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IV半導体ヘテロ界面へのドーパント低次元配列の形成

研究課題

研究課題/領域番号 17H02777
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 結晶工学
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

三木 一司  兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (30354335)

研究分担者 唐 佳芸  兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 (70785287)
坂本 謙二  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主席研究員 (00222000)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2019年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2018年度: 6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2017年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円)
キーワードシリコン / ドーパント / 重金属 / 低次元構造 / 放射光 / 局所構造解析 / 磁性不純物 / ドーピング
研究成果の概要

半導体では通常一部の元素を他元素と置換して電気伝導度の制御を行う。置換元素はドーパントと呼ばれ、電気伝導度制御以外にも多くの物性機能の開花を可能とする。本研究では、スピントロ二クスを目的として、1次元や2次元の低次元の重金属元素ドーパント構造を形成することに成功した。特にSi表面にBiドーパントの1次元構造とMnドーパントの2次元構造を形成し放射光を用いたXAFS測定などにより異方性を持つ低次元構造を決定した。何れの重金属ドーパントの低次元構造は電気的特性評価からドーパントとしての働きを確認している。Ge/Si(001)界面に形成したMnドーパントの低次元δドープ層は非線形の磁気抵抗を示す。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本結果は材料開発の一つのブレークスルーであり、ドーパントの低次元構造を用いた新たなデバイス新材料を模索する事が可能になる。期待できる機能材料は、(1)高い移動度を有するチャネル1、(2)核スピンを使った量子コンピュータ(量子ビットの1次元構造体)2、(3)Digital Magnetic Alloyと呼ばれる磁性材料(ハーフメタル)などである。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (31件)

すべて 2020 2019 2018 2017 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (4件) (うち国際共著 2件、 査読あり 4件) 学会発表 (24件) (うち国際学会 4件、 招待講演 4件)

  • [国際共同研究] University College, London(英国)

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [国際共同研究] University College, London(英国)

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [国際共同研究] University College, London(英国)

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [雑誌論文] Polymer‐Based Organic Field‐Effect Transistors with Active Layers Aligned by Highly Hydrophobic Nanogrooved Surfaces2019

    • 著者名/発表者名
      Bulgarevich Kirill、Sakamoto Kenji、Minari Takeo、Yasuda Takeshi、Miki Kazushi、Takeuchi Masayuki
    • 雑誌名

      Advanced Functional Materials

      巻: 29 号: 45 ページ: 1905365-1905365

    • DOI

      10.1002/adfm.201905365

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomic layer doping of Mn magnetic impurities from surface chains at a Ge/Si hetero-interface2018

    • 著者名/発表者名
      Murata Koichi、Kirkham Christopher、Tsubomatsu Satoshi、Kanazawa Takashi、Nitta Kiyofumi、Terada Yasuko、Uruga Tomoya、Nittoh Koh-ichi、Bowler David R.、Miki Kazushi
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: 10 号: 1 ページ: 295-301

    • DOI

      10.1039/c7nr07177a

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Dopant activation mechanism of Bi wire-δ-doping into Si crystal, investigated with wavelength dispersive fluorescence x-ray absorption fine structure and density functional theory2017

    • 著者名/発表者名
      Koichi Murata、Christopher Kirkham、Masaru Shimomura、Kiyofumi Nitta、Tomoya Uruga、Yasuko Terada、Koh-ichi Nittoh、David R Bowler、Kazushi Miki
    • 雑誌名

      J. Phys.: Condens. Matter

      巻: 29 号: 15 ページ: 155001-155001

    • DOI

      10.1088/1361-648x/aa6180

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Autosurfactant of the second kind: Bi enables δ-doping of Bi in Si2017

    • 著者名/発表者名
      K. Murata, K. Miki, and S. Fukatsu
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 152104

      巻: 111 号: 15 ページ: 152104-152104

    • DOI

      10.1063/1.5001154

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] X-ray Fluorescence Holography of n type dopant, Sn in β-Ga2O3 widegap oxide semiconductor2020

