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固相ナノチューブ成長その場観察技術の開発と触媒金属結晶面の同定

研究課題

研究課題/領域番号 17360318
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 無機材料・物性
研究機関筑波大学

研究代表者

藤田 淳一  筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 准教授 (10361320)

研究期間 (年度) 2005 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
15,860千円 (直接経費: 15,200千円、間接経費: 660千円)
2007年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2006年度: 5,900千円 (直接経費: 5,900千円)
2005年度: 7,100千円 (直接経費: 7,100千円)
キーワード走査透過電子頭微鏡 / アモルフアスカーボン / カーボンナノチュープ / 固相反応 / 触媒 / グラファイト化 / 局所電界 / プローブ / カーボンナノチューブ / 鉄微粒子 / 電子・イオン励起反応 / 走査型透過電子顕微鏡 / in-situモニタリング / 走査型透過顕微鏡
研究概要

研究では、走査透過電子顕微鏡環境下において局所的な試料操作を行うためのツールおよび、局所場観測のための可視化技術の開発、さらにこれらの局所場観測ツールを用いたナノチューブ固相反応についての研究を行った。電界研磨タングステンプローブ先端に取り付けたナノチューブからの電界放出過程の研究から、先端曲率半径が5nm程度の超尖鋭プローブの開発に成功した。さらに、プローブ先端に形成される局所電界を、走査電顕一次電子のラザフォード散乱を検出することで、リアルタイムに可視化する局所電界可視化技術の開発に成功した。これらの操作・観測技術を用い、触媒鉄微粒子の動きをクエンチして固定化し、鉄微粒子尾部を基点に成長する固相ナノチューブの成長過程を観察し、その拡散係数が0.016〜0.060nm2/min.程度であること、さらにその活性化エネルギーが約1.8eV程度であることを見いだした。さらに、鉄微粒子とグラファイト面との結晶面方位関係はグラファイトC軸//鉄<100>の関係である場合が多く観測される。さらに、液体Gaとアモルファスカーボンの接触面に沿ってグラファイト化反応が起こることを発見し、グラファイト/グラフェン膜形成とデバイス応用についての新たな技術展開が可能となった。
今後はこれらの新たに開発し得た技術をさらに発展させ、真のナノチューブの直径とカイラリティ制御に向けての研究を進めると共に、グラフアイト・グラフェン膜を用いた新たな人工的なナノ構造の構築と物性制御、さらにはデバイス応用へと研究を進めていく。

報告書

(4件)
  • 2007 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2006 実績報告書
  • 2005 実績報告書
  • 研究成果

    (56件)

すべて 2008 2007 2006 2005 その他

すべて 雑誌論文 (18件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (32件) 備考 (2件) 産業財産権 (4件)

  • [雑誌論文] In situ visualization of local electric field in an ultrasharp tungsten emitter under a low voltage scanning transmission electron microscope2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, and S. Nakazawa
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. &Technol 25

      ページ: 2624-2627

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Driving Force of an Iron Particle's Movement in Solid-Phase Graphitization2007

    • 著者名/発表者名
      K. Higashi, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys 46

      ページ: 6282-6285

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Elastic Double Structure of Amorphous Carbon Pillar Grown by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Okada, R. Uekil, M. Ishida, T. Kaito, and S. Matsui
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys 46

      ページ: 6286-6289

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] In-situ Visualization of Local Field Enhancement in an Ultra Sharp Tungsten Emitter under a Low Voltage Scanning Transmission Electron Microscope2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, S. Nakazawa, M. Ishida, and S. Matsui
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys Vol.46

      ページ: 498-501

    • NAID

      40015444556

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Graphitic tube transformation of FIB-CVD pillar by Joule heating with flash discharge2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Nakazawa, T. Ichihashi, M. Ishida, T. Kaito, S. Matsui
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 84

      ページ: 1507-1509

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] "In situ visualization of local electric field in an ultrasharp tungsten emitter under a low voltage scanning transmission elctron microscope"2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, and S. Nakasawa
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. & Technol. B 25

      ページ: 2624-2627

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] "Driving Force of an Iron Particle's Movement in Solid-Phase Graphitization"2007

    • 著者名/発表者名
      K. Higashi, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      ページ: 6282-6285

