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MEMS技術を用いたリレーやスイッチに適用するパワー用無放電電気接点の研究

研究課題

研究課題/領域番号 17560316
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関石巻専修大学

研究代表者

若月 昇  石巻専修大学, 理工学部, 教授 (40275615)

研究分担者 中谷 忠司  (株)富士通研究所, ストレージ・インテリジェントシステム研究所, 研究員 (90417981)
研究期間 (年度) 2005 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
3,710千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 210千円)
2007年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2006年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2005年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワード電気接点 / MEMS / アーク放電 / 過渡電流スイッチ / 電磁リレー / リードスイッチ / クーロン静電力 / シリコン単結晶片持ちはり / Si単結晶片持ち梁 / RIE技術
研究概要

1.研究の対象
大電流(数A以上)用の電気接点は,接点開離時に電極の一部に電流が集中し,溶融し、電極間アーク放電が発生する。その結果、接点電極の損傷,磨耗,酸化,変形などが不可避である。このアーク放電現象の抑制方法を提案し、MEMS技術と組み合わせた電気接点デバイス超小化の基礎研究。
2.アーク放電抑圧のための過渡電流スイッチ回路を提案
電気接点開離機能を、通電電流遮断と電源電圧隔離機能を分離する構成を提案。最小アーク放電電圧以下で電流遮断し、最小アーク放電電流流以下で電源隔離する方法。具体的には通電スイッチに並列に過渡電流スイッチとコンデンサを接続する方法と、通電スイッチ開離時の電流を多数個の抵抗を過渡電流スイッチに分流する方法。
3.過渡電流スイッチ回路の効果とMEMS技術への適用可能性を確認
(1)過渡電流スイッチ回路の動作を実験と等価回路解析で確認した。負荷回路の誘導性によらないのが特長。
(2)多数個の素子を並置し、精確な機械動作の時間制御の超小形化にMEMSを適用し可能性を確認。
(3)100μφ金電極で42V/0.97Aの無放電で電流遮断動作を確認した。
4.研究成果
(1)接点開離時のアーク放電を過渡電流スイッチ回路で抑制できる設計条件を確立できた。
(2)電気開閉接点の超小型化の可能性を示し、MEMS技術と組み合わせた基本的な構成を示した。
5.今後の研究の展開方向
(1)過渡電流スイッチ回路適用下の開離時金属溶融現象を弾性振動解析で明らかにできたので、開閉アクチエータの超小型化の可能性を追求する。
(2)MEMSデバイスへの適用と同時に、従来デバイスの小型化、高信頼化に研究成果の適用を試みたい。

報告書

(4件)
  • 2007 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2006 実績報告書
  • 2005 実績報告書
  • 研究成果

    (35件)

すべて 2007 2006 2005 その他

すべて 雑誌論文 (12件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (16件) 備考 (1件) 産業財産権 (6件)

  • [雑誌論文] Measurement of Bouncing of Reed Switch Due to Coulom's Elect ric Force2007

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS.ELECTRON VOL.E90-C NO.7

      ページ: 1455-1459

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電磁リレー開閉動作の弾性振動解析2007

    • 著者名/発表者名
      若月 昇
    • 雑誌名

      超音波TECHNO Vo.19,No.6

      ページ: 55-60

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書 2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurement of Bouncing of Reed Switch Due to Coulomb's Electric Force2007

    • 著者名/発表者名
      Noboru, Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS. ELECTRON Vol.E90-C No.7

      ページ: 1455-1459

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurement of Bouncing of Reed Switch Due to Coulom's Electric Force2007

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS.ELECTRON VOL.E90-CNO.7

      ページ: 1455-1459

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Equivalent Circuit Analysis for Time-Coordinated Non-arching Operation of Reed Switches2006

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS.ELECTRON VOL.E89-C NO.8

      ページ: 1182-1186

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Equivalent Circuit Analysis for Time-Coordinated Non-arching Operation of Reed Switches2006

    • 著者名/発表者名
      Noboru, Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS. ELECTRON Vol.E88-C No.8

      ページ: 1182-1186

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Equivalent Circuit Analysis for Time-Coordinated Non-arching Operation of Reed Switches2006

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS. ELECTRON VOL.E89-C NO.8

      ページ: 1182-1186

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Time-Coordinated Switching Relay for Arc Discharge Suppression2005

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS.ELECTRON VOL.E88-C NO.8

      ページ: 1635-1640

    • NAID

      110003215319

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要 2005 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication Process of Non arcing MEMS Switch2005

    • 著者名/発表者名
      Yu Yonezawa, Noboru Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS.ELECTRON VOL.E88-C NO.8

      ページ: 1629-1634

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] "Time-Coordinated Switching Relay for Arc Discharge Suppression"2005

    • 著者名/発表者名
      Noboru, Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS. ELECTRON Vol.E88-C No.8

      ページ: 1635-1640

    • NAID

      110003215319

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication Process of Non arcing MEMS Switch2005

    • 著者名/発表者名
      Yu, Yonezawa, Noboru, Wakatsuki
    • 雑誌名

      IEICE TRANS. ELECTRON Vol.E88-C No.8

      ページ: 1629-1634

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication Process of Nonarcing MEMS Switch2005

    • 著者名/発表者名
      Yu Yonezawa
    • 雑誌名

      IEICE TRANS.ELECTRON VOL.E88-C NO.8

      ページ: 1629-1634

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [学会発表] Breaking contact Phenomena of Time-coordinated Non-arcing Relay2007

