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ナノ金型のための超高精度で極低価格なマイクロリソグラフ技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17360061
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

田辺 郁男  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (30155189)

研究分担者 水谷 淳之介  富山商船高等専門学校, 電子制御工学科, 助教授 (70166015)
研究期間 (年度) 2005 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
15,200千円 (直接経費: 15,200千円)
2006年度: 5,400千円 (直接経費: 5,400千円)
2005年度: 9,800千円 (直接経費: 9,800千円)
キーワード金型 / ナノオーダー / マイクロリソグラフ / レーザー / レーザー発色 / 酸化膜圧 / 微細金型 / ニューラルネットワーク / 酸化膜厚 / ナノ金型 / リソグラフ / レーザ加工 / レーザ発色 / ホログラフ
研究概要

本研究では,以下の4つの研究を行った.
(1)「YVO_4レーザー加工機を用いたステンレス鋼とチタンへの発色加工とその管理」では,ステンレス鋼とチタンの2種類を供試材とし,YVO_4レーザ加工機の繰り返し照射によって酸化皮膜を生成・成長させ,発色の種類(範囲やその限界)を確認する.つぎに,先の現象をもとにその発色現象を原理的に把握し,最後に,レーザーの加工条件と発色の関係のニューラルネットを構築し,その逆解法による発色制御手法を開発,評価する.
(2)(1)において発色条件を見つけにくかったステンレス鋼を供試材とし,まず,正確な酸化皮膜の膜厚を推定するため,理論的に膜厚と干渉色との関係を調べ,さらに,発色しにくい色(鋭敏色)の考察を行った.発色制御にはニューラルネットワークを使用せず,単純な加工条件をデータベース化することにより発色加工を行った.つぎに,所望の膜厚を安定して得るため,実験環境の外乱が加工精度に及ぼす影響について考察し,発色加工の安定化を図った.最後に,酸化皮膜の耐摩耗性,耐候性を検討することにより,工業的な有効性について評価を行った.
(3)従来のレーザ加工では発色しにくかった鋭敏色を発色制御する新手法を開発し,その評価を行った.さらに,従来よりも厚い酸化皮膜を生成・成長させることによって,従来出すことができなかった発色も試行した.最後に,(2)で行ったステンレス鋼表面発色部の耐候性の検討結果を受け,今回は耐候性の改善を試行・評価した.
(4)この発色技術をナノオーダーの金型製作技術に転用し,その効果を評価する.具体的には,まず,べ一ス材からの酸化膜上面の高さの測定技術を確立し,それを使用して酸化膜上面高さと発色の関係を明らかにする.つぎに,マスキングと微動テープルを用いた新しい装置を使用して水平方向の酸化物創生限界を明らかにする.最後に,総合評価としてプロトタイプ金型を製作し,それを用いてシリコン製品を成型し,本手法の工業的な有効性を評価を試みた.

報告書

(3件)
  • 2006 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2005 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2007 2006 2005

すべて 雑誌論文 (10件)

  • [雑誌論文] チタンヘのレーザ発色加工とその光触媒効果2007

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 須貝裕之, 井山徹郎
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 73巻・726号

      ページ: 583-588

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Surface Treatment Regarding Coloring of Titanium Using Laser and Its Photocatalytic Effects2007

    • 著者名/発表者名
      SHINADA Masato, TANABE Ikuo, SUGAI Hiroyuki, IYAMA Tetsuro
    • 雑誌名

      Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Vol.73-No.726

      ページ: 583-588

    • NAID

      110006224683

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] チタンへのレーザ発色加工とその光触媒効果2007

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 須貝裕之, 井山徹郎
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 73巻・726号

      ページ: 583-588

    • NAID

      110006224683

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] YVO_4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(発色に関する環境因子,鋭敏色,寿命の考察)2006

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 高橋 智, 板垣 薫
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 72巻・713号

      ページ: 235-240

    • NAID

      110004226486

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] YVO_4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(鋭敏色の発色管理と寿命の改善)2006

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 島崎拓也, 板垣 薫
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編) 72巻・722号

      ページ: 3406-3411

    • NAID

      110004837637

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Surface Treatment Regarding Coloring of Stainless Steel Using YVO4 Laser (Consideration of Environmental Factor, Sensitive Color and Life Regarding Coloring)2006

    • 著者名/発表者名
      SHINADA Masato, TANABE Ikuo, TAKAHASHI Satoshi, ITAGAKI Kaoru
    • 雑誌名

      Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Vol.72-No.713

      ページ: 235-240

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Surface Treatment Regarding Coloring of Stainless Steel Using YVO4 Laser (Control of Sensitive Color and Improvement Regarding Life of Coloring)2006

    • 著者名/発表者名
      SHINADA Masato, TANABE Ikuo, SHIMAZAKI Takuya, ITAGAKI Kaoru
    • 雑誌名

      Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Vo1.72-No.722

      ページ: 3406-3411

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] YVO4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(発色に関する環境因子,鋭敏色,寿命の考察)2006

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 他2名
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 72巻.713号

      ページ: 235-240

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] YVO4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工(発色に関する鋭敏色の制御)2005

    • 著者名/発表者名
      田辺郁男, 島崎拓也, 品田正人
    • 雑誌名

      電気加工学会全国大会(2005)講演論文集 2005年版

      ページ: 5-8

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] YVO4レーザを用いたステンレス鋼の発色加工2005

    • 著者名/発表者名
      品田正人, 田辺郁男, 他2名
    • 雑誌名

      第65回レーザ加工学会大会講演論文集 2005年版

      ページ: 291-291

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書

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公開日: 2005-04-01   更新日: 2016-04-21  

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