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] "In-situ Visualization of Local Field Enhancement in an Ultra Sharp Tungsten Emitterunder a Low Voltage Scanning Transmission Electron Microscope"2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, M. Ishida, and S. Matsui
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      ページ: 498-501

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] "Elastic Double Structure of Amorphous Carbon Pillar Grown by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition"2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Okada, R. Uekil, M. Ishida, T. Kaito, and S. Matsui
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      ページ: 6286-6289

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] "Graphitic tube transformation of FIB-CVD pillar by Joule heating with flash discharge"2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Nakazawa, T. Ichihashi, M. Ishida, T. Kaito, S. Matsui
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 84(2007)1507. 84

      ページ: 1507-1509

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Graphitic tube transformation of FIB-CVD pillar by Joule heating with flash discharge2007

    • 著者名/発表者名
      Jun-ichi Fujita et al.
    • 雑誌名

      Micro & Nano-engineering and Technology, Proceedings of MNE2006

      ページ: 5397-5397

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Comparison of Young's Modulus Dependency on Beam Accelerating Voltage between Electron-Beam-and Focused Ion-Beam-Induced Chemical Vapor Deposition Pillars2006

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, T. Mukawa, R. Kobyashi, M. Ishida, Y. Ocjiai, T. Kaito, S. Matsui and J. Fujita
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys Vol.45

      ページ: 5556-5559

    • NAID

      10017999054

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Inducing graphite tube transformation with liquid gallium and flash discharge2006

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, T. Ichuhashi, S. Nakazawa, S. Okada, M. Ishida, Y. Ochiaic, T. Kaito, and S. Matsui
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett 88

      ページ: 893109-893109

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Comparison of Young's Modulus Dependency on Beam Accelerating Voltage between Electron-Beam- and Focused Ion-Beam-Induced Chemical Vapor Deposition Pillars2006

    • 著者名/発表者名
      Jun-ichi Fujita et al.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 5556-5556

    • NAID

      10017999054

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Inducing graphite tube transformation with liquid gallium and flash discharge2006

    • 著者名/発表者名
      Jun-ichi Fujita et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letter 88

      ページ: 83109-83109

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Position controlled growth in carbon nanotubes catalyzed by an iron nano-dot array2006

    • 著者名/発表者名
      Jun-ichi Fujita et al.
    • 雑誌名

      Material Research Society Symposium Proceedings 900E

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Growth Manner and Mechanical Characteristics of Amorphous Carbon Nanopillars Grown by Electron-Beam-Induced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, T. Mukawa, R. Kobayashi, J. Fujita, M. Ishida, T. Ichihashi, Y. Oshiai, T. Kaito and S. Matui
    • 雑誌名

      Jpn. j. Appl. Phys Vol.44

      ページ: 5646-5649

    • NAID

      10016677656

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Position-Controlled Carbon Fiber Growth Catalyzed Using Electron Beam-Induced Chemical Vapor Deposition Ferrocene Nanopillars2005

    • 著者名/発表者名
      T. Mukawa, S. Okada, R. Koayashi, J. Fujita, M. Ishida, T. Ichihashi, Y. Ochiai, T. Kaito and S. Matsui
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys Vol.44

      ページ: 5639-5642

    • NAID

      10016677628

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] "走査電子光学系を用いたプローブ先端局所電場の可視化と電界強度マッピング"2008

    • 著者名/発表者名
      池田悠太, 鈴木郁美, 藤田淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      日大船橋
    • 年月日
      2008-03-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "In-situ 走査電子顕微鏡下におけるイオン液体の挙動とネガ型重合反応"2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木郁美, 池田悠太, 藤田淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      日大船橋
    • 年月日
      2008-03-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "Emission Property and Structure of Ultra Sharp Tungsten Probe"2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikeda, K. Higashi, S. Nakazawa, T. Ichihashi, S. Matsui, and J. Fujita,
    • 学会等名
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • 発表場所
      Kyoto, Japan.
    • 年月日
      2007-11-08
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "In-situ Visualization of Local Fields at a Sharp Tungsten Emitter Using Low-Voltage Scanning Transmission Electron Microscope"2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, Y. Ikeda, T. Ichihasi, and S. Matsui,
    • 学会等名
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • 発表場所
      Kyoto, Japan.
    • 年月日
      2007-11-08
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "Effect of Annealing and Electron Irradiation on Young's Modulus of Amorphous Carbon Pillars Grown by FIB-CVD"2007

