X線結像ミラーを用いた次世代X線結像顕微鏡の開発

• 研究課題/領域番号: 17H01073
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 量子ビーム科学
• 研究機関: 名古屋大学 (2021); 大阪大学 (2017-2020)
• 研究代表者: 松山 智至 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (10423196)
• 研究期間 (年度): 2017-04-01 – 2022-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2021年度)
• 配分額: 41,860千円 (直接経費: 32,200千円、間接経費: 9,660千円); 2021年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円); 2020年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円); 2019年度: 11,050千円 (直接経費: 8,500千円、間接経費: 2,550千円); 2018年度: 10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円); 2017年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
• キーワード: X線 / X線顕微鏡 / X線結像ミラー / X線ミラー / X線結像

研究成果の概要

本研究では，キーデバイスであるAdvanced Kirkpatrick-Baez結像ミラーを世界に先駆けて開発することで，高性能な結像型X線顕微鏡の実現を目指した．
様々な観点から結像ミラーを設計・シミュレーションし，最適化したものを試作した．多層膜コーティングをすることで8keVのX線に対応した反射型レンズを開発した．SPring-8にてX線顕微鏡を構築しその性能を評価したところ，20nm構造を解像することができた．結像ミラーを用いたX線顕微鏡において世界最小分解能を達成することができた．

研究成果の学術的意義や社会的意義

高分解能なX線顕微鏡を開発できた点と，さらなる高分解能化のための足掛かりを得ることができた点が，本研究の主要な成果である．本研究がさらに進むことで，これまでは見ることができなかった試料や現象を高精細に可視化・分析し，その理解を深めることで新しい科学を拓くことが可能となる．例えば，昨今注目されている電池や触媒の挙動を詳細に可視化・分析することで，その性能を飛躍的に高めるなどが期待される．

研究成果

• [雑誌論文] X-ray adaptive zoom condenser utilizing an intermediate virtual focus (2021)
  • 著者名/発表者名: Matsuyama Satoshi、Yamaguchi Hiroyuki、Inoue Takato、Nishioka Yuka、Yamada Jumpei、Sano Yasuhisa、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 29 号: 10 ページ: 15604-15604
  • DOI: 10.1364/oe.422723
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system (2021)
  • 著者名/発表者名: Inoue Takato、Nishioka Yuka、Matsuyama Satoshi、Sonoyama Junki、Akiyama Kazuteru、Nakamori Hiroki、Ichii Yoshio、Sano Yasuhisa、Shi Xianbo、Shu Deming、Wyman Max D.、Harder Ross、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Assoufid Lahsen、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 92 号: 12 ページ: 123706-123706
  • DOI: 10.1063/5.0070465
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Hard X-ray nanoprobe scanner (2021)
  • 著者名/発表者名: Yamada Jumpei、Inoue Ichiro、Osaka Taito、Inoue Takato、Matsuyama Satoshi、Yamauchi Kazuto、Yabashi Makina
  • 雑誌名: IUCrJ 巻: 8 号: 5 ページ: 713-718
  • DOI: 10.1107/s2052252521007004
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] X-Ray Single-Grating Interferometry for Wavefront Measurement and Correction of Hard X-Ray Nanofocusing Mirrors (2020)
  • 著者名/発表者名: Yamada Jumpei、Inoue Takato、Nakamura Nami、Kameshima Takashi、Yamauchi Kazuto、Matsuyama Satoshi、Yabashi Makina
  • 雑誌名: Sensors 巻: 20 号: 24 ページ: 7356-7356
  • DOI: 10.3390/s20247356
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Compact full-field hard x-ray microscope based on advanced Kirkpatrick?Baez mirrors (2020)
  • 著者名/発表者名: Yamada Jumpei、Matsuyama Satoshi、Hirose Raita、Takeda Yoshihiro、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Omote Kazuhiko、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Optica 巻: 7 号: 4 ページ: 367-367
  • DOI: 10.1364/optica.386012
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Generation of an X-ray nanobeam of a free-electron laser using reflective optics with speckle interferometry (2020)
