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デンドライト成長を利用した完全配向半導体バルク多結晶の成長技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17656223
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 構造・機能材料
研究機関東北大学

研究代表者

藤原 航三  東北大学, 金属材料研究所, 助手 (70332517)

研究期間 (年度) 2005 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
2006年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
2005年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
キーワード太陽電池 / 多結晶シリコン / 融液成長 / デンドライト / キャスト法 / Siバルク多結晶
研究概要

本研究では、一方向成長キャスト法において成長初期過程にデンドライト結晶をルツボ壁に沿って成長させ、このデンドライト結晶上面にSiバルク多結晶を成長させる「デンドライト利用キャスト法」により、粒方位、粒サイズ、粒界性格を制御した太陽電池用Siバルク多結晶を作製することを目的としている。本年度は、キャスト成長の初期過程にデンドライト成長を効率的に発現させるために、第二元素としてGeを微量添加することを着想した。
融液成長過程のその場観察装置を用いて、Si融液およびSiGe融液からの結晶成長過程を直接観察し、成長様式を比較した。Geを微量添加することによって、純Si融液の場合に比べてデンドライト成長が起こりやすくなり、かつ、デンドライト結晶のサイズも大きくなることが明らかとなった。これは、Geを添加することで融液中に組成的過冷却が生じたためであると考えられる。この知見をベースとして、キャスト成長においてもSiにGeを微量添加して5cmφ×3cmのバルク多結晶インゴットの成長を行った。Geを添加しない場合は、{112}面に配向したインゴットが得られたが、Geを添加したインゴットにおいては、{110}面に80%以上配向したバルク多結晶インゴットが得られた。これは、キャスト成長初期に、ルツボ底面に沿って<112>方向に伸びるデンドライトが多数成長したためである。このように、Geの微量添加により、バルク多結晶インゴットの組織制御が可能であることを実証し、特定の結晶方位に配向したバルク多結晶インゴットを実現した。

報告書

(2件)
  • 2006 実績報告書
  • 2005 実績報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて 2006 2005

すべて 雑誌論文 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Directional growth method to obtain high quality polycrystalline silicon from its melt2006

    • 著者名/発表者名
      K.Fujiwara et al.
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 292

      ページ: 282-285

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体バルク多結晶の作製方法2005

    • 発明者名
      藤原 航三, 中嶋 一雄
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学
    • 産業財産権番号
      2005-345042
    • 出願年月日
      2005-11-30
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書

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公開日: 2005-04-01   更新日: 2016-04-21  

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