• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

液滴ターゲットによる卓上型高輝度軟X線光源の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17760050
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関宇都宮大学 (2006)
宮崎大学 (2005)

研究代表者

東口 武史  宇都宮大学, 工学部, 助手 (80336289)

研究期間 (年度) 2005 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2006年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2005年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
キーワード軟X線光源 / レーザープラズマ / 液滴ターゲット / プラズマパラメータ / レーザー生成プラズマ / 高速イオン / 極端紫外光 / 軟X線
研究概要

平成18年度は、スズナノ粒子を混入した数10ミクロンの直径を有する液体ジェットターゲットおよび液滴ターゲットを用いて、レーザー生成プラズマからの軟X線発生の高効率化に関する研究を行い、卓上型軟X線光源の実現に向けた研究を行った。
液体ターゲットを真空容器中央に連続的に供給し、軟X線がが背景雰囲気ガスにより再吸収されないように、真空容器の圧力を1Pa以下に保った。軟X線は斜入射分光器および較正されたエネルギーメータにより時間積分スペクトルおよびエネルギーを観測した。
この研究を通して、予備プラズマを生成することの有効性が明らかになったと考えている。予備プラズマの生成には、同じくレーザーを用いる。つまり、レーザーを2つ用いて、予備パルスと主パルスに適当なパルス間隔(遅延時間)を設けて液体ターゲットに照射することが、軟X線発生の高効率化に有効であることが分かった。
液体ターゲットには平均粒径6nmの酸化スズナノ粒子を混入した。スズは波長13.5nm領域の軟X線を効率よく発生できることができる。このターゲットに、波長532nmのナノ秒領域の予備レーザーパル液体ターゲットに集光照射し、予備プラズマを生成する。予備プラズマはこのレーザーパルス照射後に膨張し、密度が低下する。平均密度が主パルスの波長1064nmで決まる臨界密度程度となる約100ns程度の遅延時間を設けて予備プラズマに集光照射する。その結果、予備プラズマと主パルスのエネルギー結合が効率よく起こることにより、軟X線を効率的に発生できることが明らかとなった。その変換効率は約1.2%であった。

報告書

(2件)
  • 2006 実績報告書
  • 2005 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2007 2006 2005

すべて 雑誌論文 (12件) 図書 (1件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Development of a liquid tin microjet target for an efficient laser-produced plasma extreme ultraviolet source2007

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 78

      ページ: 36106-36106

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 液体スズターゲットによる高効率EUV光源の開発2007

    • 著者名/発表者名
      東口 武史, 窪寺 昌一
    • 雑誌名

      レーザー研究 35

      ページ: 168-172

    • NAID

      10018869982

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Enhancement of conversion efficiency of extreme ultraviolet radiation from a liquid aqueous solution microjet target by use of dual laser pulses2006

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 6151

      ページ: 615145-615145

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Enhancement of extreme ultraviolet emission from a lithium plasma by use of dual laser pulses2006

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 88

      ページ: 161502-161502

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Low-debris, efficient laser-produced plasma extreme ultraviolet source by use of a regenerative liquid microjet target containing tin-dioxide (SnO_2) nano-particles2006

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 88

      ページ: 201503-201503

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Extreme ultraviolet emission characteristics of a laser-produced Li plasma2006

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      IPAP Conference Series 7

      ページ: 151-153

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Enhancement of conversion efficiency of extreme ultraviolet radiation from a liquid aqueous solution microjet target by use of dual laser pulses2006

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Vol.6151

      ページ: 6151-146

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Parametric optimization of a narrow-band 13.5-nm emission from a Li-based liquid-jet target using dual nano-second laser pulses2005

    • 著者名/発表者名
      C.Rajyaguru, T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics B (Rapid Communication) Vol.80

      ページ: 409-412

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Efficient soft x-ray emission source at 13.5nm by use of a femtosecond-laser-produced Li-based microplasma2005

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol.86

      ページ: 231502-231502

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Enhancement of extreme ultraviolet emission from a laser-produced-lithium plasma by use of dual laser pulses2005

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Conference Digest of Conference on CLEO EUROPE 2005 Vol.29B

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Enhancement of EUV emission from a liquid microjet target by use of dual laser pulses2005

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Vol.5777

      ページ: 613-616

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Debris characteristics of a laser-produced tin plasma for extreme ultraviolet source2005

    • 著者名/発表者名
      T.Higashiguchi et al.
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments Vol.76

      ページ: 126102-126102

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [図書] EUV光源の開発と応用(第6章)Development and Application of Extreme Ultraviolet Light Source2007

    • 著者名/発表者名
      東口 武史, 窪寺 昌一
    • 総ページ数
      273
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [産業財産権] 水溶液あるいは微粒子懸濁液を用いた被膜生成手法2006

    • 発明者名
      甲藤 正人, 東口 武史 他2名
    • 権利者名
      国立大学法人宮崎大学
    • 産業財産権番号
      2006-143925
    • 出願年月日
      2006-05-24
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [産業財産権] 極端紫外光発生方法および極端紫外光発生装置2005

    • 発明者名
      東口 武史, 窪寺 昌一
    • 産業財産権番号
      2005-320470
    • 出願年月日
      2005-11-04
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書

URL: 

公開日: 2005-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi