| 研究概要 |
本研究は, 環境および人体に悪影響を与えない希薄電解質塩溶液の電解水を電子・電気材料の表面洗浄に応用することを目的としている. まず, 電解還元水のシリコン材表面に与えている影響, シリコンウエハの超精密洗浄および研磨における基本特性を解明した. つぎに, 電解酸化水のCu, Ni, Alおよびその合金の表面に及ぼす影響, これらの純金属の表面に対するエッチング, 酸化皮膜除去などについて検討した. 本研究によって, 電解水は, 充分に電子・電気材料の表面洗浄に応用できることを明らかにした.
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