    • 著者名/発表者名
      K. Miki, N. Happo, K. Kimura, K. Sasaki, Y. Tang, K. Nawata, Y. Maeda, S. Kitamura, H. Ozaki, K. Hisatsune, R. Yamaguchi, H. Tajiri, S. Yamakoshi, K. Hayashi, A. Kuramata
    • 学会等名
      Symposium on Surface and Nano Science 2020
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] A Sn dopant in βGa2O3 semiconductor as an functional active site depending on anneal atmosphere2019

    • 著者名/発表者名
      Kazushi Miki
    • 学会等名
      The 4th international symposium on “Elucidation of Property of Next Generation Functional Materials and Surface/Interface”
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] X-ray Fluorescence Holography Investigation on Sn in Sn: β-Ga2O3 widegap oxide semiconductor2019

    • 著者名/発表者名
      K. Miki, N. Happo, K. Kimura, K. Sasaki, Y. Tang , K. Nawata, H. Kitafuji, S. Kitamura, H. Ozaki, K. Hisatsune, R. Yamaguchi, H. Tajiri, S. Yamakoshi, K. Hayashi, A. Kuramata
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019 symposium A-1 Local Atomic Structure Analysis on the Active Center of Functional Materials
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Alignment-Induced Mobility Enhancement and Small Device-to-Device Variation of Polymer-Based Organic Field-Effect Transistors with Highly Hydrophobic Nano-Grooved Gate Dielectric Surfaces2019

    • 著者名/発表者名
      ブルガレビッチ キリル、坂本謙二、三成剛生、安田剛、三木一司、竹内正之
    • 学会等名
      第80回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Sn: β型酸化ガリウムのドーパント局所構造 II2019

    • 著者名/発表者名
      三木一司、柳田健之、佐々木公平、唐佳藝、河口範明、山腰茂伸、倉又朗人
    • 学会等名
      第80回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Sn:β型酸化ガリウムの光電子ホログラフィー2019

    • 著者名/発表者名
      宮脇 涼太、桃野 浩樹、 深見 駿、 松田博之、佐々木公平、唐佳藝、下村勝、 Peng Dawei、荻 昌史、岩間 司、平岡 将、 宮本 将伸、 北藤 滉、西端 龍太郎、 山腰茂伸、大門 寛、 倉又朗人、 三木一司
    • 学会等名
      2019年度関西薄膜・表面物理セミナー
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Sn:β型酸化ガリウムの蛍光X線ホログラフィー2019

    • 著者名/発表者名
      縄田皓太郎、 三木一司、八方直久、木村耕治、 佐々木公平、唐佳藝、前田幸秀、北村真也、尾崎ひかる、久常健太郎、 山口亮太、田尻寛男、 山腰茂伸、 林好一、 倉又朗人
    • 学会等名
      2019年度関西薄膜・表面物理セミナー
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] PLD法によるβ型酸化ガリウム薄膜のp型ドーパント探索2019

    • 著者名/発表者名
      前田幸秀、森下裕貴、 嶋津亮、川上新世、唐 佳藝、堀田育志、三木一司
    • 学会等名
      2019年度関西薄膜・表面物理セミナー
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 量子情報処理応用に向けたSi結晶中へのBiドーピング2019

    • 著者名/発表者名
      三木 一司、前川 雅樹、八方 直久、木村 耕治、唐 佳藝、宮本将伸、嶋津 亮、前田幸秀、北藤 滉、縄田 皓太郎、北村 真也、田尻 寛男、林 好一、河裾 厚男
    • 学会等名
      QSTサイエンスフェスタ2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Fluorescence X-ray Holography of Sn from Sn: β-Ga2O3 widegap oxide semiconductor.2019

    • 著者名/発表者名
      K. Miki, N. Happo, K. Kimura, K. Sasaki, Y. Tang , K. Nawata, H. Kitafuji, S. Kitamura, H. Ozaki, K. Hisatsune, R. Yamaguchi, H. Tajiri, S. Yamakoshi, K. Hayashi, A. Kuramata
    • 学会等名
      Symposium on 3D Active-site Science in London-3D Atomic-imaging Technologies from Material to Biology-
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Two-step ultrasonication method to make 2D arraying of midnanometer-sized (10-100 nm) gold particles2019