  • 著者名/発表者名: Inoue Takato、Matsuyama Satoshi、Yamada Jumpei、Nakamura Nami、Osaka Taito、Inoue Ichiro、Inubushi Yuichi、Tono Kensuke、Yumoto Hirokatsu、Koyama Takahisa、Ohashi Haruhiko、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Journal of Synchrotron Radiation 巻: 27 号: 4 ページ: 883-889
  • DOI: 10.1107/s1600577520006980
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Development of X-ray imaging of intracellular elements and structure (2020)
  • 著者名/発表者名: Matsuyama S, Maeshima K, and Shimura M
  • 雑誌名: JAAS 巻: - 号: 7 ページ: 1279-1294
  • DOI: 10.1039/d0ja00128g
  • 査読あり
• [雑誌論文] Focus characterization of an X-ray free-electron laser by intensity correlation measurement of X-ray fluorescence (2020)
  • 著者名/発表者名: Nakamura Nami、Matsuyama Satoshi、Inoue Takato、Inoue Ichiro、Yamada Jumpei、Osaka Taito、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Journal of Synchrotron Radiation 巻: 27 号: 5 ページ: 1366-1371
  • DOI: 10.1107/s1600577520009868
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Full-field X-ray fluorescence microscope based on total-reflection advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics (2019)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yambashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 27(13) 号: 13 ページ: 18318-18328
  • DOI: 10.1364/oe.27.018318
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Compact reflective imaging optics in hard X-ray region based on concave and convex mirrors (2019)
  • 著者名/発表者名: Yamada Jumpei、Matsuyama Satoshi、Sano Yasuhisa、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 27 号: 3 ページ: 3429-3429
  • DOI: 10.1364/oe.27.003429
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Systematic-error-free wavefront measurement using an X-ray single-grating interferometer (2018)
  • 著者名/発表者名: Inoue Takato、Matsuyama Satoshi、Kawai Shogo、Yumoto Hirokatsu、Inubushi Yuichi、Osaka Taito、Inoue Ichiro、Koyama Takahisa、Tono Kensuke、Ohashi Haruhiko、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 89 号: 4 ページ: 043106-043106
  • DOI: 10.1063/1.5026440
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-Resolution Full-Field X-ray Microscope for 20-keV X-rays with Multilayer Imaging Mirrors (2018)
  • 著者名/発表者名: Matsuyama Satoshi、Yamada Jumpei、Hata Kentaro、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Microscopy and Microanalysis 巻: 24 号: S2 ページ: 288-289
  • DOI: 10.1017/s1431927618013764
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Reflective Imaging Optics Using Concave and Convex Mirrors for a Compact and Achromatic Full-field X-ray Microscope. (2018)
  • 著者名/発表者名: Yamada Jumpei、Matsuyama Satoshi、Hata Kentaro、Hirose Raita、Takeda Yoshihiro、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Omote Kazuhiko、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
  • 雑誌名: Microscopy and Microanalysis 巻: 24 号: S2 ページ: 276-277
  • DOI: 10.1017/s1431927618013715
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Nanofocusing of X-ray free-electron laser using wavefront-corrected multilayer focusing mirrors (2018)
  • 著者名/発表者名: Matsuyama S.、Inoue T.、Yamada J.、Kim J.、Yumoto H.、Inubushi Y.、Osaka T.、Inoue I.、Koyama T.、Tono K.、Ohashi H.、Yabashi M.、Ishikawa T.、Yamauchi K.
