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二次元原子層膜を使った超高感度光センサーの開発

研究課題

研究課題/領域番号 17F17360
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分外国
研究分野 ナノマイクロシステム
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

若山 裕  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, 副拠点長 (00354332)

研究分担者 MUKHERJEE BABLU  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, 外国人特別研究員
研究期間 (年度) 2017-11-10 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
2019年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2018年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2017年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
キーワード光トランジスタ / 多値メモリ / 遷移金属カルコゲナイド / 二硫化レニウム / 直接遷移型半導体 / 二次元原子層 / フォトダイオード / 光センサー / 電界効果トランジスタ
研究実績の概要

二次元層状物質のひとつ二硫化レニウム(ReS2)を中心材料にした光機能性薄膜トランジスタの開拓に取り組んだ。まず、原子層数の異なる二枚のReS2薄膜を並列に接合して、これを光トランジスタのチャネル層として用いた。その結果、高い量子収率と高速応答の両方を兼ね備えた高機能性光トランジスタの動作を実現できた。これは二枚のReS2薄膜の接合界面で余剰電荷がトラップされることにより、光励起された電荷の再結合を抑制しているためであることを明らかにした。次に3種類の二次元層状物質(グラフェン・六方晶窒化ホウ素・ReS2)を積層したフローティングゲート型メモリ素子において、光照射とゲート電圧を適宜制御することにより、電荷をフローティングメモリに蓄積した光メモリ機能の動作に成功した。ここではグラフェンがフローティングゲート、六方晶窒化ホウ素がゲート絶縁膜、ReS2薄膜がトランジスタチャネルとして機能する。この素子の特長は光照射をパルスレーザー光とすることにより、蓄積する電荷の量を再現性よく制御できることにある。特に蓄積量を多段階に制御した多値メモリを実現できた。以上、光トランジスタと光メモリの二つの光機能性薄膜トランジスタは、いずれも半導体であるReS2薄膜をチャネルとして用いている。このReS2は原子層数に関係なく直接遷移型の半導体として機能するといった特長を持つ。通常の遷移金属カルコゲナイドは単層では直接遷移型だが、多層にすると間接遷移型半導体になってしまう。しかしReS2は複数層でも直接遷移型半導体であるため、上記のような光機能性を発現することができた。このようにして新しい光応答性の機能性トランジスタの開拓に成功した。

現在までの達成度 (段落)

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2019 2018 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 3件)

  • [国際共同研究] National University of Singapore(シンガポール)

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [国際共同研究] National University of Singapore(シンガポール)

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Enhanced quantum efficiency in vertical mixed-thickness ReS2/p-Si Schottky photodiode2019

    • 著者名/発表者名
      Bablu Mukherjee, Amir Zulkefli, Ryoma Hayakawa, Yutaka Wakayama, Shu Nakaharai
    • 雑誌名

      ACS Photonics

      巻: 6 号: 9 ページ: 2277-2286

    • DOI

      10.1021/acsphotonics.9b00580

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 2D Materials and van-der-Waals Heterostructure based Optoelectronic Devices2019

    • 著者名/発表者名
      MUKHERJEE Bablu, Bin ZULKEFLI Mohd Amir, HAYAKAWA Ryoma, WATANABE Kenji, TANIGUCHI Takashi, WAKAYAMA Yutaka, NAKAHARAI Shu
    • 学会等名
      International Conference on Nano Science and Technology
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Enhanced Quantum Efficiency in Mixed-thickness ReS2/p-Si Schottky Photodiode2019

    • 著者名/発表者名
      MUKHERJEE Bablu, Bin ZULKEFLI Mohd Amir, HAYAKAWA Ryoma, WATANABE Kenji, TANIGUCHI Takashi, WAKAYAMA Yutaka, NAKAHARAI Shu
    • 学会等名
      32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 2D van-der-Waals Multilayer-ReS2/h-BN/Graphene Heterostructures Based Non-Volatile Memory Device for IoT Era2019

    • 著者名/発表者名
      MUKHERJEE Bablu, Bin ZULKEFLI Mohd Amir, HAYAKAWA Ryoma, WATANABE Kenji, TANIGUCHI Takashi, WAKAYAMA Yutaka, NAKAHARAI Shu
    • 学会等名
      International Conference on Materials for Advanced Technologies
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 2D van-der-Waals Multilayer-ReS2/h-BN/Graphene Heterostructures Based Non-Volatile Memory Device for IoT Era2019

    • 著者名/発表者名
      MUKHERJEE Bablu, IWASAKI Takuya, Bin ZULKEFLI Mohd Amir, WATANABE Kenji, TANIGUCHI Takashi, WAKAYAMA Yutaka, NAKAHARAI Shu
    • 学会等名
      International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Few-Layer ReS2 based Vertical p-n van der Waals Junction for Photosensing2018

    • 著者名/発表者名
      MUKHERJEE Bablu, Bin ZULKEFLI Mohd Amir, Ryoma Hayakawa, WAKAYAMA Yutaka NAKAHARAI Shu
    • 学会等名
      SSDM 2018, 50th annual conference
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2017-11-13   更新日: 2024-03-26  

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