| 研究課題/領域番号 |
17101004
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
ナノ材料・ナノバイオサイエンス
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
尾嶋 正治 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (30280928)
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| 研究分担者 |
組頭 広志 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (00345092)
大久保 勇男 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (20376487)
堀場 弘司 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (10415292)
小野 寛太 高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, 准教授 (70282572)
岡林 潤 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (70361508)
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| 研究期間 (年度) |
2005 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
109,850千円 (直接経費: 84,500千円、間接経費: 25,350千円)
2009年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円)
2008年度: 10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円)
2007年度: 10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円)
2006年度: 24,570千円 (直接経費: 18,900千円、間接経費: 5,670千円)
2005年度: 56,550千円 (直接経費: 43,500千円、間接経費: 13,050千円)
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| キーワード | 放射光X線粒子線 / 電子顕微鏡 / 強相関電子系 / ナノ材料 / 環境材料 / 放射線X線粒子線 |
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| 研究概要 |
ナノデバイス、環境触媒などナノサイズ構造における電子状態を解明するため、2種類の放射光光電子顕微鏡を用いたナノ分光法の開発を行い、これをLSIナノ構造、磁性ナノ構造、抵抗変化素子、非白金系触媒に適用してその有効性を実証した。主な成果は以下の通りである。
1)投影型放射光光電子顕微鏡(PEEM):分光型PEEMの空間分解能を向上させるため、床面振動防止対策を行うとともに試料ドリフト補正を行うための画像処理法を新しく開発した。これにより空間分解能22nmを達成した。
2)走査型光電子顕微鏡(3次元ナノESCA):新しく開発したピンポイント角度分解光電子分光装置の性能評価(空間分解能92nm達成)
3)PEEMによる磁気イメージング:パーマロイナノパターン、LSMO薄膜ナノパターンの磁区構造解析実現
4)PEEMによるLSIナノ材料解析:high-k絶縁膜の真空加熱中化学状態変化のイメージング実現
5)3次元ナノESCAによるLSIナノ材料中ピンポイント深さ分布解析:
6)PEEMによる抵抗変化型不揮発メモリー(ReRAM)の界面電子状態解析と抵抗変化メカニズムの解明:Pt/CuO/Pt構造におけるCu酸化・還元減少の可視化実現
7)マイクロX線吸収分光による燃料電池断面構造観察:斜めカット正極/電解質膜/負極構造の元素マッピング取得と発電劣化メカニズムの解明
8)硬X線PEEMによる深く埋もれた界面のイメージング:200nm埋もれたAuナノ構造の光電子イメージングを実現。
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