| 研究課題/領域番号 |
17510104
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
ナノ材料・ナノバイオサイエンス
|
|---|
| 研究機関 | 秋田県産業技術総合研究センター |
|---|
研究代表者 |
有明 順 秋田県産業技術総合研究センター, 高度技術研究所, 上席研究員 (00360355)
|
|---|
| 研究分担者 |
千葉 隆 Akita Prefectural R&D Center, Senior Researcher (70370236)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2005 – 2006
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2006年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
2006年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2005年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
|
|---|
| キーワード | 垂直磁気記録 / 垂直磁気記録媒体 / ナノ構造制御 / 磁気異方性 / 熱安定性 / 界面制御 / 薄膜 / ナノ構造解析 / ナノ材料解析 / 結晶配向 / グラニュラ構造 / コバルト(Co) / 白金(Pt) / 酸化物コンポジット / 標準生成エネルギ |
|---|
| 研究概要 |
高密度情報記録システムとして検討されている垂直磁気記録方式の中で、現状のCo-Pt-Cr-OやCo-Pt-Cr-SiO_2に替わる超500Gbit/in^2を目指す記録媒体としてCo-Pt-oxide(SiO_2以外)グラニュラ型媒体を提案した。
この媒体に要求される特性(課題)は、次の通りである。
(a)低ノイズ化のため、磁気的に完全に分離したナノコンポジット構造であること
(b)記録分解能向上のため、結晶粒子サイズが微細で均一であること
(c)熱安定性確保のため、磁気的エネルギが大きいこと
これらに対する解決策として次の提案をした。
(1)磁性結晶として磁気的エネルギの大きなCo-Pt膜を採用
(2)SiO_2以外の酸化物との複合化で、より完全な磁気的分離構造を実現
(3)高ガス圧Co-PtとCo-Pt-TiO^2のスタッタ構造で、記録のしやすさを実現
まず、Co-Pt材料は成膜プロセス(主にガス圧力や下地層成膜条件)を最適化することで、従来のCo-Pt-Cr系より磁気異方性エネルギが大きい(6x10^6 erg/cm^3、Co-Pt-Cr系では1-4x10^6 erg/cm^3)記録層を得た。次により完全な磁気的分離構造実現のため、酸化物との複合化を検討し、TiO^2がCo-Pt膜中において化学量論組成に近い組成をその成長初期から保っており、より完全な酸化物として存在していることが判明した。他の酸化物では、不完全な酸化状態などにより、磁気異方性エネルギが低下した。
M-Hループの傾き(α)が小さいことから低ノイズ性が期待される。微細結晶粒子が平均6.4nm、サイズ分布が15%程度の微細で均一な記録膜を作製することに成功した。また、グラニュラCo-Pt-TiO^2の低ノイズ性とCo-Ptのガス圧による交換結合制御により、αやHcなどの磁気特性を制御でき、Trilemmaに打勝つ媒体の可能性を得た。
|
