ナノドメインエンジニアリングによる巨大圧電特性膜の創製

• 研究課題/領域番号: 17360323
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 無機材料・物性
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 舟窪 浩 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (90219080)
• 研究分担者: 篠崎 和夫 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (00196388)
• 研究期間 (年度): 2005 – 2006
• 研究課題ステータス: 完了 (2006年度)
• 配分額: 14,800千円 (直接経費: 14,800千円); 2006年度: 4,500千円 (直接経費: 4,500千円); 2005年度: 10,300千円 (直接経費: 10,300千円)
• キーワード: ナノドメイン / 巨大圧電 / 厚膜 / 圧膜

研究概要

本研究の目的は、我々が見出したまったく新しい巨大圧電特性の発現機構の解明とそれを用いた新規圧電膜の創製を行うことである。具体的には、以下の3つの研究を行う。
A)基板からの拘束を系統的に変化させたPZT膜を作成し"ナノドメイン"を観察しながら圧電特性の評価を行うことで、今回見出した巨大圧電特性の起源の探索を行う。
B)ドメインの動きや構造相転移の可能性を明らかにするため、"ナノドメイン"の動きや結晶構造変化を電界印加下でin-situ観察することで明らかにする。
C)単結晶の研究がないPZT以外に、単結晶での研究が行われているPb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3[PMN-PT]およびPb(Zn_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3[PZN-PT]についても同様の研究を行うことで、今回見出した巨大圧電特性の発現機構を解明する。
その結果主に下記の結論を得た。
1)(100)/(001)配向のPZTエピタキシャル膜に関して、熱膨張率の小さなSiやSiO_2基板上に膜を作製することにより、従来にない(001)配向の体積割合が50%以下の膜の作製に成功した。
2)この膜はで400以上の大きなd_<33>が得られ、ドメインのスイッチングがその主な原因であると考えられた。
3)PZN-PTについて、原料を結晶のサイト毎に供給する"サイト供給MOCVD法"を開発し、初めてエピタキシャル薄膜の作製に成功した。
4)広い組成範囲のエピタキシャル成長PMN-PT厚膜が得られた。
5)PMN-PTでは、PTの含有量の増加にしたがって、膜の結晶相は擬似立法晶から正方晶へ変化したが、相が変化する組成は、PT含有量がより多い側になっていた。これは基板からの応力が主な原因と考えられる。圧電性は擬似立方晶が菱面体晶になる手前の組成で最大となった、これも従来の報告と一致している。
6)PMN-PTの圧電性をPZTより大きいものの、バルクで予想される大きな差は得られなかった。これは基板からの拘束の影響だと考えられる。

研究成果

• [雑誌論文] Characteristic Comparison of Epitaxial PZT And PMN-PT Films Grown On (100)_cSrRuO_3//(100)SrTiO_3 Substrates By Metalorganic Chemical Vapor Deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: S.Yokoyama, S.Okamoto, K.Saito, T.Iijima, H.Okino, T.Yamamoto, K.Nishida, T.Katoda, J.Sakai, H.Funakubo
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 902E
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Electric-Field-Induced Displacements in Pt/PZT/Pt/SiO_2/Si System Investigated by Finite Element Method : Material-Constant Dependences (2006)
  • 著者名/発表者名: H.Okino, M.Hayashi, T.Iijima, S.Yokoyama, H.Funakubo, N.Setter, T.Yamamoto
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 902E
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Observation of Domain Switching in Fatigued Epitaxial Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films (2006)
  • 著者名/発表者名: Y.K.Kim, S.Yokoyama, R.Ueno, H.Morioka, O.Sakata, S.Kimura, K.Saito, H.Funakubo
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 902E
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Investigation of Domain Distribution in Patterned PZT Thin Films Using Raman Spectroscopy (2006)
  • 著者名/発表者名: K.Nishida, M.Osada, S.Yokoyama, K.Takahashi, H.Funakubo, T.Katoda
  • 雑誌名: Trans. Mater. Res. Soc. Jpn. 31(1) ページ: 27-30
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Preparation and Structural Analysis of Micro-patterned Pb(Zr,Ti)O_3 Film by Metalorganic Chemical Vapor Deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: S.Yokoyama, K.Takahashi, S.Okamoto, A.Nagai, J.Minamidate, K.Saito, N.Ohashi, H.Haneda, O.Sakata, S.Kimura, K.Nishida, T.Katoda, H.Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 45(6A) ページ: 5102-5106
  • NAID: 10018148793
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Domain structures and piezoelectric properties in epitaxial Pb(Zr_<0.35>,Ti_<0.65>)O_3 thin films (2006)
  • 著者名/発表者名: Y.Kwan Kim, H.Morioka, R.Ueno, S.Yokoyama, H.Funakubo, K.Lee, S.Baik
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 88
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Intrinsic Properties of (100)/(001)-Oriented Epitaxial PZT Thin Films Grown on (100)Si and (100)SrTiO_3 Substrates (2006)
  • 著者名/発表者名: Y.Kwan Kim, H.Morioka, S.Okamoto, S.Yokoyama, H.Funakubo, 2006