    • 著者名/発表者名
      H. Honma, N. Wakatsuki
    • 学会等名
      電子情報通信学会機構デバイス研究会国際セッションIS-EMD2007
    • 発表場所
      浜松市
    • 年月日
      2007-11-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Arc discharge and surge suppression during a breaking operation of a magnetic relay2007

    • 著者名/発表者名
      H. Honma, N. Wakatsuki
    • 学会等名
      The 53^<rd> IEEE Holm Conference on Electrical Contacts
    • 発表場所
      Pittsburg、USA
    • 年月日
      2007-09-19
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Arc discharge and surge suppression during a breaking opera tinn of a maunptir ralay2007

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Honnma Noboru Wakatsuki
    • 学会等名
      The 53rd IEEE Holm Conference on Electrical Contacts
    • 発表場所
      Pittsburg,PA,USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Breaking Contact Phenomena of Time-coordinated Non-arcing Relay2007

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 学会等名
      IS-EMD2005, IEICE Technical Report, Vol.107 No.309
    • 発表場所
      浜松市静岡大学
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Arc discharge and surge suppression during a breaking operation of a magnetic relay " Proceedings p.280-2832007

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi, Honnma, Noboru, Wakatsuki
    • 学会等名
      The 53rd IEEE Holm Conference on Electrical Contacts
    • 発表場所
      Pittsburg, USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Breaking Contact Phenomena of Time-coordinated Non-arcing ielay2007

    • 著者名/発表者名
      Noboru, Wakatsuki
    • 学会等名
      IS-EMD2005, IEICE Technical Report Vol.107 No.309
    • 発表場所
      Shizuoka Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] 開閉電気接点におけるクーロン静電力による弾性振動2006

    • 著者名/発表者名
      若月 昇
    • 学会等名
      圧電材料シンポジューム
    • 発表場所
      仙台東北大学
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Coulomb's electrostatic force during making and breaking operati on of a reed switch2006

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Honnma, Noboru Wakatsuki
    • 学会等名
      The 23rd International Conference on Electrical Contacts
    • 発表場所
      仙台市国際交流センター
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] アーク放電を抑圧するための電気接点の開閉力の検討2006

    • 著者名/発表者名
      若月 昇
    • 学会等名
      日本学術振興会弾性波素子技術150委員会弟98回研究会
    • 発表場所
      東京都弘済会館
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] 回転形電気接点におけるアーク放電抑圧の基礎検討2006

    • 著者名/発表者名
      本間 亘、若月 昇
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会信学技報Vol.106 No.250
    • 発表場所
      宮城県石巻専修大学
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] 庵気接点の開閉時バウンスとクーロン静電力の検討2006

    • 著者名/発表者名
      菊池 孝徳、若月 昇
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会信学技報Vol.106 No.250
    • 発表場所
      県石巻専修大学
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Bouncing of a Reed Switch due to Coulomb's Electrostatic Force2006

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Honnma Noboru Wakatsuki
    • 学会等名
      The 52nd IEEE Holm Conference on Electrical Contacts Proceedings
    • 発表場所
      Montreal,Canada
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Coulomb's electrostatic force during making and breaking operation of a reed switch2006

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi, Honnma, Noboru, Wakatsuki
    • 学会等名
      The 23rd International Conference on Electrical Contacts
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Bouncing of a Reed Switch due to Coulomb's Electrostatic Force Fabrication Process of Non arcing MEMS Switch2006

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi, Honnma, Noboru, Wakatsuki
    • 学会等名
      The 52nd IEEE Holm Conference on Electrical Contacts
    • 発表場所
      Montreal, Canada
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Time-Coordinated Non-arcing Breaking Operation of Reed Switch Ies for Higher Current2005

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 学会等名
      The 51 IEEE Holm Conference on Electric Contacts
    • 発表場所
      Chicago,IL USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Contacting force of a reed switch at breaking operation2005

    • 著者名/発表者名
      Noboru Wakatsuki
    • 学会等名
      IS-EMD2005, IEICE Technical Report Vol.105 No.413
    • 発表場所
      北海道千歳科学大学
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [備考] 「研究成果報告書概要(和文)」より

    • URL

      http://wakatsuki.ie.isenshu-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] スイッチ回路および回生回路2007

    • 発明者名
      若月 昇
    • 権利者名
      若月 昇
    • 産業財産権番号
      2007-031425
    • 出願年月日
      2007-02-12
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] スイッチ回路および回生回路2007

    • 発明者名
      若月昇
    • 権利者名
      若月昇
    • 産業財産権番号
      2007-031425
    • 出願年月日
      2007-02-12
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [産業財産権] インダクタンスの測定法2006

    • 発明者名
      若月 昇
    • 権利者名
      若月 昇
    • 産業財産権番号
      2006-246899
    • 出願年月日
      2006-09-12
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 電流スイッチ回路2006

    • 発明者名
      若月 昇
    • 権利者名
      若月 昇
    • 産業財産権番号
      2006-255233
    • 出願年月日
      2006-09-12
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] インダクタンスの測定法2006

    • 発明者名
      若月昇
    • 権利者名
      若月昇
    • 産業財産権番号
      2006-246899
    • 出願年月日
      2006-09-12
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [産業財産権] 電流スイッチ回路2006

    • 発明者名
      若月昇
    • 権利者名
      若月昇
    • 産業財産権番号
      2006-255233
    • 出願年月日
      2006-09-12
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

URL: 

公開日: 2005-04-01   更新日: 2016-04-21  

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