    • 著者名/発表者名
      R. Ueki, J. Fujita, T. Ichihashi. T. Kaito, and S. Matsui,
    • 学会等名
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • 発表場所
      Kyoto, Japan.
    • 年月日
      2007-11-06
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "ZnO Nanowire Growth and Its Substrate Dependence under Solid-Vapor Process"2007

    • 著者名/発表者名
      H. Miyazaki, S. Nakazawa, K. Higashi, T. Ichihashi, and J. Fujita,
    • 学会等名
      Micro-process and Nanotechnology Conference(MNC)2007
    • 発表場所
      Kyoto, Japan.
    • 年月日
      2007-11-05
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "瞬間放電に伴うFIB-CVDピラー内でのグラファイトチューブ固相成長反応"2007

    • 著者名/発表者名
      中澤翔太郎, 石田真彦, 市橋鋭也, 皆藤孝, 松井真二, 藤田淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "超先鋭タングステンプローブの構造と放射特性"2007

    • 著者名/発表者名
      池田悠太, 中澤翔太郎, 東広大, 市橋鋭也, 松井真二, 藤田淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-06
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "アモルファスカーボンウォール中の鉄微粒子の挙動解析"2007

    • 著者名/発表者名
      東 広大, 市橋 鋭也, 松井 真二, 藤田 淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-05
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "STEMを用いたプローブ先端局所電場強度の可視化とマッピング"2007

    • 著者名/発表者名
      池田悠太, 藤田淳一, 松井真二
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-04
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "アニール処理と電子線照射によるFIB-CVDピラーのヤング率変化"2007

    • 著者名/発表者名
      植木 竜一, 藤田 淳一, 岡田 聡, 市橋 鋭也, 松井 真二
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-04
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "ZnOナノベルト成長における触媒サイズの依存性"2007

    • 著者名/発表者名
      宮崎浩史, 東広大, 中澤翔太郎, 石田真彦, 藤田淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-04
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "n-situ visualization of local electric field at ultra sharp tungsten emitter under low voltage scanning transmission electron microscope"2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      EIPBN2007
    • 発表場所
      Denver, USA.
    • 年月日
      2007-06-01
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] "Elastic double structure of amorphous carbon pillar grown by FIB-CVD"2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Okada, R. Ueki, M. Ishida, T. Kaito, and S. Matsui
    • 学会等名
      EIPBN2007
    • 発表場所
      Denver, USA.
    • 年月日
      2007-06-01
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Emission Property and Structure of Ultra Sharp Tungsten Probe2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikeda, K. Higashi, S. Nakazawa, T. Ichihashi, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2007
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Effect of Annealing and Electron Irradiation on Young's Modulus of Amorphous Carbon Pillars Grown by FIB-CVD2007

    • 著者名/発表者名
      R. Ueki, J. Fujita, T. Ichihashi, T. Kaito, and S. Matsui
    • 学会等名
      MNC2007
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] In-situ Visualization of Local Fields at a Sharp Tungsten Emitter Using Low-Voltage Scanning Transmission Electron Microscope2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, Y. Ikeda, T. Ichihashi, and S. Matsui
    • 学会等名
      MNC2007
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Elastic double structure of amorphous carbon pillar grown by FIB-CVD2007

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Okada, R. Ueki, M. Ishida, T. Kaito, and S. Matsui
    • 学会等名
      EIPBN2007
    • 発表場所
      Denver, USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] In-situ visualization of local electric field at ultra sharp tungsten emitter under low voltage scanning transmission electron microscope2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, S. Nakazawa, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      EIPBN2007
    • 発表場所
      Denver, USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Non-destructive graphitization of FIB-CVD structures by Joule heating with flash discharge2006

    • 著者名/発表者名
      S. Nakazawa, M. Ishida, T. Ichihashi, T. Kaito, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2006
    • 発表場所
      Kamakura, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Driving Force of the Iron Particle's Movement in Solid Phase Graphitization2006

    • 著者名/発表者名
      K. Higashi, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2006
    • 発表場所
      Kamakura, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Elastic double structure of amorphous carbon pillar grown by FIB-CVD2006