  • 雑誌名: Integ. Ferro 78 ページ: 223-232
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Crystal Orientation Anisotropy of Epitaxial Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3 Thick Films Grown by MOCVD (2006)
  • 著者名/発表者名: S.Yokoyama, S.Okamoto, S.Okamoto, T.Iijima, K.Saito, H.Okino, T.Yamamoto, H.Funakubo
  • 雑誌名: Integ. Ferro 80 ページ: 67-76
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Fatigue Properties of Epitaxial Pb(Zr_<0 : 35>Ti_<0 : 65>)O_3 Films with Various Volume Fractions of 90° Domains Grown on (100)cSrRuO_3/(100)SrTiO_3 Substrates (2006)
  • 著者名/発表者名: Y.K.Kim, H.Morioka, H.Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 45(8A) ページ: 6382-6384
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Crystal structure, electrical properties, and mechanical response of (100)-/(001)-oriented epitaxial Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3 films grown on (100)_cSrRuO_3 // (100)SrTiO_3 substrates by metal-organic chemical vapor deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: S.Yokoyama, S.Okamoto, H.Funakubo, T.Iijima, K.Saito, H.Okino, T.Yamamoto, K.Nishida, T.Katoda, J.Sakai
  • 雑誌名: J. Appl. Phys. 100 ページ: 54110-54110
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Strong Dependence on Thickness of Room-Temperature Dielectric Constant of (100)-Oriented Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3 Epitaxial Films Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: S.Okamoto, S.Yokoyama, S.Okamoto, K.Saito, H.Uchida, S.Koda, H.Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 45(40)
  • NAID: 10018340833
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Characteristic Comparison of Epitaxial PZT And PMN-PT Films Grown On (100)_cSrRuO_3//(100)SrTiO_3 Substrates By Metalorganic Chemical Vapor Deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Keisuke Saito, Takashi Iijima, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto, Ken Nishida, Takashi Katoda, Joe Sakai, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Mater.Res.Soc.Symp.Proc. 902E
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Electric-Field-Induced Displacements in Pt/PZT/Pt/SiO_2/Si System Investigated by Finite Element Method : Material-Constant Dependences (2006)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Okino, Masahiro Hayashi, Takashi Iijima, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo, Nava Setter, Takashi Yamamoto
  • 雑誌名: Mater.Res.Soc.Symp.Proc. 902E
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Observation of Domain Switching in Fatigued Epitaxial Pb(Zr, Ti)O_3 Thin Films (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Shintaro Yokoyama, Risako Ueno, Hitoshi Morioka, Osami Sakata, Shigeru Kimura, Keisuke Saito, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Mater.Res.Soc.Symp.Proc. 902E
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Investigation of Domain Distribution in Patterned PZT Thin Films Using Raman Spectroscopy (2006)
  • 著者名/発表者名: Ken Nishida, Minoru Osada, Shintaro Yokoyama, Kenji Takahashi, Hiroshi Funakubo, Takashi Katoda
  • 雑誌名: Trans.Mater.Res.Soc.Jpn. 31(1) ページ: 27-30
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Preparation and Structural Analysis of Micro-patterned Pb(Zr, Ti)O_3 Film by Metalorganic Chemical Vapor Deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Kenji Takahashi, Shoji Okamoto, Atsushi Nagai, Jun Minamidate, Keisuke Saito, Naoki Ohashi, Hajime Haneda, Osami Sakata, Shigeru Kimura, Ken Nishida, Takashi Katoda, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 45(6A) ページ: 5102-5106
  • NAID: 10018148793
