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高次に時空間制御した変調熱プラズマ法による高純度ナノ材料の革新的量産技術

研究課題

研究課題/領域番号 17H01256
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電力工学・電力変換・電気機器
研究機関金沢大学

研究代表者

田中 康規  金沢大学, 電子情報通信学系, 教授 (90303263)

研究分担者 石島 達夫  金沢大学, サステナブルエネルギー研究センター, 教授 (00324450)
瀬戸 章文  金沢大学, フロンティア工学系, 教授 (40344155)
上杉 喜彦  金沢大学, 電子情報通信学系, 教授 (90213339)
中野 裕介  金沢大学, 電子情報通信学系, 助教 (60840668)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
44,460千円 (直接経費: 34,200千円、間接経費: 10,260千円)
2019年度: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2018年度: 15,600千円 (直接経費: 12,000千円、間接経費: 3,600千円)
2017年度: 23,530千円 (直接経費: 18,100千円、間接経費: 5,430千円)
キーワード熱プラズマ / ナノ粒子 / 量産化 / 2次元分光 / ナノワイヤ / 大量生成 / 2次元分光
研究成果の概要

本研究の目的は,独自開発の「原料間歇同期投入+変調熱プラズマ法」により,高純度金属ドープ酸化物ナノ粒子,次世代電池負極材に期待されるSi粒子/Siナノワイヤの大量生成法を開発することである。本研究では,熱プラズマへの電力変調度,変調波形,原料間歇投入位相,冷却ガス導入により超高温・高密度ラジカル場を時空間的に制御し,ナノ粒子生成への寄与を検討し,酸化物ナノ粒子の生成レート800 g/h@20kWを達成した。また2次元分光観測・ナノ材料の気相抽出等を駆使した実験とプラズマ熱流体数値解析から,原料蒸発とナノ材料生成過程の一部を明確化した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本申請研究は独自開発した,「変調型誘導熱プラズマ」と「原料・反応ガスの同期間歇投入」を組み合わせ「機能性ナノ材料の大量生成法」を開発したものである。ナノ粒子大量生成法が確立できれば,電子材料,環境・エネルギーなどのナノテク分野において大きなインパクトを与える。熱プラズマナノ粒子生成法は高純度ナノ粒子生成可能の特長を有するが低効率であった。本法は,原料・反応ガスからのラジカル反応場と熱流場とを電磁場によりスマートに同時制御し,均一核生成・不均一凝縮過程を制御する,学術的にも新しいプロセスを提供するものである。本法は種々のナノ材料量産化に適用でき,社会的波及効果・意義は極めて大きい。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (29件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (22件) (うち国際学会 22件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Numerical parametric investigation on temperature distribution in Ar/O2 induction thermal plasmas with Ti powder injection - inclusion of particle evaporation-2020

    • 著者名/発表者名
      Y.Siregar, Yasunori Tanaka*, Y.Uesugi, T.Ishijima
    • 雑誌名

      EEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering

      巻: 15 号: 1 ページ: 12-23

    • DOI

      10.1002/tee.23022

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Numerical study of temperature and gas flow fields in Ar-O2 tandem-type inductively coupled thermal plasma with Ti feedstock powder injection2019

    • 著者名/発表者名
      Y.Siregar, Y.Nakano, Yasunori Tanaka*, Y.Uesugi, T.Ishijima
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52 号: 41 ページ: 414004-414004

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab314e

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of input power in Ar/H2 thermal plasma with silicon powder by numerical simulation2019

    • 著者名/発表者名
      Y.Siregar, Yasunori Tanaka, Y.Uesugi, T.Ishijima
    • 雑誌名

      Telkomnika (Telecommunication Computing Electronics and Control)

      巻: 17 号: 2 ページ: 1047-1054

    • DOI

      10.12928/telkomnika.v17i2.10533

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Efficient modification of Si/SiOz nanoparticles by pulse-modulated plasma flash evaporation for an improved capacity of lithium-ion storage2019

    • 著者名/発表者名
      M.Kambara*, S.Hamazaki, N. Kodama and Yasunori Tanaka
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 52 号: 32 ページ: 325502-325502

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab1c9f

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spatial Distribution of Ti vapor Admixture Ratio in Ar Induction Thermal Plasma Torch during Ti Feedstock Injection2018

    • 著者名/発表者名
      Naoto Kodama, Yasunori Tanaka, Yosuke Ishisaka, Kotaro Shimizu, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shu Watanabe, Shiori Sueyasu, Keitaro Nakamura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 ページ: 036101-036101

    • NAID

      210000148721

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High-rate synthesis of Si nanowires using modulated induction thermal plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      Yosuke Ishisaka, Naoto Kodama, Kentaro Kita, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 10 ページ: 096201-096201

    • NAID

      210000135980

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Spatiotemporal distribution of thermal plasma temperature and precursor formation in a torch during TiO2 nanopowder synthesis2017

    • 著者名/発表者名
      Kodama Naoto、Tanaka Yasunori、Kita K、Ishisaka Y、Uesugi Y、Ishijima T、Sueyasu S、Nakamura K
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 26 号: 7 ページ: 075008-075008

    • DOI

      10.1088/1361-6595/aa73ca

    • NAID

      120006336016

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Nucleation Frequency Distribution of Si Nanoparticles in the Chamber downstream of Modulated Induction Thermal Plasmas with Modulated Quenching Gas Injection2019

    • 著者名/発表者名
      Keita Akashi*, Kazuki Onda, Ryudai Furukawa, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Modeling of Transient Interaction between Ar Thermal Plasma and Si Solid Powder Being Injected into Induction Thermal Plasmas2019

    • 著者名/発表者名
      Onda Kazuki*, Tanaka Yasunori, Nakano Yusuke, Ishijima Tatsuo, Uesugi Yoshihiko, Akashi Keita, Furukawa Ryudai, Sueyasu Shiori, Watanabe Shu, Nakamura Keitaro
    • 学会等名
      The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High Rate Synthesis of Graphene-Encapsulated Silicon Nanoparticles using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas with Intermittent Feedstock Feeding2019

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka*, Kentaro Shimizu, Kazuki Onda, Keita Akashi, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Modelling on tandem type of inductively coupled thermal plasma with thermal interaction from powder feeding2019

    • 著者名/発表者名
      ulianta Siregar*, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Yoshihiko Uesugi
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electromagnetic thermofluid simulation on tandem type of Ar/O2 inductively coupled thermal plasmas driven by upper and lower coils2019

    • 著者名/発表者名
      Keita Akashi*, Kotaro Shimizu, Kazuki Onda, Yusuke Nakano, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Pure Silicon Nanoparticle Synthesis using Tandem Type of Induction Thermal Plasmas with Simultaneous Controlled Modulation of Upper- and Lower-Coil Current2019

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Onda*, Kotaro Shimizu, Keita Akashi, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      24th International Symposium on Plasma Chemistry, ISPC-24
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of Alternating Gas Injection on Temperature Fields in Reaction Chamber using Inductively Coupled Thermal Plasmas for Nanoparticle Synthesis2019

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka*, K.Shimizu, K.Onda, K.Akashi, Y.Uesugi, T.Ishijima, S.Sueyasu, S.Watanabe, K. Nakamura
    • 学会等名
      24th International Symposium on Plasma Chemistry, ISPC-24
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical Study on Temperature Variation in Tandem Ar Induction Thermal Plasmas with Lower-Coil Current Modulation; Influence of Off-Time,2019

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Onda*, Kotaro Shimizu, Keita Akashi, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu, Watanabe and Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      ISPlasma2019/IC-PLANTS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical Study on Temperature Variation in Tandem Ar Induction Thermal Plasmas with Lower-Coil Current Modulation; Influence of Off-Time2019

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Onda, Kotaro Shimizu, Keita Akashi, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu, Watanabe and Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      ISPlasma2019/IC-PLANTS2019
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of Alternating Gas Injection on the Temperature Field in Reaction Chamber for Nanoparticle Synthesis using Inductively Coupled Thermal Plasmas2018

    • 著者名/発表者名
      Y.Tanaka, K.Shimizu, K.Onda, K.Akashi, Y.Uesugi, T.Ishijima, S.Sueyasu, S.Watanabe, K. Nakamura
    • 学会等名
      Material Research Society of japan (MRS-J)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of sheath gas flow rate in Ar induction thermal plasma with Ti powder injection on the plasma temperature by numerical calculation2018

    • 著者名/発表者名
      Y.Siregar, Y.Tanaka, T.Ishijima, Y.Uesugi
    • 学会等名
      1st International Conference on Industrial, Electrical and Electronics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of Input Power in Ar/H2 Thermal Plasma with Silicon Powder Injection by Numerical Simulation Study,2018

    • 著者名/発表者名
      Yulianta Siregar, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima
    • 学会等名
      TELKOMNIKA Telecommunication, Computing, Electronics and Control,
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Advanced Controlled Induction Thermal Plasmas for Materials Processing2018

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka
    • 学会等名
      2018 Asia-Pacific Conference on Plasma and Terahertz Science (APOPST-2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Numerical Study on Tempo-Spatially Varying Thermofluid Field in Tandem Type of Modulated Induction Thermal Plasmas-Effect of Lower Coil Current Modulation2018

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Onda, Kotaro Shimizu, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, and Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 7th Int. Conf. Microelctronics & Plasma Technol.( ICMAP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Trial Synthesis of Silicon Nanoparticles using a Newly Developed Tandem Type of Modulated Induction Thermal Plasma with Lower Coil Current Modulation2018

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Onda, Naoto Kodama, Yosuke Ishisaka, Kotaro Shimizu, Yasunori Tanaka, Uesugi Yoshihiko, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      High-Tech Plasma Processes (HTPP2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Two-dimensional estimation of number density distribution of precursor molecules during TiO2 nanopowder synthesis using induction thermal plasmas2018

    • 著者名/発表者名
      Naoto Kodama, Yasunori Tanaka, Kazuki Onda, Kotaro Shimizu, Yoshihiko Uesugi, Tatsuo Ishijima, Sueyasu Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      High-Tech Plasma Processes (HTPP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] A Numerical Study on Tandem Type of Ar Induction Thermal Plasmas -Influence of the Gap Length between Upper and Lower Coils-2018

    • 著者名/発表者名
      K.Onda, N. Kodama, Y. Ishisaka, K.Shimizu Yasunori Tanaka, Y. Uesugi, T. Ishijima, S. Sueyasu, S. Watanabe, K. Nakamura
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] nfluence of current modulation on the size distribution of nanoparticles synthesized in gas phase in induction thermal plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka, N. Kodama, Y. Ishisaka, Y. Uesugi, T.Ishijima, S. Watanabe, K. Nakamura, T. Kooka, T. Seto
    • 学会等名
      Asia-Pacific Int. Symp.on the Basics & Appl. Plasma Technol. (APSPT-10)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Estimation of Ti excitation temperature and power density distribution in the Ar induction thermal plasma during Ti feedstock injection2017

    • 著者名/発表者名
      N.Kodama, Y. Ishisaka, K. Shimizu, Y. Tanaka, Y. Uesugi, T. Ishijima, S. Sueyasu, S. Watanabe, K. Nakamura
    • 学会等名
      Asia-Pacific Int. Symp.on the Basics & Appl. Plasma Technol. (APSPT-10)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Large Amount Synthesis of Si Nanopowder/Nanowires using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      Y.Ishiska, N. Kodama, Y. Tanaka, Y. Uesugi, T. Ishijima, S. Sueyasu, S.Watanabe, K.~Nakamura
    • 学会等名
      Int.Symp.Plasma Chem. (ISPC-23)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Two-dimensional distribution of Ti vapor admixture ratio and Ti atomic density in the Ar ICTP torch during Ti feedstock injection2017

    • 著者名/発表者名
      N.Kodama, Y.Ishisaka, K. Shimizu, Y.Tanaka, Y.Uesugi, T.Ishijima, S. Sueyasu, S.Watanabe, K.Nakamura
    • 学会等名
      Int.Symp.Plasma Chem. (ISPC-23)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Modulated Induction Thermal Plasmas and their Application to High-Throughput Nanopowder Synthesis2017

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka
    • 学会等名
      Int.Symp.Plasma Chem. (ISPC-23)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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