大気圧SIMS法の開発とその固液界面評価への応用

• 研究課題/領域番号: 17H01058
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 松尾 二郎 京都大学, 工学研究科, 准教授 (40263123)
• 研究分担者: 瀬木 利夫 京都大学, 工学研究科, 講師 (00402975) ; 青木 学聡 京都大学, 学術情報メディアセンター, 准教授 (90402974)
• 研究期間 (年度): 2017-04-01 – 2021-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2020年度)
• 配分額: 42,770千円 (直接経費: 32,900千円、間接経費: 9,870千円); 2020年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円); 2019年度: 8,710千円 (直接経費: 6,700千円、間接経費: 2,010千円); 2018年度: 11,960千円 (直接経費: 9,200千円、間接経費: 2,760千円); 2017年度: 15,990千円 (直接経費: 12,300千円、間接経費: 3,690千円)
• キーワード: 固液 / 2次イオン / 高速重イオン / クラスター / 大気圧SIMS法 / SIMS / イオン / 表面分析 / 固液界面 / 二次イオン / 大気圧分析 / 質量分析

研究成果の概要

機能発現の場である表面・界面の観察は、発現メカニズムの解明には欠かせないが、これまで開発されてきた表面・界面観察技術の多くは超高真空もしくは高真空を必要とするため、液相や高圧の気相との界面評価には適しているとは言えなかった。これまでの評価手法の限界を打破するために、高速重イオン(MeV程度)を入射イオンに用いる2次イオン質量分析法（SIMS）を用い、固体と液体との界面を直接観察することのできる全く新しい革新的評価手法の研究・開発をした。この手法を用いて、最も身近な液体である水やLiイオンバッテリーの電解液などの固液界面の評価を行った。

研究成果の学術的意義や社会的意義

固液界面を観察できる全く新しい評価手法であるMeV-SIMS法を開発した。この手法は、大気圧下で高感度に分子状態の情報が取得可能というこれまでにはない特徴を持っている。この手法を使って、2次電池として今や欠かせないLiイオン電池（LIB）の電解液の評価を行った。LIBは、高エネルギー密度かつ長寿命という特徴を持ち脱炭素社会実現のための2次電池としての役割も期待され、社会インフラとしても極めて重要な技術となっている。電解質として液体を使うLIBの性能向上のためには、電荷を受け渡す電極と電解液の界面の制御が重要であり、固液界面での評価手法として適用できることを実証した。

研究成果

• [国際共同研究] Kaiserlautern大学(ドイツ)
• [国際共同研究] Namur大学(ベルギー)
• [国際共同研究] Chiang Mai大学/Kaiserlautern大学(タイ)
• [国際共同研究] Kaiserlautern大学(ドイツ)
• [国際共同研究] Namur大学(ベルギー)
• [国際共同研究] Chiang Mai大学(タイ)
• [雑誌論文] Phonon transport probed at carbon nanotube yarn/sheet boundaries by ultrafast structural dynamics (2020)
  • 著者名/発表者名: Hada Masaki、Makino Kotaro、Inoue Hirotaka、Hasegawa Taisuke、Masuda Hideki、Suzuki Hiroo、Shirasu Keiichi、Nakagawa Tomohiro、Seki Toshio、Matsuo Jiro、Nishikawa Takeshi、Yamashita Yoshifumi、Koshihara Shin-ya、Stolojan Vlad、Silva S. Ravi P.、Fujita Jun-ichi、Hayashi Yasuhiko、Maeda Satoshi、Hase Muneaki
  • 雑誌名: Carbon 巻: 170 ページ: 165-173
  • DOI: 10.1016/j.carbon.2020.08.026
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] MeV-SIMS measurement of lithium-containing electrolyte (2020)
  • 著者名/発表者名: Toshio Seki,Tomoya Nonomura, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
  • 雑誌名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 巻: 479(15) ページ: 229-232
  • DOI: 10.1016/j.nimb.2020.07.007
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Secondary ion mass spectrometry measurements under ambient and humid conditions using MeV ions (2020)
  • 著者名/発表者名: Toshio Seki, Kenta Ishii, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
  • 雑誌名: Journal of Vacuum Science & Technology B 巻: 38(3) 号: 3 ページ: 034014-034014
  • DOI: 10.1116/1.5145014
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] 大気圧MeV-SIMSの開発と固液界面分析 (2020)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫
  • 雑誌名: Journal of Surface Analysis 巻: 26 号: 3 ページ: 254-259
  • DOI: 10.1384/jsa.26.254
  • NAID: 130008022204
  • ISSN: 1341-1756, 1347-8400
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Optimized Alkali-Metal Cationization in Secondary Ion Mass Spectrometry of Polyethylene Glycol Oligomers with up to m/ z 10000: Dependence on Cation Species and Concentration (2019)
  • 著者名/発表者名: Hubert Gnaser, Rika Oki, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
  • 雑誌名: Analytical Chemistry 2020 巻: 92(1) 号: 1 ページ: 1511-1517
  • DOI: 10.1021/acs.analchem.9b04770
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Effect of ramping up rate on end of range defect in multielement molecular-ion (CH3O)-implanted silicon wafers (2019)
  • 著者名/発表者名: Hirose Ryo, Onaka-Masada Ayumi, Okuyama Ryosuke, Kadono Takeshi, Shigematsu Satoshi, Kobayashi Kouji, Suzuki Akihiro, Koga Yoshihiro, Matsuo Jiro, Kurita Kazunari
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 58(12) 号: 12 ページ: 121002-121002
