| 研究課題/領域番号 |
16KK0119
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| 研究種目 |
国際共同研究加速基金（国際共同研究強化）
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
清水 裕樹 東北大学, 工学研究科, 准教授 (70606384)
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| 研究期間 (年度) |
2017 – 2019
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
15,080千円 (直接経費: 11,600千円、間接経費: 3,480千円)
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| キーワード | 精密計測 / 熱検知素子 / フェムト秒レーザ |
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| 研究成果の概要 |
本共同研究では，基課題で検討中のマイクロ熱検知素子による微小欠陥検出の高精度化実現に向け，熱検知素子-測定面間の間隙量検出技術の開発を目的として，モード同期フェムト秒レーザを光源に用いた２面間高精度変位検出技術について検討するとともに，パルスレーザ周波数安定制御システムの開発を試みた．また，熱検知素子でスケール目盛を読み取り位置検出する，全く新たな原理に基づく「熱収支場検知式リニアスケール」の実現に必須となる，素子-測定面間隙のチルト検出手法の確立を目指し，光学式角度センサ技術に立脚したチルト検出手法を開発した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本共同研究で海外の共同研究先と開発を進めたマルチ波長ヘテロダイン干渉計による高精度変位計測技術は，ノーベル物理学賞を受賞した光周波数コム技術を研究・生産現場における絶対長さ計測に展開するもので，学術的意義が大きく，また関連分野を含む産業的科学的波及性が高い．また，今回の研究で開発した光学式の2面間チルト角精密計測技術により，同一基板上に配置した複数の熱検知素子によるパターン読み取りが実現するなど，本研究で提案の熱収支場検知式リニアスケールの実現可能性が高まった．
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