| 研究課題/領域番号 |
17560320
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京工科大学 |
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研究代表者 |
黒田 道子 東京工科大学, コンピュータサイエンス学部, 教授 (70225308)
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| 研究期間 (年度) |
2005 – 2007
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| 研究課題ステータス |
完了 (2007年度)
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| 配分額 *注記 |
3,540千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 240千円)
2007年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2006年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
2005年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
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| キーワード | 可変機能RF-MEMS / 移動境界適合座標系 / 重合格子法 / 設計・解析支援技術 / 電磁界-振動連成解析 / FDTD法 / DOE / RSM / 先端機能デバイス |
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| 研究概要 |
移動通信の発展に伴い、高周波への急速な移行が進む中で可変機能を持つデバイスが求められている。このような可変機能をもつデバイスやモバイル通信での振動や運動に対する電磁界解析を行うために電磁界振動連成問題の数値解析法を提案している。平成17年度は、機械的電気的特性を持つ連成問題を2次元問題として数値解析を行っていたが、平成18年度は3次元問題に拡張しより実際に近い状態での数値解析を行うことがでた。具体的には3次元MEMSキャパシタの動作解析を行い,電極間の電磁界や静電容量を求め、可動の影響を詳しく示すことができた。移動境界適合座標系を用いる手法に加え、平成18年度からは新たに重合格子法を導入し両手法を用いて厳密界との比較を行いよい一致を見た。重合格子法は、移動境界適合座標系に比べて移動距離を長く取れる特徴があり、今後、広い範囲に応用ができる利点があるため、MEMSをはじめモバイル通信機器に応用できる手法であることを確認した。一方で、時間領域と周波数領域での運動による影響についても数値解析を行った。周波数領域での成果は電子情報通信学会論文誌に2008年9月の掲載が決定しているのを始めとし、2007年6月のIEEE AP-Sなどで発表した。ドプラー効果についての成果は、2007年8月のISAP2007、2008年3月のACES20008で発表した。さらに、MEMSに応用した研究成果は、2006年3月にACES Journalに掲載されたのを始めとし、2006年7月のIEEEAPS、2007年12月のAPCE2007などで発表した。重合格子法については2006年3月のACES2006で発表したのを始め、移動境界適合座標系の比較についての研究は2008年3月の電子情報通信学会総合大会で発表し、2008年7月のIEEEAP-S2008で発表の予定である。以上に述べた学会発表では、各方面から高い評価を得ることができた。
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