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Domain structures and piezoelectric properties in epitaxial Pb(Zr_<0.35>,Ti_<0.65>)O_3 thin films (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Risako Ueno, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo, Kilho Lee, Sunggi Baik
  • 雑誌名: Appl.Phys.Lett. 88
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Intrinsic Properties of (100)/(001)-Oriented Epitaxial PZT Thin Films Grown on (100)Si and (100)SrTiO_3 Substrates (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Shoji Okamoto, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Integ.Ferro. 78 ページ: 223-232
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Crystal Orientation Anisotropy of Epitaxial Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3 Thick Films Grown by MOCVD (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Shoji Okamoto, Takashi Iijima, Keisuke Saito, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Integ.Ferro. 80 ページ: 67-76
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Fatigue Properties of Epitaxial Pb(Zr_<0.35>Ti_<0.65>)O_3 Films with Various Volume Fractions of 90°Domains Grown on (100)_cSrRuO_3/(100)SrTiO_3 Substrates (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 45(8A) ページ: 6382-6384
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Crystal structure, electrical properties, and mechanical response of (100)-/(001)-oriented epitaxial Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3 films grown on (100)_cSrRuO_3 / (100)SrTiO_3 substrates by metal-organic chemical vapor deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Hiroshi Funakubo, Takashi Iijima, Keisuke Saito, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto, Ken Nishida, Takashi Katoda, Joe Sakai
  • 雑誌名: J.Appl.Phys. 100 ページ: 54110-54110
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Strong Dependence on Thickness of Room-Temperature Dielectric Constant of (100)-Oriented Pb(Mg_<1/2>Nb_<2/3>)O_3 Epitaxial Films Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Okamoto, Shintaro Yokoyama, Shoji Okamoto, Keisuke Saito, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 45(40)
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] "Characteristic Comparison of Epitaxial PZT And PMN-PT Films Grown On (100)_cSrRuO_3//(100)SrTiO_3 Substrates By Metalorganic Chemical Vapor Deposition", (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Keisuke Saito, Takashi Iijima, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto, Ken Nishida, Takashi Katoda, Joe Sakai, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 902E
• [雑誌論文] "Electric-Field-Induced Displacements in Pt/PZT/Pt/SiO_2/Si System Investigated by Finite Element Method : Material-Constant Dependences", (2006)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Okino, Masahiro Hayashi, Takashi Iijima, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo, Nava Setter, Takashi Yamamoto
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 902E
• [雑誌論文] "Observation of Domain Switching in Fatigued Epitaxial Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films", (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Shintaro Yokoyama, Risako Ueno, Hitoshi Morioka, Osami Sakata, Shigeru Kimura, Keisuke Saito, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 902E
• [雑誌論文] "Investigation of Domain Distribution in Patterned PZT Thin Films Using Raman Spectroscopy", (2006)
  • 著者名/発表者名: Ken Nishida, Minoru Osada, Shintaro Yokoyama, Kenji Takahashi, Hiroshi Funakubo, Takashi Katoda
  • 雑誌名: Trans. Mater. Res. Soc. Jpn., 31(1) ページ: 27-30
