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誘導自己組織化を用いたsub-20 nm解像度での有機デバイス作製技術

研究課題

研究課題/領域番号 16K20912
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子デバイス・電子機器
電子・電気材料工学
研究機関東北大学

研究代表者

廣芝 伸哉  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (40635190)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード有機半導体 / ナノリソグラフィ / グラフォエピタキシ / ナノインプリント / ナノワイヤ / ナノ構造化 / 誘導自己組織化 / 有機デバイス
研究成果の概要

本研究の目的はナノリソグラフィを利用して、機能性有機材料のナノ構造化・配向制御を行うことにより、従来性能を大きく凌駕するデバイス応用の可能性を探索することである。ナノ構造化のために重要なプロセスの最適化を行った。
その結果、チエノアセン誘導体(C8-BTBT)において、特異な1次元配向ナノワイヤの作製に成功した。典型的なナノワイヤは厚さ15nm、幅100nm、長さ100μm以上の高いアスペクト比を有していた。また、基板のナノ構造に沿ってナノワイヤの配列構造を形成させることにも成功した。サイズ制御性も高く500nmから100nmまでの幅制御性を有し、高いデバイス応用可能性を示唆した。

報告書

(3件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2018 2017 2016 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 5件、 招待講演 1件) 備考 (4件)

  • [雑誌論文] Elemental depth profiles and plasma etching rates of positive-tone electron beam resists after sequential infiltration synthesis of alumina2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ozaki, S. Ito, N. Hiroshiba, T. Nakamura, M. Nakagawa
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 印刷中

    • NAID

      210000149169

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystallographic Polarity Effect of ZnO on Thin Film Growth of Pentacene2017

    • 著者名/発表者名
      Tatsuru Nakamura, Takahiro Nagata, Ryoma Hayakawa, Takeshi Yoshimura, Seungjun Oh, Nobuya Hiroshiba, Toyohiro Chikyow, Norifumi Fujimura, Yutaka Wakayama
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 4S ページ: 04CJ03-04CJ03

    • DOI

      10.7567/jjap.56.04cj03

    • NAID

      210000147626

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Monitoring Thermally Induced Cylindrical Microphase Separation of Polystyrene-<i>block</i>-poly(methyl methacrylate) by Atomic Force Microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      N. Hiroshiba, R. Okubo, A. N. Hattori, H. Tanaka, M. Nakagawa,
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 29 号: 5 ページ: 659-665

    • DOI

      10.2494/photopolymer.29.659

    • NAID

      130005261832

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Condition Determination of Ultraviolet Light Exposure for High-Throughput Nanoimprinting2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishito, H. Yano, N. Hiroshiba, S. Kubo, M. Nakagawa
    • 雑誌名

      Chem. Lett.

      巻: 45 号: 12 ページ: 1373-1375

    • DOI

      10.1246/cl.160663

    • NAID

      130005475739

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anisotropic Oxygen Reactive Ion Etching for Removing Residual Layers from 45 nm-width Imprint Patterns2016

    • 著者名/発表者名
      Takuya Uehara, Shoichi Kubo, Nobuya Hiroshiba, and Masaru Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 29 号: 2 ページ: 201-208

    • DOI

      10.2494/photopolymer.29.201

    • NAID

      130005256561

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 反応性無機前駆体の曝露方法の違いによる光硬化樹脂薄膜の有機-無機ハイブリッド化の比較2018

    • 著者名/発表者名
      上原 卓也, 尾﨑 優貴, 廣芝 伸哉, 中村 貴宏, 中川 勝
    • 学会等名
      2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 領域選択的原子層堆積に基づく光ナノインプリントリソグラフィ2018

    • 著者名/発表者名
      上原 卓也, 尾﨑 優貴, 廣芝 伸哉, 中村 貴宏, 中川 勝
    • 学会等名
      2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 分子自己組織化を使った超微細パターン形成2017

    • 著者名/発表者名
      廣芝伸哉
    • 学会等名
      日本学術振興会「先端ナノデバイス・材料テクノロジー第 151 委員会」 平成 29 年度 第 1 回研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Infiltration behaviors of AlOx into positive-tone electron beam resists by sequential infiltration synthesis2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Ozaki, S. Ito, N. Hiroshiba, T. Nakamura, M. Nakagawa
    • 学会等名
      第30回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議(MNC 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 逐次浸透合成によるポジ型電子線レジストの有機‐無機ハイブリッド化2017

    • 著者名/発表者名
      尾崎優貴, 伊東駿也, 廣芝伸哉, 中村貴宏, 中川勝
    • 学会等名
      2017年度 高分子学会講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] PMMA-selective organic-inorganic hybridization using cylindrically micro-phase separated PS-block-PMMA2016

    • 著者名/発表者名
      Nobuya Hiroshiba, Masaru Nakagawa
    • 学会等名
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC 2016),
    • 発表場所
      ANAクラウンプラザホテル(京都府京都市)
    • 年月日
      2016-11-08
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Growth of aluminum oxide on, in imprinted resin patterns by an atomic layer deposition technique2016

    • 著者名/発表者名
      Nobuya Hiroshiba, Shiho Kuroyanagi, Masaru Nakagawa
    • 学会等名
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC 2016),
    • 発表場所
      ANAクラウンプラザホテル(京都府京都市)
    • 年月日
      2016-11-08
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Monitoring thermally induced cylindrical microphase separation of polystyrene-block-poly(methyl methacrylate) by atomic force microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      Nobuya Hiroshiba, Ryo Okubo, Azusa N. Hattori, Hidekazu Tanaka, Masaru Nakagawa
    • 学会等名
      The 33rd International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 発表場所
      幕張メッセ(千葉県千葉市)
    • 年月日
      2016-06-22
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Anisotropic oxygen reactive ion etching for removing a residual layer of 45-nm-linewidth imprint patterns2016

    • 著者名/発表者名
      Takuya Uehara, Shoichi Kubo, Nobuya Hiroshiba, Masaru Nakagawa
    • 学会等名
      The 33rd International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 発表場所
      幕張メッセ(千葉県千葉市)
    • 年月日
      2016-06-22
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [備考]

    • URL

      http://www.tagen.tohoku.ac.jp/labo/nakagawa/members/hiroshiba/results.html

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eb.waseda.ac.jp/yanagitani/hiroshiba.html

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [備考] 研究室 個人HP

    • URL

      http://www.tagen.tohoku.ac.jp/labo/nakagawa/members/hiroshiba/results.html

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [備考] Researchmap 個人ページ

    • URL

      http://researchmap.jp/nhiroshiba

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2019-03-29  

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