    • 著者名/発表者名
      Kazushi Miki
    • 学会等名
      Symposium on Surface and Nano Science 2019
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sn: β型酸化ガリウムのドーパント局所構造2019

    • 著者名/発表者名
      三木 一司、八方 直久、木村 耕治、佐々木 公平、唐 佳藝、縄田 皓太郎、北藤 滉、北村 真也、尾崎 ひかる、久常 健太郎、山口 亮太、田尻 寛男、山腰 茂伸、林 好一、倉又 朗人
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Dopant activation mechanism of Bi wire-doping into Si crystal2018

    • 著者名/発表者名
      Kazushi Miki, Koichi Murata, Christopher Kirkham, Masaru Shimomura, Kiyofumi Nitta, Tomoya Uruga, Yasuko Terada, Koh-ichi Nittoh, David R Bowler
    • 学会等名
      14th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高速化データ駆動科学としての陽電子回折2018

    • 著者名/発表者名
      田中和幸,星健夫, 一宮彪彦,望月出海, 三木一司, 兵頭俊夫, 福島孝治
    • 学会等名
      ポスト「京」重点課題(7)「次世代の産業を支える新機能デバイス・ 高性能材料の創成(CDMSI)」第4回シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 陽電子回折実験向け解析ソフトウェアの高度化2018

    • 著者名/発表者名
      田中和幸、星健夫、一宮彪彦、望月出海、三木一司、兵頭俊夫
    • 学会等名
      物理学会2018年秋季大会(物性)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 原子間力顕微鏡によるSi(110)-(16x2)再構成表面の観察2018

    • 著者名/発表者名
      山本 達也、和泉 遼、松本 克春、内藤 賀公、李 艶君、菅原 康弘、三木 一司
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Si結晶中へのBiのイオン注入ドーピング2018

    • 著者名/発表者名
      三木 一司、河裾 厚男、前川 雅樹、田尻 寛男、八方 直久、Ang Artoni Kevin Roquero、林 好一
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Very High Electrical Stability of Bottom-Gate/Top-Contact Type Polymer-Based Organic Field-Effect Transistors with Perfluoropolymer-Coated Gate Dielectrics2018

    • 著者名/発表者名
      Kirill Bulgarevich、坂本謙二、三成剛生、安田剛、三木一司、竹内正之
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Formation of Uniform and High-Coverage Monolayer Films of 2 Dimetional Midnanometer-Sized Gold Particles over the Entire Surfaces of 1.5-in. Substrates2018

    • 著者名/発表者名
      Kazushi Miki
    • 学会等名
      平成30年度大阪大学国際合同会議「次世代機能性材料・表面/界面物性の解明と機能探索の動向」
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Doping of wired-Mn magnetic impurities at Ge/Si interface2017

    • 著者名/発表者名
      K. Murata, K. Miki, C. Kirkham, S. Tsubomatsu, T. Kanazawa, K. Nitta, Y. Terada, T. Uruga, K. Nittoh and D.R. Bowler
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Surface Science
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mechanism of initial thermal oxidation on Si(113) surfaces2017

    • 著者名/発表者名
      A. Ogawa, H. Tanaka, S. Ohno, M. Tanaka, K. Miki, S. Ogawa, Y.Takakuwa
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Surface Science
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Introduction of wired-heavy metal dopants into Si substrates2017

    • 著者名/発表者名
      三木一司
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部セミナー「機能性材料・デバイス解析の最前線」
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 新しい手法を使った、シリコン半導体ドーピングと評価2017

    • 著者名/発表者名
      三木一司
    • 学会等名
      半導体新規化学プロセス研究会第一回例会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 放射光評価手法を使ったドーピング過程の研究2017

    • 著者名/発表者名
      三木一司
    • 学会等名
      兵庫県立大学 知のシンポジウム2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2023-03-23  

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