| 研究課題/領域番号 |
17068002
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| 研究種目 |
特定領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
羽根 一博 東北大学, 大学院工学研究科, 教授 (50164893)
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| 研究分担者 |
佐々木 実 豊田工業大学, 教授 (70282100)
金森 義明 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (10333858)
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| 研究期間 (年度) |
2005 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
67,900千円 (直接経費: 67,900千円)
2008年度: 12,100千円 (直接経費: 12,100千円)
2007年度: 17,100千円 (直接経費: 17,100千円)
2006年度: 20,700千円 (直接経費: 20,700千円)
2005年度: 18,000千円 (直接経費: 18,000千円)
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| キーワード | 光通信 / 波長選択フィルタ / MEMS / マイクロアクチュエータ / シリコンMEMS / サブ波長格子 / くし型アクチュエータ / 可変フィルタ / フォトニック結晶 / フォトニック構造 / シリコン |
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| 研究概要 |
MEMS技術により微細な立体構造とマイクロアクチュエータを集積した機能性の高い光通信デバイスを研究した.具体的にはSi自立格子を用いた光フィルタを製作し,格子周期を変調できることを示した.また周期可変のブレーズ格子を実現した.さらにSi細線導波路波長選択スイッチを試作した.光路切り替えマイクロミラースイッチの高機能化のため角度センサの搭載や低電駆動法などを研究した.
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