  • 雑誌名: Scientific Reports 巻: 8 号: 1 ページ: 1-10
  • DOI: 10.1038/s41598-018-35611-0
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Development of concave-convex imaging mirror system for a compact and achromatic full-field x-ray microscope (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada*, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 雑誌名: Proceedings of SPIE 巻: 10386 ページ: 12-12
  • DOI: 10.1117/12.2272904
  • 査読あり
• [学会発表] Development of hard X-ray sub-5-nm focusing system with an adaptive multilayer focusing mirror (2022)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, S. Matsuyama, Y. Tanaka, Y. Ichii, J. Yamada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: 14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
  • 国際学会
• [学会発表] Development of image-based wavefront measurement for adaptive full-field X-ray microscopy (2022)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: 14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
  • 国際学会
• [学会発表] 形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発 (2022)
  • 著者名/発表者名: 井上陽登，松山智至，田中優人，伊藤篤輝，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 結像型 X 線顕微鏡を用いた波動伝搬ベースの位相イメージング (2022)
  • 著者名/発表者名: 田中優人，松山智至，井上陽登，山田純平，木村隆志，志村まり，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 高空間分解能な結像型X線顕微鏡のためのin-situ波面計測法の開発 (2022)
  • 著者名/発表者名: 田中優人，松山智至，井上陽登，山田純平，香村芳樹，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2022年度精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] 機械学習を用いたX線顕微鏡像からの波面推定 (2022)
  • 著者名/発表者名: 青戸仁志，田中優人，松山智至
  • 学会等名: 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 単結晶圧電素子を用いた形状可変ミラーの開発 (2022)
  • 著者名/発表者名: 上松航太、中林荘太、松山智至
  • 学会等名: 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 単結晶圧電素子を用いた形状可変ミラーの開発 (2022)
  • 著者名/発表者名: 上松航太、中林荘太、井上陽登、松山智至
  • 学会等名: 2022精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] 機械学習を用いたX線顕微鏡像からの波面推定 (2022)
  • 著者名/発表者名: 青戸仁志，田中優人，松山智至
  • 学会等名: 2022精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] 単結晶圧電素子を用いたX線用形状可変ミラーの開発 (2022)
  • 著者名/発表者名: 中林荘太，上松航太，松山智至
  • 学会等名: 2022精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] Development of sub-5 nm focusing system based on precise deformable mirrors (2021)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, S. Matsuyama, Y. Tanaka, K. Futamura, Y. Ichii, J. Yamada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: 6th International Conference on X-ray Optics and Applications 2021 (XOPT2021)
  • 国際学会
• [学会発表] Image-based wavefront measurement for full-field X-ray microscopy (2021)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2021
  • 国際学会
• [学会発表] ミラー光学系を用いた結像型X線顕微鏡の開発 (2021)
  • 著者名/発表者名: 松山智至
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2021
  • 招待講演
• [学会発表] ミラーベースのX線結像光学システム (2021)
  • 著者名/発表者名: 松山智至
  • 学会等名: SAGA-LSセミナー
  • 招待講演
• [学会発表] 結像型 X 線顕微鏡における in-situ 波面計測手法の開発 (2021)
  • 著者名/発表者名: 田中優人，松山智至，井上陽登，中村南美，山田純平，香村芳樹，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] Wolter III 型 advanced KBミラーによる XFEL sub-10 nm 集光光学系の開発 (2021)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，井上陽登，中村南美，田中優人，大坂泰斗，井上伊知郎，犬伏雄一，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，山内和人，矢橋牧名
  • 学会等名: 第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] X線ミラーを用いたsub-5nm集光システムの開発 (2021)
  • 著者名/発表者名: 井上陽登，松山智至，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] コヒーレントX線散乱を用いたXFELナノビーム強度プロファイルの再構成 (2021)
  • 著者名/発表者名: 中村南美，松山智至，山田純平，井上陽登，井上伊知郎，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5nm集光システムの開発 (2021)
  • 著者名/発表者名: 井上陽登，松山智至，田中優人，二村浩平，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2021年度精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] 像型X線顕微鏡における波面計測手法の開発 (2021)
  • 著者名/発表者名: 田中優人，松山智至，井上陽登，中村南美，山田純平，香村芳樹，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2021年度精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] 複数の凸面鏡を持つ?度な硬 X 線結像光学系の開発（第?報） (2021)
  • 著者名/発表者名: 松山智至，波多健太郎，山内和人
  • 学会等名: 2021年度精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] Precise wavefront measurement using grating interferometer for sub-10 nm focusing system (2020)
  • 著者名/発表者名: N. Nakamura, J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, T. Osaka, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: 5th International Conference on X-ray Optics and Applications 2020
  • 国際学会
• [学会発表] Ultraprecise fabrication of X-ray mirrors for XFEL sub-10 nm focusing system based on Wolter type III geometry (2020)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, J. Yamada, S. Matsuyama, N. Nakamura, T. Osaka, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: 5th International Conference on X-ray Optics and Applications 2020