• [雑誌論文] "Preparation and Structural Analysis of Micro-patterned Pb(Zr,Ti)O_3 Film by Metalorganic Chemical Vapor Deposition", (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Kenji Takahashi, Shoji Okamoto, Atsushi Nagai, Jun Minamidate, Keisuke Saito, Naoki Ohashi, Hajime Haneda, Osami Sakata, Shigeru Kimura, Ken Nishida, Takashi Katoda, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys., 45(6A) ページ: 5102-5106
  • NAID: 10018148793
• [雑誌論文] "Domain Structures and piezoelectric properties in epitaxial Pb(Zr_0.35,Ti_0.65)O_3 thin films", (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Risako Ueno, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo, Kilho Lee, Sunggi Baik
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett., 88
• [雑誌論文] "Intrinsic Properties of (100)/(001)-Oriented Epitaxial PZT Thin Films Grown on (100)Si and (100)SrTiO_3 Substrates", (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Shoji Okamoto, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Integ. Ferro., 78 ページ: 223-232
• [雑誌論文] "Crystal Orientation Anisotropy of Epitaxial Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O_3-PbTiO_3 Thick Films Grown by MOCVD", (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Shoji Okamoto, Takashi Iijima, Keisuke Saito, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Integ. Ferro., 80 ページ: 67-76
• [雑誌論文] "Fatigue Properties of Epitaxial Pb(Zr_0.35Ti_0.65)O_3 Films with Various Volume Fractions of 90°Domains Grown on (100)cSrRuO_3/(100)SrTiO_3 Substrates", (2006)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys., 45(8A) ページ: 6382-6384
• [雑誌論文] "Crystal structure, electrical properties, and mechanical response of (100)-/(001)-oriented epitaxial Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O_3-PbTiO_3 films grown on (100)_cSrRuO_3 // (100)SrTiO_3 substrates by metal-organic chemical vapor deposition", (2006)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Hiroshi Funakubo, Takashi Iijima, Keisuke Saito, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto, Ken Nishida, Takashi Katoda, Joe Sakai
  • 雑誌名: J. Appl. Phys., 100 ページ: 54110-54110
• [雑誌論文] "Strong Dependence on Thickness of Room-Temperature Dielectric Constant of (100)-Oriented Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O3 Epitaxial Films Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition", (2006)
  • 著者名/発表者名: Satoshi Okamoto, Shintaro Yokoyama, Shoji Okamoto, Keisuke Saito, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys., 45(40)
• [雑誌論文] Polarization comparison of Pb(Zr, Ti)O_3 and Bi_4Ti_3O^<12>-based ferroelectrics (2005)
  • 著者名/発表者名: H.Funakubo, T.Watanabe, H.Morioka, A.Nagai, T.Oikawa, M.Suzuki, H.Uchida, S.Kouda, K.Saito
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering B 118 ページ: 23-27
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Domain structure control of (001)/(100)-oriented epitaxial Pb(Zr,Ti)O_3 films grown on (100)_cSrRuO_3/(100)SrTiO_3 substrates (2005)
  • 著者名/発表者名: Y.K.Kim, H.Morioka, R.Ueno, S.Yokoyama, H.Funakubo
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 86 ページ: 212905-212905
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Raman Spectroscopic Characterization of Tetragonal PbZr_xTi_<1-x>O_3 Thin Films : A Rapid Evaluation Method for c-Domain Volume (2005)
  • 著者名/発表者名: K.Nishida, M.Osada, S.Wada, S.Okamoto, R.Ueno, H.Funakubo, T.Katoda
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 44(25)
  • NAID: 10016590819
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Comparison of electrical properties of (100)/(001)-oriented epitaxial Pb(Zr_<0.35>,Ti_<0.65>)O_3 thin films with the same (001) domain fraction grown on (100)Si and (100)SrTiO_3 substrates (2005)
  • 著者名/発表者名: Y.K.Kim, H.Morioka, S.Okamoto, T.Watanabe, S.Yokoyama, A Sumi, H.Funakubo, K.Saito
  • 雑誌名: Appl. Phy. Lett. 87 ページ: 182907-182907
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Dependence of electrical properties of epitaxial Pb(Zr,Ti)O_3 thick films on crystal orientation and Zr/(Zr+Ti) ratio (2005)
  • 著者名/発表者名: S.Yokoyama, Y.Honda, H.Morioka, S.Okamoto, H.Funakubo, T.Iijima, H.Matsuda, K.Saito, T.Yamamoto, H.Okino, O.Sakata, S.Kimura
  • 雑誌名: J. Appl. Phys. 98
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Perovskite Single Phase Growth of Epitaxial Pb(Zn_<1/3>Nb_<2/3>)O_3 Films by Alternative-Source-Gas-Introduced Metalorganic Chemical Vapor Deposition (2005)
  • 著者名/発表者名: S.Yokoyama, S.Okamoto, K.Saito, H.Uchida, S.Koda, H.Funakubo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 44(48)
  • NAID: 10016873391
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Domain distributions in tetragonal Pb(Zr,Ti)O_3 thin films probed by polarized Raman spectroscopy (2005)
  • 著者名/発表者名: M.Osada, K.Nishida, S.Wada, S.Okamoto, R.Ueno, H.Funakubo, T.Katoda
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 87
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] PbTiO_3 content dependence of crystal structure and electrical properties of (100)-/(001)-oriented epitaxial Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3 films grown by metalorganic chemical vapor deposition (2005)
  • 著者名/発表者名: S.Yokoyama, S.Okamoto, S.Okamoto, H.Funakubo, H.Matsuda, T.Iijima, K.Saito, H.Okino, T.Yamamoto
  • 雑誌名: J. Appl. Phys. 98
  • 説明: 「研究成果報告書概要(和文)」より
• [雑誌論文] Polarization comparison of Pb(Zr, Ti)O_3 and Bi_4Ti_3O_<12>-based ferroelectrics (2005)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Takayuki Watanabe, Hitoshi Morioka, Atsushi Nagai, Takahiro Oikawa, Muneyasu Suzuki, Hiroshi Uchida, Seiichiro Kouda, Keisuke Saito
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering B 118 ページ: 23-27
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Domain structure control of (001)/(100)-oriented epitaxial Pb(Zr, Ti)O_3 films grown on (100)_cSrRuO_3/(100)SrTiO_3 substrates (2005)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Risako Ueno, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Appl.Phys.Lett. 86 ページ: 212905-212905
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Raman Spectroscopic Characterization of Tetragonal PbZr_xTi_<1-x>O_3 Thin Films : A Rapid Evaluation Method for c-Domain Volume (2005)
  • 著者名/発表者名: Ken Nishida, Minoru Osada, Syunsyuke Wada, Shoji Okamoto, Risako Ueno, Hiroshi Funakubo, Takashi Katoda
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 44(25)
  • NAID: 10016590819
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Comparison of electrical properties of (100)/(001)-oriented epitaxial Pb(Zr_<0.35>,Ti_<0.65>)O_3 thin films with the same (001) domain fraction grown on (100)Si and (2005)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Shoji Okamoto, Takayuki Watanabe, Shintaro Yokoyama, Akihiro Sumi, Hiroshi Funakubo, Keisuke Saito
  • 雑誌名: Appl.Phy.Lett. 87 ページ: 182907-182907
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Dependence of electrical properties of epitaxial Pb(Zr, Ti)O_3 thick films on crystal orientation and Zr/(Zr+Ti) ratio (2005)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Yoshihisa Honda, Hitoshi Morioka, Shoji Okamoto, Hiroshi Funakubo, Takashi Iijima, Hirofumi Matsuda, Keisuke Saito, Takashi Yamamoto, Hirotake Okino, Osami Sakata, Shigeru Kimura
  • 雑誌名: J.Appl.Phys. 98
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Perovskite Single Phase Growth of Epitaxial Pb(Zn_<1/3>Nb_<2/3>)O_3 Films by Alternative-Source-Gas-Introduced Metalorganic Chemical Vapor Deposition (2005)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Keisuke Saito, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 44(48)
