduced thermal conductivity for wide-temperature-range thermoelectricity2016

    • 著者名/発表者名
      Vladimir Poborchii, Yukinori Morita, Junichi Hattori, Tetsuya Tada, and Pavel I. Geshev
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 120 号: 15 ページ: 154304-154304

    • DOI

      10.1063/1.4965302

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] 有限長シリコン量子細線における弾道的フォノン熱輸送に与えるひずみの影響2019

    • 著者名/発表者名
      服部 淳一
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] シリコン量子細線における弾道的フォノン熱輸送に与える断面ひずみの影響2018

    • 著者名/発表者名
      服部 淳一
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Acoustic Phonon Thermal Transport in Corrugated Silicon Nanowires2018

    • 著者名/発表者名
      服部 淳一,Vladimir Poborchii,多田 哲也
    • 学会等名
      15th Int. Conf. on Flow Dynamics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Geデバイスに向けた熱輸送特性の評価2018

    • 著者名/発表者名
      中島佑太、内田紀行、町田龍人、藤代博記、服部淳一、福田浩一、前田辰郎
    • 学会等名
      第23回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] ALD-Al2O3膜の熱輸送特性2018

    • 著者名/発表者名
      中島佑太、内田紀行、大石佑治、町田龍人、藤代博記、服部淳一、福田浩一、前田辰郎
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] NiGe/Geコンタクト構造の熱輸送特性2017

    • 著者名/発表者名
      中島佑太、内田紀行、町田龍人、藤代博記、服部淳一、福田浩一、前田辰郎
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] シリコン量子細線における音響フォノンによる弾道的熱輸送に与える波付け加工の影響2016

    • 著者名/発表者名
      服部 淳一、ウラジーミル ポボルチー、多田 哲也
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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