• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

強磁性元素添加による結晶相制御を利用したHfO2基マルチフェロイック超薄膜の創生

研究課題

研究課題/領域番号 16K18231
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 無機材料・物性
研究機関東北大学

研究代表者

白石 貴久  東北大学, 金属材料研究所, 助教 (50758399)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2016年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワードHfO2基材料 / 超薄膜 / 準安定相 / 強誘電性 / エピタキシャル成長 / 蛍石型酸化物 / 斜方晶相 / ドーパント添加 / ドメイン構造 / 相転移温度 / フェロイック特性
研究成果の概要

本研究は、新奇機能性材料の創出に向けて、種々の元素を添加することでHfO2超薄膜の結晶相を制御し、強誘電性と強磁性の両方を付加することを目指した。HfO2超薄膜に磁性元素を添加することで、準安定な斜方晶相が形成可能であることを見出し、強誘電性の発現に成功した。また、得られた膜は400℃以上の相転移温度を有していることが分かった。
一方、非磁性元素であるCeを添加すると、斜方晶相の形成が劇的に促進されることを見出し、Ce添加HfO2超薄膜は蛍石型酸化物強誘電体として有望な材料であることを明らかにした。
以上より、添加元素と結晶相の関係を詳細に調査することで、強誘電性の付加に対する材料設計指針を得た。

研究成果の学術的意義や社会的意義

IoT社会の実現において不可欠となる、高性能な省エネルギー小型デバイスの開発に向けて、機能性材料のナノスケール化が盛んに行われている。強誘電体材料もその一つであり、種々の元素を添加したHfO2基超薄膜は、ナノスケールで実用可能な強誘電体として注目されている。しかし、材料設計指針は確立されておらず、強誘電性の制御には至っていない。本研究は、構造解析により、添加元素と結晶相の関係を解明することで、結晶相の制御だけでなく、ドメインといった組織制御の必要性を提案した。また、有力な添加元素を見出したことで、強誘電性の向上が期待される。
得られた知見は、次世代の強誘電体デバイス開発の一助になると考えている。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2019 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Fabrication of ferroelectric Fe doped HfO2 epitaxial thin films by ion-beam sputtering method and their characterization2018

    • 著者名/発表者名
      Takahisa Shiraishi, Sujin Choi, Takanori Kiguchi, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida4, Hiroshi Funakubo, and Toyohiko J. Konno
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 11S ページ: 11UF02-11UF02

    • DOI

      10.7567/jjap.57.11uf02

    • NAID

      210000149811

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of the film thickness on the crystal structure and ferroelectric properties of (Hf0.5Zr0.5)O2 thin films deposited on various substrates2017

    • 著者名/発表者名
      T. Shiraishi, K. Katayama, T. Yokouchi, T. Shimizu, T. Oikawa, O. Sakata, H. Uchida, Y. Imai, T. Kiguchi, T. J. Konno, and H. Funakubo
    • 雑誌名

      Mater. Sci. Semicond. Process

      巻: 印刷中

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 強誘電体(Hf,Ce)O2薄膜の作製とその結晶構造評価2019

    • 著者名/発表者名
      白石貴久,Sujin Choi,清水荘雄,木口賢紀,舟窪浩,今野豊彦
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of CeO2-ZrO2 solid solution ultrathin films with polar phase2018

    • 著者名/発表者名
      T. Shiraishi, S. Choi, T. Shimizu, T. Kiguchi, H. Funakubo, and T. J. Konno
    • 学会等名
      IFAAP2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of ferroelectric CeO2-HfO2 solid solution thin films and their characterization2018

    • 著者名/発表者名
      T. Shiraishi, S. Choi, T. Shimizu, T. Kiguchi, H. Funakubo, and T. J. Konno
    • 学会等名
      Materials Reserch Society Fall Meeting
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] エピタキシャルCeO2-ZrO2薄膜の作製とその結晶構造評価2018

    • 著者名/発表者名
      白石貴久,Sujin Choi,清水荘雄,木口賢紀,舟窪浩,今野豊彦
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] エピタキシャルFe:HfO2薄膜の作製と特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      白石貴久,Sujin Choi,清水荘雄,舟窪浩,木口賢紀,今野豊彦
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書 2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 強誘電体HfO2基超薄膜のドメイン構造評価2017

    • 著者名/発表者名
      白石貴久、Sujin Choi、木口賢紀、今野豊彦
    • 学会等名
      第73回日本顕微鏡学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書 2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 固相エピタキシー法による強誘電体HfO2基薄膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      白石貴久,Sujin Choi,清水荘雄,舟窪浩,木口賢紀,今野豊彦
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] エピタキシャル成長法によるFe添加HfO2超薄膜の作製と結晶構造評価2016

    • 著者名/発表者名
      白石貴久, Sujin Choi, 清水荘雄, 舟窪浩, 木口賢紀, 今野豊彦
    • 学会等名
      第29回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      広島大学東広島キャンパス
    • 年月日
      2016-09-07
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] Fe添加したHfO2超薄膜の結晶構造調査2016

    • 著者名/発表者名
      白石貴久, Sujin Choi, 木口賢紀, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第72回学術講演会
    • 発表場所
      仙台国際センター
    • 年月日
      2016-06-14
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi