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次世代磁気記録媒体ナノ粒子薄膜の新規作製と特性制御

研究課題

研究課題/領域番号 17560302
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関宇都宮大学

研究代表者

石井 清  宇都宮大学, 工学部, 教授 (30134258)

研究分担者 佐久間 洋志  宇都宮大学, 工学部, 助手 (40375522)
齋藤 和史  宇都宮大学, 工学部, 助手 (70251080)
研究期間 (年度) 2005 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2006年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2005年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワード磁気記録媒体 / 垂直磁気記録 / スパッタ膜 / ガスフロースパッタ法
研究概要

前年度の研究で,Pt(111)下地上にガスフロースパッタ法により堆積させたCo-Pt薄膜は,幅約10nmの柱状の粒子からなり,c軸が基板に対して垂直となるような結晶配向を持っていること,そのようなナノ粒子構造が7kOeという高い垂直保磁力を生じることを明らかにした.
本年度は,まず高保磁力の原因を探るために,熱処理条件を変化させたCo-Pt/Pt薄膜についてX線光電子分光(XPS)を用いて深さ方向の組成分析を行った.その結果,熱処理温度の上昇に伴って表面からCoの酸化が進行し,熱処理温度350℃では,ほとんどのCo原子が酸化していることが明らかになった.保磁力が最大となる熱処理温度は250℃であり,この温度ではCo-Pt層全体が酸化することなく,粒界のみに酸化層が析出することにより,磁区の分離が促され高保磁力を生じていることが明らかになった.
次に,Pt下地上へのCo-Ptの成長メカニズムを探るために,Pt下地にArイオンシャワーを施し,格子定数および表面モフォロジーを変化させCo-Pt成長への影響を調べた.Arイオンシャワー照射時間によりPt下地の格子定数が変化するが,それに伴ってCo-Ptの格子定数も変化し,Co-PtはPt上にエピタキシャル的に成長していることが裏付けられた.保磁力は格子定数とともに大きくなったが,この挙動はこれまでの磁気異方性に関する報告から予想されるものとは異なった.また,角型比はCo-Ptの格子定数とではなく,Pt下地層の表面粗さと相関があり,表面粗さが大きいほど角型比が小さくなることが明らかになった.これはCo-Ptナノ粒子の結晶配向のばらつきで説明できる.以上のように,Pt下地の表面モフォロジーはCo-Ptの成長において非常に重要であり,これを制御することにより超高密度磁気記録に有利なCo-Ptナノ粒子の規則配列を実現できる可能性が示された.

報告書

(2件)
  • 2006 実績報告書
  • 2005 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2006 2005 その他

すべて 雑誌論文 (9件)

  • [雑誌論文] ガスフロースパッタ法により作製したCo-Pt/Pt薄膜の微細構造とアニールの効果2006

    • 著者名/発表者名
      三藤士郎, 他
    • 雑誌名

      日本応用磁気学会誌 30・4

      ページ: 459-463

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Size-Controlled Growth of Fe Nanoparticles in Gas Flow Sputtering Process2006

    • 著者名/発表者名
      H.Sakuma, 他
    • 雑誌名

      Journal of Magnetics 11・3

      ページ: 103-107

    • NAID

      10016966829

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] ナノ粒子構造Co-Pt/Pt垂直磁化膜に対する下地へのArイオンシャワー効果2006

    • 著者名/発表者名
      西口浩平, 他
    • 雑誌名

      電気学会金属・セラミック,マグネティクス合同研究会資料 MAG-06-153

      ページ: 11-15

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Analysis of Atomic Arrangement in Magnetic Fe-Pt Nanoparticles2006

    • 著者名/発表者名
      H.Sakuma
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials 300

      ページ: 284-292

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Co-Pt/Pt thin films with perpendicular magnetization and a high coercivity prepared by gas flow sputtering2005

    • 著者名/発表者名
      S.Mifuji
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 97

      ページ: 102-104

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Estimations of Plasma Parameters and BiasSputtering of Cu Films in Gas-Flow-Sputtering Operating at 1-Torr Pressure Region2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Saitou
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Societ of Japan 30

      ページ: 311-314

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Low-Field Magnetization Reversal in Fe/Ag Granular Films2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sakuma
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan 30

      ページ: 1382-3469

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] ガスフロースパッタ法により作製したCo-Pt/Pt膜の磁気特性に対するアニール効果2005

    • 著者名/発表者名
      三藤士郎
    • 雑誌名

      電気学会マグネティックス研究会資料 MAG-05-156

      ページ: 145-149

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Growth of Magnetite Epitaxial Thin Films by Gas Flow Sputtering and Characterization by FMR

    • 著者名/発表者名
      H.Sakuma, 他
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering (採録決定)

    • NAID

      10025772241

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

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公開日: 2005-04-01   更新日: 2016-04-21  

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