  • 国際学会
• [学会発表] Adaptive x-ray zoom condenser system based on concave and convex mirrors (2020)
  • 著者名/発表者名: Y. Nishioka, H. Yamaguchi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, L. Assoufid, K. Yamauchi
  • 学会等名: 5th International Conference on X-ray Optics and Applications 2020
  • 国際学会
• [学会発表] Development of x-ray mirrors for XFEL sub-10 nm focusing system based on Wolter type III geometry (2020)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, J. Yamada, S. Matsuyama, N. Nakamura, T. Osaka, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2020
  • 国際学会
• [学会発表] Development of ultraprecise X-ray focusing mirrors based on Wolter geometry (2020)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, J. Yamada, S. Matsuyama, N. Nakamura, T. Osaka, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2020
  • 国際学会
• [学会発表] Precise wavefront measurement using grating interferometer for sub-10 nm XFEL focusing system (2020)
  • 著者名/発表者名: N. Nakamura, J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, T. Osaka, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: 5th International Conference on X-ray Optics and Applications 2020
  • 国際学会
• [学会発表] Development of X-ray adaptive focusing optics with four mirrors deformable between concave and convex shapes (2020)
  • 著者名/発表者名: Y. Nishioka, H. Yamaguchi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi
  • 学会等名: 5th International Conference on X-ray Optics and Applications 2020
  • 国際学会
• [学会発表] WolterⅢ型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10 nm集光システムの開発（第3報） (2020)
  • 著者名/発表者名: 井上陽登，山田純平，松山智至，中村南美，田中優人，大坂泰斗，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] 多層膜結像ミラーを用いた高分解能結像型X線顕微鏡の開発 (2020)
  • 著者名/発表者名: 松山智至，山田純平，井上陽登，表和彦，廣瀬雷太，武田佳彦，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] WolterⅢ型AdvancedKBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発（第2報）高反射率多層膜の作製と差分成膜による形状修正 (2020)
  • 著者名/発表者名: 井上陽登，松山智至，山田純平，中村南美，大坂泰斗，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2020年度精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] High-Resolution Full-Field X-Ray Microscope Based on Multilayer Advanced Kirkpatrick-Baez Mirror Optics (2019)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: XOPT2019
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Precision KB mirror alignment using new nanobeam diagnosis (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, S. Matsuyama, N. Nakamura, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, T. Osaka, I. Inoue, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: XOPT2019
  • 国際学会
• [学会発表] Development of XFEL sub-10 nm focusing system based on Wolter III-advanced KB optics (2019)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, N, Nakamura, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, K. Tono, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi, and M. Yabashi
  • 学会等名: XOPT2019
  • 国際学会
• [学会発表] Reflective imaging device using concave-convex mirrors for compact full-field X-ray microscope (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Hagiwara, J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, R. Hirose, Y. Takeda, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: XOPT2019
  • 国際学会
• [学会発表] Nanobeam diagnosis for XFEL sub-10nm focusing system (2019)
  • 著者名/発表者名: N. Nakamura, S. Matsuyama, T. Inoue, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, T. Osaka, I. Inoue, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: XOPT2019
  • 国際学会
• [学会発表] Precision focusing mirror alignment at SACLA using new nanobeam diagnosis (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, S. Matsuyama, N. Nakamura, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, T. Osaka, I. Inoue, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2019
  • 国際学会
• [学会発表] Development of high-resolution full-field X-ray microscope based on multilayer advanced Kirkpatrick-Baez mirrors (2019)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2019
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Beam size measurement for XFEL nanobeam using intensity interferometer of X-ray fluorescence (2019)
  • 著者名/発表者名: N. Nakamura, S. Matsuyama, T. Inoue, I. Inoue, T. Osaka, Y. Inubushi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2019
  • 国際学会
