| 研究課題/領域番号 |
17106014
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
原子力学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
田川 精一 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (80011203)
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| 研究分担者 |
古澤 孝弘 大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (20251374)
関 修平 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (30273709)
佐伯 昭紀 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (10362625)
岡本 一将 大阪大学, 産業科学研究所, 特任助教 (10437353)
山本 洋揮 大阪大学, 産業科学研究所, 特任助教 (00516958)
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| 研究期間 (年度) |
2005 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
109,330千円 (直接経費: 84,100千円、間接経費: 25,230千円)
2008年度: 27,170千円 (直接経費: 20,900千円、間接経費: 6,270千円)
2007年度: 25,480千円 (直接経費: 19,600千円、間接経費: 5,880千円)
2006年度: 25,610千円 (直接経費: 19,700千円、間接経費: 5,910千円)
2005年度: 31,070千円 (直接経費: 23,900千円、間接経費: 7,170千円)
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| キーワード | フェムト秒パルスラジオリシス / ナノ時空間反応 / 量子ビーム / ナノテクノロジー / フェムト秒パルスジオリシス / シミュレーション / 化学増幅レジスト / 高分子科学 / 熱化過程 / ナノ空間 |
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| 研究概要 |
本研究は量子ビームがナノ空間に誘起する化学反応を、エネルギー付与過程から中間活性種の初期空間分布と空間分布の時間変化を含め解明することにより、将来、ナノ空間に誘起される現象を、次世代リソグラフィやナノリソグラフィにおいて使いこなすための基礎過程を確立することを目的とした研究である
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