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Okada, R. Ueki, M. Ishida, T. Kaito, and S. Matsui
    • 学会等名
      MNC2006
    • 発表場所
      Kamakura, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] In-situ visualization of local field enhancement at the ultra sharp tungsten emitter under low voltage scanning transmission electron microscope2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Ikeda, S. Okada, K. Higashi, S. Nakazawa, M. Ishida, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2006
    • 発表場所
      Kamakura, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Graphitic Tube Transformation of FIB-CVD Pillar by Joule Heating with Flash Discharge2006

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, S. Nakazawa, T. Ichihashi, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Kaito, and S. Matsui
    • 学会等名
      MNE2006
    • 発表場所
      Barcelona, Spain
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Graphitic tube formation induced by a flush discharge with Ga2006

    • 著者名/発表者名
      S. Nakazawa, S. Okada, Y. Ochiai, M. Ishida, T. Ichihashi, T. Kaito, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      NT06(Nanotube 2006)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] In-situ monitoring of iron nanoparticles movement in amorphous carbon wall2006

    • 著者名/発表者名
      K. Higashi, S. Nakazawa, T. Maeda, S. Okada, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Kaito, S. Matsui and J. Fujita
    • 学会等名
      NT06(Nanotube 2006)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Position controlled carbon nanotubes growth catalyzed by iron nano-dot array2005

    • 著者名/発表者名
      J. Fujita, T. Mukawa, K. Higashi, S. Nakazawa, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Kaito, and S. Matsui
    • 学会等名
      2005 MRS Fall meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Position-Controlled Carbon Nanotube Growth on Single Iron Nanoparticles Prepared by Electron Beam-Induced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      T. Mukawa, S. Okada, R. Kobayashi, M. Ishida, T. Ichihashi, Y. Ochiai, T. Kaito, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2005
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] In-situ Monitoring of Iron Nanoparticles Movement and Graphitization Control by Joule Heating at Local Current Injection2005

    • 著者名/発表者名
      K. Higashi, S. Nakazawa, T. Maeda, S. Okada, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Kaito, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2005
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Graphitic Tube Formation by Flush Discharge with Ga Observed in Amorphous Carbon Pillar2005

    • 著者名/発表者名
      S. Nakazawa, K. Higashi, T. Maeda, S. Okada, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Ichihashi, T. Kaito, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2005
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Comparison of Young's Modulus Dependency on Beam Accelerating Voltage between EB-and FIB-CVD Pillars2005

    • 著者名/発表者名
      S. Okada,T. Mukawa, R. Kobayashi, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Kaito, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      MNC2005
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Position-controlled carbon nanotubes growth catalyzed by nano-dot pattern using by electron beam induced chemical vapor deposition2005

    • 著者名/発表者名
      T. Mukawa, S. Okada, R. Kobayashi, M. Ishida, T. Ichihashi, Y Ochiail, T. Kaito, S. Matsui, and J. Fujita
    • 学会等名
      EIPBMN2005
    • 発表場所
      O'land FL, USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [備考] 「研究成果報告書概要(和文)」より

    • URL

      http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~nanofab/index.html

    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [備考]

    • URL

      http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~nanofab/index.html

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 高導電性炭素繊維とその製造方法2008

    • 発明者名
      藤田淳一
    • 権利者名
      独立行政法人科学技術振興機構
    • 産業財産権番号
      2008-021638
    • 出願年月日
      2008-01-31
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書 2007 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 多階調局所電界可視化の方法およびその電子光学系2008

    • 発明者名
      藤田淳一
    • 権利者名
      独立行政法人科学技術振興機構
    • 産業財産権番号
      2008-081187
    • 出願年月日
      2008-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書 2007 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 金属プローブ形成方法ソノ金属プローブおよびその形成装置2006

    • 発明者名
      藤田淳一
    • 権利者名
      独立行政法人科学技術振興機構
    • 産業財産権番号
      2006-322924
    • 出願年月日
      2006-11-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 金属プローブの形成方法、その金属プローブおよびその形成装置2006

    • 発明者名
      藤田淳一
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 産業財産権番号
      2006-322924
    • 出願年月日
      2006-11-30
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

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公開日: 2005-04-01   更新日: 2016-04-21  

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