• [学会発表] Development of XFEL sub-10 nm focusing mirrors: wavefront-corrected multilayer KB system and upgrade to advanced KB system (2019)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, K. Tono, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi, and M. Yabashi
  • 学会等名: X RIAO-XIII OPTILAS-MOPM 2019
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] High-resolution full-field X-ray microscope with multilayer advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics (2019)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Fabrication, metrology, and alignment of the newly-developed ML advanced KB mirror for sub-10 nm focusing (2019)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: APS-U Metrology Workshop
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] 多層膜結像ミラーを用いた高分解能 X 線顕微鏡の開発（第二報） (2019)
  • 著者名/発表者名: 松山智至，山田純平，井上陽登，表和彦，廣瀬雷太，武田佳彦，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] 凹・凸面形状可変ミラーを組み合わせたX線ズームコンデンサの開発 (2019)
  • 著者名/発表者名: 山口浩之，松山智至，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] WolterⅢ型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10 nm集光システムの開発 (2019)
  • 著者名/発表者名: 井上陽登，松山智至，山田純平，中村南美，大坂泰斗，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] X 線自由電子レーザーナノ集光システムの開発 （第2報）-蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径計測手法の実証- (2019)
  • 著者名/発表者名: 中村南美，松山智至，井上陽登，井上伊知郎，大坂泰斗，山田純平，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] AKBミラーこの10年―これから何をしなくてはならないか？― (2019)
  • 著者名/発表者名: 松山智至
  • 学会等名: X線ナノ集光技術研究会 10周年記念研究会
  • 招待講演
• [学会発表] 凹・凸面鏡を用いた結像型X線顕微鏡の開発 (2019)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，佐野泰久，廣瀬雷太，武田佳彦，香村芳樹，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] X線波面計測法を用いた結像ミラーの評価 (2019)
  • 著者名/発表者名: 萩原拓，山田純平，松山智至，佐野泰久，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] X線波面計測法を用いた結像ミラーの評価―タイコグラフィを用いたシングルグレーチング干渉計のクロスチェック― (2019)
  • 著者名/発表者名: 萩原拓，山田純平，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2019年度精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] Hard-X-ray imaging mirrors for compact and high-resolution full-field microscopy (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada
  • 学会等名: HeKKSaGOn WG5 one-day preconference discussion meeting
  • 国際学会
• [学会発表] Compact and large-magnification full-field X-ray microscope using concave-convex imaging mirrors (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018) in OPIC2018
  • 国際学会
• [学会発表] Development of high-resolution X-ray imaging optical system using multilayer imaging mirrors (2018)
  • 著者名/発表者名: K. Hata, J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018) in OPIC2018
  • 国際学会
• [学会発表] Development of reflective imaging optics using concave and convex mirrors (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: The 6th International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Hard-x-ray imaging mirror optics using concave and convex mirrors (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: The 13th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Full‐field imaging and focusing with advanced mirror‐based optics (2018)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: The 13th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Reflective Imaging Optics using Concave and Convex Mirrors for A Compact and Achromatic Full-field X-ray Microscope (2018)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada
  • 学会等名: 14th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2018)
  • 国際学会
• [学会発表] High-resolution full-field X-ray microscope for 20-keV X-rays with multilayer imaging mirrors (2018)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: 14th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2018)
  • 国際学会
• [学会発表] 小型かつ色収差の無い高分解能結像型X線顕微鏡の開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，波多健太郎，萩原拓，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] 小型かつ大倍率が実現可能なX線結像ミラーの開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，波多健太郎，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 大開口数多層膜集光ミラーを用いた sub-10nm 集光システムの開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 川合蕉吾，松山智至，井上陽登，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 超精密X線ミラーが拓く次世代X線集光・結像 (2018)
  • 著者名/発表者名: 松山智至
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会 第38回年次大会
• [学会発表] 多層膜結像ミラー光学系による高空間分解能なX線顕微鏡の開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 波多健太郎，山田純平，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2018年度精密工学会春季大会学術講演会
• [学会発表] Achromatic and High-Resolution Full-Field X-ray Microscope and its Applicaiton (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, J. Yamada, S. Yasuda, Y. Kohmura, H. Okadam, Y. Sano, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
