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ホモロガスIn2O3‐ZnO薄膜の超格子形成機構とその熱電特性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 16K21338
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
応用物理学一般
研究機関青山学院大学

研究代表者

賈 軍軍  青山学院大学, 理工学部, 助教 (80646737)

研究協力者 重里 有三  青山学院大学, 教授
八木 貴志  産業技術総合研究所, 物質計測標準研究部門
山下 雄一郎  産業技術総合研究所, 物質計測標準研究部門
Klein Andreas  Technische Universität Darmstadt, Prof.
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2018年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2017年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2016年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード熱・電気特性 / 超格子構造 / アモルファス / In2O3 / ZnO / In-situ XRD / XAFS / 局所構造 / 高温酸化物熱電材料 / 層状構造 / 結晶化 / 熱電特性 / 熱伝導機構 / 固相成長 / フォノンバンド / 状態密度 / In2O3(ZnO)n Thin Film / Brouwer Diagram / Crystallization / Thermoelectric property / Superlattice
研究成果の概要

汎用性が高いガラス基板上に、高温で化学的に安定なIn2O3(ZnO)m超格子熱電薄膜の作製が成功した。その形成メカニズムも解明した。高温においてIn2O3(ZnO)m超格子薄膜のキャリア発生源としては酸素空孔のほかに、格子間亜鉛も寄与する。In2O3(ZnO)m超格子薄膜の熱伝導率は2 W/mK以下で、アモルファス薄膜と同程度である。第一原理計算を用いて、In2O3(ZnO)m超格子構造中のヘテロ界面及びAntisite Inによるフォノン散乱が熱伝導率への影響を解明した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究では汎用性があるガラス基板上に超格子構造薄膜の形成方法を確立でき、高分解能TEM観察とin-situ XRD測定の統合により、後焼成によるアモルファスIZO薄膜からホモロガス構造In2O3(ZnO)n薄膜への固相反応に関する新しい評価手法を提案した。加えて、In2O3(ZnO)m超格子薄膜の熱伝導機構を理解し、高温で薄膜中の欠陥生成・消滅機構を解明した。高温超格子熱電素子の実用化に向けて、これまで利用が困難であった高温領域の未利用熱エネルギーを効率的に回収することに役立つと考えられる。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2019 2018 2017 2016 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 5件、 招待講演 1件)

  • [国際共同研究] Technische Universität Darmstadt(Germany)

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [国際共同研究] Technische Universität Darmstadt(Germany)

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [雑誌論文] 放射光を用いたアモルファスIn2O3系薄膜の結晶化に関する評価2019

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍, 岡島敏浩, 重里有三
    • 雑誌名

      九州シンクロトロン光研究センター2017年報

      巻: 2017年報 ページ: 10-12

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Evolution of Defect Structures and Deep Subgap States during Annealing of Amorphous In-Ga-Zn Oxide for Thin-Film Transistors2018

    • 著者名/発表者名
      Jia Junjun、Suko Ayaka、Shigesato Yuzo、Okajima Toshihiro、Inoue Keiko、Hosomi Hiroyuki
    • 雑誌名

      Physical Review Applied

      巻: 9 号: 1

    • DOI

      10.1103/physrevapplied.9.014018

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of homologous In2O3(ZnO)m thin films and its thermoelectric properties2016

    • 著者名/発表者名
      Junjun Jia, Cleva Ow-Yang, Guliz Inan Akmehmet, Shin-ichi Nakamura, Kunihisa Kato, Yuzo Shigesato
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 34 号: 4

    • DOI

      10.1116/1.4953032

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [学会発表] アモルファスIGZOトランジスタにおける欠陥構造と電子構造の関係性の解明2018

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、重里有三
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会(MRS-J)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Phonon Engineering on In2O3-and ZnO-based Thin Films2018

    • 著者名/発表者名
      Junjun Jia, and Yuzo Shigesato
    • 学会等名
      CIMTEC 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] アモルファスIn2O3系薄膜の結晶化に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      岩﨑慎平、賈軍軍、岡島敏浩、重里有三
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会(MRS-J)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of p-type SnOx Thin Films and its Defect Structur2018

    • 著者名/発表者名
      Junjun Jia, Takumi Sugane, Yuzo Shigesato
    • 学会等名
      2018 Materials Research Society (MRS) Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] スパッタ法を用いた酸化物半導体薄膜の作製およびTFT特性2018

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、重里有三
    • 学会等名
      第2回酸化物半導体討論会 (東京工業大学)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 層状構造を持つIn2O3(ZnO)m薄膜の熱伝導特性2017

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、山下雄一郎、八木貴志、竹歳尚之、重里 有三
    • 学会等名
      第64回応用物理学会 春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] Thermal conduction in homologous In2O3(ZnO)m films2017

    • 著者名/発表者名
      J. Jia, Y. Yamashita, T. Yagi, Y. Shigesato
    • 学会等名
      2017 MRS Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Layered In2O3(ZnO)m Films2017

    • 著者名/発表者名
      J. Jia, H. Wardenga, A. Klein, Y. Shigesato
    • 学会等名
      IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Experimental Investigation on Structural Evolution of Amorphous Indium-Based Oxide Films During Annealing by In Situ XRD and EXAFS Measurements2017

    • 著者名/発表者名
      J. Jia, S. Yamamoto, T. Okajima, Y. Shigesato
    • 学会等名
      2017 MRS Fall Meeting
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ホモロガスIn2O3(ZnO)m薄膜中の熱伝導現象2016

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、八木貴志、山下雄一郎、重里有三
    • 学会等名
      第37回日本熱物性シンポジウム(日本熱物性学会)
    • 発表場所
      岡山国際交流センター(岡山県)
    • 年月日
      2016-11-28
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] ホモロガス構造をもつIn2O3(ZnO)m薄膜の熱物性2016

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、Hans Wardenga、Andreas klein、重里有三
    • 学会等名
      第77回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ Brouwer analysis on defects in homologous In O (ZnO) films2016

    • 著者名/発表者名
      Junjun Jia, Hans Wardenga, Andreas Klein, Yuzo Shigesato
    • 学会等名
      European Materials Research Society(E-MRS) 2016 Spring Meeting
    • 発表場所
      Lille Grand Palais(France)
    • 年月日
      2016-05-02
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-07-01  

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