  • DOI: 10.7567/1347-4065/ab4fc9
  • NAID: 210000157404
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Selective Reduction Mechanism of Graphene Oxide Driven by the Photon Mode versus the Thermal Mode (2019)
  • 著者名/発表者名: M. Hada, K. Miyata, S. Ohmura, Y. Arashida, K. Ichiyanagi, I. Katayama, T. Suzuki, W. Chen, S. Mizote, T. Sawa, T. Yokoya, T. Seki, J. Matsuo, T. Tokunaga, C. Itoh, K. Tsuruta, R. Fukaya, S. Nozawa, S. Adachi, J. Takeda, K. Onda, S. Koshihara, Y. Hayashi, Y. Nishina
  • 雑誌名: ACS Nano 巻: 13 号: 9 ページ: 10103-10112
  • DOI: 10.1021/acsnano.9b03060
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Gas cooling secondary ions emitted by gas cluster ion beam at the travelling-wave ion guide of a Q-ToF-SIMS system (2019)
  • 著者名/発表者名: P.Thopan, T.Seki, L.D.Yu, U.Tippawan, J.Matsuo
  • 雑誌名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 巻: 450 ページ: 139-143
  • DOI: 10.1016/j.nimb.2018.07.024
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Cluster ion beam bombardment and Q-ToF-SIMS analysis of large biomolecules (2019)
  • 著者名/発表者名: P.Thopan, T.Seki, L.D.Yu, U.Tippawan, J.Matsuo
  • 雑誌名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 巻: 448 ページ: 11-18
  • DOI: 10.1016/j.nimb.2019.04.001
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] SIMS技術の飛躍的発展を支える新技術：新奇なイオンビーム開発から先端質量分析法まで (2018)
  • 著者名/発表者名: 松尾 二郎， 瀬木 利夫， 青木 学聡
  • 雑誌名: 表面と真空 巻: 61 号: 7 ページ: 426-434
  • DOI: 10.1380/vss.61.426
  • NAID: 130007403877
  • ISSN: 2433-5835, 2433-5843
  • 年月日: 2018-07-10
• [雑誌論文] Cationization and fragmentation of molecular ions sputtered from polyethylene glycol under gas cluster bombardment: An analysis by MS and MS/MS (2018)
  • 著者名/発表者名: Ｐｒｕｃｈａｙａｗｏｏｔ Ｔｈｏｐａｎ， Ｈｕｂｅｒｔ Ｇｎａｓｅｒ， Ｒｉｋａ Ｏｋｉ， Ｔａｋａａｋｉ Ａｏｋｉ， Ｔｏｓｈｉｏ Ｓｅｋｉ， Ｊｉｒｏ Ｍａｔｓｕｏ
  • 雑誌名: INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY 巻: 430 ページ: 149-157
  • DOI: 10.1016/j.ijms.2018.05.012
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] In situ cationization of molecular ions sputtered from organic specimens under cluster bombardment (2018)
  • 著者名/発表者名: Ｈｕｂｅｒｔ Ｇｎａｓｅｒ， Ｗｏｌｆｇａｎｇ Ｂｏｃｋ， Ｊｉｒｏ Ｍａｔｓｕｏ
  • 雑誌名: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 巻: 36(3) 号: 3
  • DOI: 10.1116/1.5009781
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Molecular imaging of alkaloids in khat (Catha edulis) leaves with MeV-SIMS (2017)
  • 著者名/発表者名: Bostjan Jencic, Luka Jeromel, Nina Ogrinc Potocnik, Katarina Vogel-Mikus, Primoz Vavpetic, Zdravko Rupnik, Klemen Bucar, Matjaz Vencelj, Mitja Kelemen, Jiro Matsuo, Masakazu Kusakari, Zdravko Siketic, Muhammad A. Al-Jalali, Abdallah Shaltout, Primoz Pelicon
  • 雑誌名: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS 巻: 404 ページ: 140-145
  • DOI: 10.1016/j.nimb.2017.01.063
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Angled etching of Si by ClF3-Ar gas cluster injection (2017)
  • 著者名/発表者名: Toshio Seki, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Tadashi Shojo, Kunihiko Koike, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
  • 雑誌名: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 巻: 56(6) 号: 6S2 ページ: 06HB02-06HB02
  • DOI: 10.7567/jjap.56.06hb02
  • NAID: 210000147949
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of a Si lever structure made by double-angled etching with reactive gas cluster injection (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, H. Yamamoto, T. Kozawa, K. Koike, T. Aoki, J. Matsuo
  • 雑誌名: APPLIED PHYSICS LETTERS 巻: 110(18) 号: 18 ページ: 182105-182105
  • DOI: 10.1063/1.4982970
  • 査読あり
• [学会発表] 大気圧MeV-SIMSによる固液界面分析に向けた研究 (2021)
  • 著者名/発表者名: 野々村知也, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 68th JSAP Spring Meeting,2021
• [学会発表] ESI法によるグリセロールクラスターのSIMS応用 (2021)
  • 著者名/発表者名: 河野 建太, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 68th JSAP Spring Meeting,2021
• [学会発表] Ambient SIMS with Swift Heavy Ions (2020)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo
  • 学会等名: the 17th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] MeV-SIMS measurement of electrolyte dissolved lithium compound at atmospheric pressure (2020)
  • 著者名/発表者名: T. Seki
  • 学会等名: The 21th Workshop on Surface and Interface Analysis
  • 国際学会
• [学会発表] 飛躍的な発展を遂げるSIMS法の展望 有機・生体高分子 (2020)
  • 著者名/発表者名: 松尾 二郎
  • 学会等名: 2020年日本表面真空学会学術講演会
  • 招待講演
• [学会発表] SIMS応用に向けたNano-ESI法によるクラスターイオン (2020)
  • 著者名/発表者名: 河野 建太, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
  • 学会等名: 第21回QSEC公開シンポジウム
• [学会発表] リチウムイオン電池電解液のMeV-SIMS測定 (2020)
  • 著者名/発表者名: 野々村 知也, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
  • 学会等名: 第21回QSEC公開シンポジウム
• [学会発表] SIMS 応用に向けたNano-ESI 法によるクラスターイオンビームの生成 (2020)
  • 著者名/発表者名: 河野 健太
  • 学会等名: SIMS研究会１３
• [学会発表] リチウムイオン電池電解液のMeV-SIMS 測定 (2020)
  • 著者名/発表者名: 野々村 知也
  • 学会等名: SIMS研究会１３
• [学会発表] スパッタリングされた有機分子の分子構造 (2020)
  • 著者名/発表者名: 松尾 二郎
  • 学会等名: SIMS研究会１３
• [学会発表] MeV-SIMSにおける二次イオン軌道シミュレーション (2020)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 81th JSAP Autumn Meeting
• [学会発表] リチウム化合物を混合させた電解液の大気圧MeV-SIMS 測定(2) (2020)
  • 著者名/発表者名: 野々村 知也, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 81th JSAP Autumn Meeting
• [学会発表] リチウムイオン電池電解質から放出される二次イオンの大気圧下での測定 (2020)
  • 著者名/発表者名: 野々村知也, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: フォーラム２１「イオンビームを用いた物理とその応用」研究会（第25回）
• [学会発表] Ambient Secondary Ion Mass Analysis of Electrolyte of Lithium Ion Battery with MeV-Energy Heavy Ion (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Nonomura, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: 23rd International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions
  • 国際学会
• [学会発表] Etching by Massive Cluster Ions from Electrospray Ion Source (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Matsuda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: 23rd International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions
  • 国際学会
• [学会発表] MeV-SIMS Measurements under Ambient and Humid Conditions (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Seki
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Development of a high energy cluster SIMS system with 50keV GCIB source (2019)
  • 著者名/発表者名: K. Hirata, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] MeV-SIMS Measurement of Electrolyte of Lithium Ion Battery (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Nonomura, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] Enhancement of ionization probability of Polymers with cation deposition method (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Matsuda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] Angular Distribution of Neutral Species from Rhodamine 6G Sputtered with Cluster Ion Bombardment (2019)
  • 著者名/発表者名: 7. R. Oki, N. Sano, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] Optimized alkali-metal cationization in secondary ion mass spectrometry of polyethylene glycol oligomers with up to m/z 10000: Dependence on cation species and concentration (2019)
  • 著者名/発表者名: H. Gnaser, R. Oki, T. Aoki, T. Seki and J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] Study on ionization process and quantitative analysis of organic molecules with cluster ion beam irradiation (2019)
  • 著者名/発表者名: M. Fujii, Y. Ishii, E. Hasegawa, R. Shishido and J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] To be fragmented or not to be, that is the question in organic sputtering (2019)
  • 著者名/発表者名: N. Sano, R. Oki and J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] Generation of massive cluster ions with electrospray ion source (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Matsuda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] Effects of organic acid on polymer ionization process with various cluster ion beam irradiation (2019)
  • 著者名/発表者名: Y. Ishii, R. Shishido, J. Matsuo and M. Fujii
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] Ionisation behaviours of high affinity molecules on the silk fibroin substrate using Ar GCIB (2019)
  • 著者名/発表者名: N. Sano, T. Hashimoto and J. Matsuo
  • 学会等名: The 22st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] OBSERVATION OF LIQUID MOLECULES WITH AMBIENT SIMS USING SWIFT HEAVY IONS (2019)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo, S. Toshio, A. Takaaki
  • 学会等名: The 24th International Conference on Ion Beam Analysis
  • 国際学会
• [学会発表] Sputtering of biomaterials with large cluster ion beams (2019)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo
  • 学会等名: The 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] エレクトロスプレーイオン源を用いた巨大クラスターイオンの生成 (2019)
  • 著者名/発表者名: 松田大輝, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
  • 学会等名: 第20回QSEC公開シンポジウム
• [学会発表] 高エネルギークラスターイオン源を用いたSIMS測定 (2019)
  • 著者名/発表者名: 平田健太郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
  • 学会等名: 第20回QSEC公開シンポジウム
• [学会発表] 反応性ガスクラスターインジェクションによる高アスペクト比エッチングに向けた研究 (2019)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫, 荘所 正, 小池国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 80th JSAP Spring Meeting
• [学会発表] エレクトロスプレーイオン源を用いた巨大クラスターイオンの生成 (2019)
  • 著者名/発表者名: 松田大輝, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 80th JSAP Spring Meeting
• [学会発表] リチウムイオン電池の電解質の大気圧 MeV-SIMS測定 (2019)
  • 著者名/発表者名: 野々村知也, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 80th JSAP Spring Meeting
• [学会発表] 大気圧MeV-SIMSの開発と固液界面分析 (2019)
  • 著者名/発表者名: 瀬木利夫
  • 学会等名: 第53回表面分析研究会
  • 招待講演
• [学会発表] Liquid Adsorption and Desorption measured with Ambient ?SIMS (2019)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo, T. Seki, T. Aoki
  • 学会等名: Symposium on Surface and Nano Science 2019
  • 国際学会
• [学会発表] 巨大ガスクラスタービームによる表面クリーニングと加工 (2019)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫
  • 学会等名: シリコンテクノロジー分科会第２１６回研究集会
  • 招待講演
• [学会発表] 伝統的イオン衝突シミュレーションプログラムの改善手法の検討 (2019)
  • 著者名/発表者名: 青木 学聡
  • 学会等名: The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
• [学会発表] ミストの付加によるポリマーのイメージング分解能の向上 (2019)
  • 著者名/発表者名: 松田 大輝, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
• [学会発表] 高分子のSIMS分析に向けたエレクトロスプレーイオン源の開発 (2019)
  • 著者名/発表者名: 山田 周平, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
• [学会発表] 反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成(II) (2019)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫, 山本 洋揮, 古澤 孝弘, 荘所 正, 小池国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 66th JSAP Spring Meeting, 2019
• [学会発表] Improvement in the Detection Sensitivity of Secondary Ions by Na Absorption with the Mist Deposition Method on a PEG Surface (2018)
  • 著者名/発表者名: T. Matsuda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions
  • 国際学会
• [学会発表] High-Speed SIMS Imaging Using a High Brightness Cluster Ion Source (2018)
  • 著者名/発表者名: S. Yamada, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions
  • 国際学会
• [学会発表] Secondary Molecular Ion Emission of Polymers with Various Molecular Weights under Large Cluster Ion Bombardment: Enhancement with the Cationization Technique (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo, L. Houssiau, H. Gnaser, T. Satoh, M. Fujii, T. Seki, T. Aoki
  • 学会等名: The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions
  • 国際学会
• [学会発表] Adsorption of Liquids Measured with MeV-SIMS in Ambient (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo, T. Seki, T. Aoki
  • 学会等名: 16th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
  • 国際学会
• [学会発表] Low-energy Electron and Particle Microscopies in Liquid, Gaseous, and Frozen Conditions (2018)
  • 著者名/発表者名: D. Muller, K. Molhave, S. Chikara, J. Matsuo, M. Willinger, A. Belianinov, H. Plank
  • 学会等名: Microscopy & MicroAnalysis 2018 Meeting
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] SIMS Analysis of Liquid Materials in Low Vacuum with Large Cluster Ion Beam (2018)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, K. Suzuki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: 25th International Conference on Application of Accelerators in Research and Industry
  • 国際学会
• [学会発表] Chemical Analysis under Ambient Conditions using MeV-Energy Heavy Ion (2018)
  • 著者名/発表者名: T. Seki
  • 学会等名: 25th International Conference on Application of Accelerators in Research and Industry
  • 国際学会
• [学会発表] Cluster Ion Beams: History and Technology (2018)
  • 著者名/発表者名: Yamada, J. Matsuo
  • 学会等名: 22nd International Conference on Ion Implantation Technology
  • 国際学会
• [学会発表] 液体材料の大気圧MeV-SIMS測定 (2018)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫, 石井 健太, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] 画像分析技術のイメージングSIMS分析への応用 (2018)
  • 著者名/発表者名: 青木 学聡, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] ミスト法を用いたセシウム付加によるPEG表面の次イオン検出感度の向上 (2018)
  • 著者名/発表者名: 松田 大輝, 松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
  • 学会等名: The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] Fabrication of multilayer lever structure by double-angled etching with reactive gas cluster injection (2018)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, H. Yamamoto, T. Kozawa, T. Shojo, K. Koike, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: 40th International Symposium on Dry Process
  • 国際学会
• [学会発表] 大気圧SIMS法による固液界面の観察 (2018)
  • 著者名/発表者名: 松尾 二郎
  • 学会等名: 2018年日本表面真空学会学術講演会
  • 招待講演
• [学会発表] Ambient Secondary Ion Mass Analysis of Fatty Acids with MeV-energy Heavy Ion (2018)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The 19th Workshop on Surface and Interface Analysis by Ion Beam
  • 国際学会
• [学会発表] Improvement in Detection Sensitivity of Secondary Ions by Na Absorption with Mist Deposition Method on a PEG Surface (2018)
  • 著者名/発表者名: T. Matsuda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: The 28ｔｈ Annual Meeting of MRS-J
  • 国際学会
• [学会発表] 新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析 (2018)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫
  • 学会等名: 量子ビームによるナノ構造形成とその医療・バイオ応用技術」調査専門委員会 公開研究会
  • 招待講演
• [学会発表] 固液界面分析に向けたAmbient SIMS法の開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 石井 健太, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二 郎
  • 学会等名: The 65th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] Cationization Technique for Polyethylene glycol (PEG) with Argon Cluster Ion Beam connected with AccuToF Mass Analyzer (2018)
  • 著者名/発表者名: Prutchayawoot Thopan, Rika Oki, Hubert Gnaser, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
  • 学会等名: The 65th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] ミスト法を用いたナトリウム付加によるPEG表面の2次 イオン検出感度の向上 (2018)
  • 著者名/発表者名: 松田 大輝 , 瀬木 利夫 , 青木 学聡 , 松尾 二郎
  • 学会等名: The 65th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] 二次電子増倍管(CEM)を用いたビーム径測定システムの 開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 山田 周平, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 65th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] 反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2 方向エッチングによる3D構造の作成 (2018)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫, 山本 洋揮, 古澤 孝弘, 荘所 正, 小池 国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 65th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] EuBaCo2O5.38の光励起酸素輸送ダイナミクス (2018)
  • 著者名/発表者名: 慶尾 直哉, 羽田 真毅, 西川 亘, 山下 善文, 林 靖彦, 横谷 尚睦, 松尾 二郎, 浅香 透, 鈴木 達也, 恩田 健, 西郷 将生, 阿部 伸行, 有馬 孝尚, 小沢 陽,沖本 洋一, 腰原 伸也
  • 学会等名: The 65th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] SIMS技術の飛躍的発展を支える新技術： 新奇なイオンビーム開発から先端質量分析法まで (2018)
  • 著者名/発表者名: 松尾 二郎
  • 学会等名: The 65th JSAP Autumn Meeting, 2018
• [学会発表] Ambient Secondary Ion Mass Analysis with MeV-energy Heavy Ion (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, K. Ishii, M. Kusakari, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: 11th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’17
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Fabrication of 3D structure by double-angled etching with reactive gas cluster injection (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, H. Yamamoto, T. Kozawa, T. Shojo, K. Koike, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: 39th International Smposium on Dry Process
  • 国際学会
• [学会発表] Characterization of Bio-Molecules with GCIBSIMS equipped with MS/MS SpectrometerSecondary Molecular Ion Emission of Polymers with Various Molecular Weights under Large Cluster Ion Bombardment: Enhancement with the Cationization Technique (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo, T. Seki, T. Aoki
  • 学会等名: AVS 64th International Symposium & Exhibition 2017
  • 国際学会
• [学会発表] Organic Material Analysis with a SIMS System with Q-TOF MS/MS Technique (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo, L. Houssiau, H. Gnaser, T. Seki1,T. Aoki
  • 学会等名: The 8th International Symposium on Surface Science
  • 国際学会
• [学会発表] Ambient SIMS using MeV-Energy Heavy Ion (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, K. Ishii, M. Kusakari, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: The 23rd International Conference on Ion Beam Analysis
  • 国際学会
• [学会発表] Ambient SIMS using swift heavy ions (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo
  • 学会等名: 22nd International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Observation of Adsorption and Desorption of Water Molecules with Ambient SIMS (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Matsuo, T. Seki, T. Aoki
  • 学会等名: 21st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 国際学会
• [学会発表] パイプ型ノズルを用いた湿潤環境下ＳＩＭＳ測定 (2017)
  • 著者名/発表者名: 石井 健太, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017
• [学会発表] PEG表面へのナトリウム付加による2次イオン検出感度向上 (2017)
  • 著者名/発表者名: 松田 大輝, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017
• [学会発表] ClF3中性クラスターエッチング表面の凹凸構造 (2017)
  • 著者名/発表者名: 瀬木 利夫, 荘所 正, 小池 国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
  • 学会等名: The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017
• [学会発表] 超高速時間分解電子線回折から見たEuBaCo2O5.38の構造ダイナミクス (2017)
  • 著者名/発表者名: 慶尾 直哉, 村上 寛虎, 羽田 真毅, 西川 亘, 山下 善文, 林 靖彦, 横谷 尚睦, 松尾 二郎, 浅香 透, 鈴木 達也, 阿部 伸行, 有馬 孝尚, 小沢 陽, 沖本 洋一, 腰原 伸也
  • 学会等名: The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017
• [学会発表] SIMS Measurement in Ambient and Humid Condition (2017)
  • 著者名/発表者名: K. Ishii, T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: The 15th International Conference on Advanced Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Angled Etching by ClF3?Ar Gas Cluster Injection (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, H. Yamamoto, T. Kozawa, T. Shojo, K. Koike, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: The 15th International Conference on Advanced Materials
  • 国際学会
• [学会発表] クラスターSIMS法によるポリマー材料の評価 (2017)
  • 著者名/発表者名: 松尾 二郎
  • 学会等名: 2017年真空・表面科学合同講演会
• [学会発表] Organic Material Analysis with a SIMS System Equipped with a High-Current Gas Cluster Ion Source and Q-TOF MS/MS (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Mastuo
  • 学会等名: 79th IUVSTA Workshop
  • 国際学会
• [図書] 最新 実用真空技術総覧 (2019)
  • 著者名/発表者名: 笠井 秀明 外157名
  • 総ページ数: 1096
  • 出版者: (株)エヌ・ティー・エス