  • NAID: 10016873391
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Domain distributions in tetragonal Pb(Zr, Ti)O_3 thin films probed by polarized Raman spectroscopy (2005)
  • 著者名/発表者名: Minoru Osada, Ken Nishida, Syunshuke Wada, Shoji Okamoto, Risako Ueno, Hiroshi Funakubo, Takashi Katoda
  • 雑誌名: Appl.Phys.Lett. 87
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] PbTiO3 content dependence of crystal structure and electrical properties of (100)-/(001)-oriented epitaxial Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 films grown by metalorganic chemical vapor deposition (2005)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Shoji Okamoto, Hiroshi Funakubo, Hirofumi Matsuda, Takashi Iijima, Keisuke Saito, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto
  • 雑誌名: J.Appl.Phys. 98
  • 説明: 「研究成果報告書概要(欧文)」より
• [雑誌論文] Polarization comparison of Pb(Zr,Ti)O_3 and Bi_4Ti_3O_<12>-based ferroelectrics, (2005)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Takayuki Watanabe, Hitoshi Morioka, Atsushi Nagai, Takahiro Oikawa, Muneyasu Suzuki, Hiroshi Uchida, Seiichiro Kouda, Keisuke Saito
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering B 118 ページ: 23-27
• [雑誌論文] Domain structure control of (001)/(100)-oriented epitaxial Pb(Zr,Ti)O_3 films grown on (100)_cSrRuO_3/(100)SrTiO_3 substrates, (2005)
  • 著者名/発表者名: Yong Kwan Kim, Hitoshi Morioka, Risako Ueno, Shintaro Yokoyama, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Appl.Phys.Lett. 86 ページ: 212905-212905
• [雑誌論文] Raman Spectroscopic Characterization of Tetragonal PbZrxTil-xO3 Thin Films : A Rapid Evaluation Method for c-Domain Volume, (2005)
  • 著者名/発表者名: Ken Nishida, Minoru Osada, Syunsyuke Wada, Shoji Okamoto, Risako Ueno, Hiroshi Funakubo, Takashi Katoda
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys., 44(25)
• [雑誌論文] Comparison of electrical properties of (100)/(001)-oriented epitaxial Pb(Zr_<0.35>Ti_<0.65>)O_3 thin films with the same (001) domain fraction grown on (100)Si and (100)SrTiO_3 substrates, (2005)
  • 著者名/発表者名: Yong kwan Kim, Hitoshi Morioka, Shoji Okamoto, Takayuki Watanabe, Shintaro Yokoyama, Akihiro Sumi, Hiroshi Funakubo, Keisuke Saito
  • 雑誌名: Appl.Phy.Lett., 87 ページ: 182907-182907
• [雑誌論文] Dependence of electrical properties of epitaxial Pb(Zr,Ti)O_3 thick films on crystal orientation and Zr/(Zr+Ti) ratio, (2005)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Yoshihisa Honda, Hitoshi Morioka, Shoji Okamoto, Hiroshi Funakubo, Takashi Iijima, Hirofumi Matsuda, Keisuke Saito, Takashi Yamamoto, Hirotake Okino, Osami Sakata, Shigeru Kimura
  • 雑誌名: J.Appl.Phys. 98
• [雑誌論文] Perovskite Single Phase Growth of Epitaxial Pb(Zn_<1/3>Nb_<2/3>)O_3 Films by Alternative-Source-Gas-Introduced Metalorganic Chemical Vapor Deposition, (2005)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Keisuke Saito, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda, Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys., 44(48)
  • NAID: 10016873391
• [雑誌論文] Domain distributions in tetragonal Pb(Zr,Ti)O_3 thin films probed by polarized Raman spectroscopy, (2005)
  • 著者名/発表者名: Minoru Osada, Ken Nishida, Syunshuke Wada, Shoji Okamoto, Risako Ueno, Hiroshi Funakubo, Takashi Katoda
  • 雑誌名: Appl.Phys.Lett., 87
• [雑誌論文] PbTiO_3 content dependence of crystal structure and electrical properties of (100) -/(001)-oriented epitaxial Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3 films grown by metalorganic chemical vapor deposition, (2005)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Yokoyama, Satoshi Okamoto, Shoji Okamoto, Hiroshi Funakubob, Hirofumi Matsuda, Takashi Iijima, Keisuke Saito, Hirotake Okino, Takashi Yamamoto
  • 雑誌名: J.Appl.Phys. 98