低温形成微結晶SiCを用いた高性能透明薄膜トランジスタの開発

• 研究課題/領域番号: 17760248
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 綿引 達郎 東工大, 理工学研究科, 助手 (10361768)
• 研究期間 (年度): 2005 – 2006
• 研究課題ステータス: 完了 (2006年度)
• 配分額: 3,500千円 (直接経費: 3,500千円); 2006年度: 800千円 (直接経費: 800千円); 2005年度: 2,700千円 (直接経費: 2,700千円)