  • 国際学会
• [学会発表] Development of calibration method for X-ray single-grating interferometry (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Inoue, S. Matsuyama, S. Kawai, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, T. Katayama, S. Goto, T. Ishikawa, M. Yabashi, and K. Yamauchi
  • 学会等名: International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
  • 国際学会
• [学会発表] Development of a multilayer KB mirror system for sub-10nm XFEL focusing (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Kawai, S. Matsuyama, T. Inoue, H. Yumoto, Y. Inubushi, T. Osaka, T. Koyama, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
  • 国際学会
• [学会発表] High-magnification X-ray imaging mirror system consisting of elliptical concave and hyperbolic convex mirrors (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
  • 国際学会
• [学会発表] Development of full-field x-ray fluorescence microscope using total-reflection mirrors (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, J. Yamada, S. Yasuda, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2017
  • 国際学会
• [学会発表] Development of concave-convex imaging mirror system for a compact and achromatic full-field x-ray microscope (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics2017
  • 国際学会
• [学会発表] Development of an X-ray imaging optical system consisting of concave and convex mirrors (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: The 24th Congress of the International Commission for Optics, X-ray and High-energy Optics
  • 国際学会
• [学会発表] Full-field X-ray fluorescence imaging based on total-reflection imaging mirrors (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, S. Yasuda, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: The 24th Congress of the International Commission for Optics, X-ray and High-energy Optics
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of X-ray imaging mirror for an achromatic and high-resolution full-field X-ray microscope (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, and K. Yamauchi
  • 学会等名: The 32nd Annual Meeting of American Society for Precision Engineering (ASPE2017)
  • 国際学会
• [学会発表] Wavefront sensing for nano-focusing characterization (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: 9th Hard X-ray FEL Collaboration Meeting (5-way meeting 2017)
  • 国際学会
• [学会発表] High performance X-ray focusing system using advanced KB mirror (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Yamada
  • 学会等名: 9th Hard X-ray FEL Collaboration Meeting (5-way meeting 2017)
  • 国際学会
• [学会発表] 多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線顕微鏡の実現可能性の検討 (2017)
  • 著者名/発表者名: 波多健太郎，山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 精密工学会関西支部 2017年度関西地方定期学術講演会
• [学会発表] 高分解能かつ色収差のないX線顕微鏡 (2017)
  • 著者名/発表者名: 松山智至
  • 学会等名: 学振145委員会 第154回研究会
  • 招待講演
• [学会発表] 多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線結像光学系の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 波多健太郎, 山田純平, 松山智至, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
  • 学会等名: 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] 小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発(第3報)-凹・凸面鏡を用いた新規光学系の実証と一体型素子化の検討- (2017)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，波多健太郎，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] 全反射ミラーを用いた色収差のない結像光学系の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 松山智至
  • 学会等名: 第14回X線結像光学シンポジウム
  • 招待講演
• [学会発表] 小型かつ高分解能な結像型 X 線顕微鏡の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，波多健太郎，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第14回X線結像光学シンポジウム
• [学会発表] 多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線顕微鏡の実証 (2017)
  • 著者名/発表者名: 波多健太郎, 山田純平, 松山智至, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
  • 学会等名: 第14回X線結像光学シンポジウム
• [図書] 先端の分析法 第2版 (2022)
  • 著者名/発表者名: 澤田 嗣郎、小澤 岳昌、北森 武彦、中村 洋（東京理科大学名誉教授）、藤浪 眞紀、宮村 一夫、石丸 洋一郎、浦野 泰照、加地 範匡、坂 真智子、鈴木 茂、瀬藤 光利、宗林 由樹、馬場 嘉信、船津 公人、本田 暁紀、末永 智一、宮野 博、本山 晃、他
  • 総ページ数: 1072
  • 出版者: エヌ・ティー・エス
  • ISBN: 4860437373
• [備考] 名古屋大学松山研究室
  • URL: https://x-ray.mp.pse.nagoya-u.ac.jp/
• [備考] 大阪大学山内研X線顕微鏡チーム
  • URL: http://www-up.prec.eng.osaka-u.ac.jp/matsuyama/index.html
• [備考] 大阪大学山内研究室
  • URL: http://www-up.prec.eng.osaka-u.ac.jp/
• [備考] X-ray microscope team
  • URL: http://www-up.prec.eng.osaka-u.ac.jp/matsuyama/index.html
• [産業財産権] X線光学装置 (2020)
  • 発明者名: 松山智至
  • 権利者名: 松山智至
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2020-183795
  • 出願年月日: 2020