| 研究課題/領域番号 |
17H02804
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマエレクトロニクス
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
永津 雅章 静岡大学, 電子工学研究所, 特任教授 (20155948)
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| 研究分担者 |
荻野 明久 静岡大学, 工学部, 准教授 (90377721)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2019年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2018年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
2017年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
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| キーワード | プラズマプロセス |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、高度科学技術社会の実現に向けて様々な産業分野からニーズが高まっている環境に優しい高機能・多機能表面プロセスの実現を目的として、(1)従来困難とされたフッ素系樹脂材料の表面修飾技術、(2)フッ素樹脂材とアルミ等の異種材料間の接着技術、(3)3次元半導体デバイス開発に必要とされるSi基板の接合技術、さらに(4)医療・環境分野において注目される高機能ナノ微粒子合成技術を取り上げ、これらを実現するプラズマプロセス技術の開発およびプラズマ科学の学理探求を行った。得られた研究成果は、学術論文誌13編、著書(分担執筆) 3編、国内学会・国際会議21件の発表を行い、3件の特許出願を行った。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究のテーマとした先進的プラズマプロセスを活用した各種材料表面の高機能化・多機能化は、様々な産業分野においてその技術開発が求められており、我が国における未来の産業創造と社会変革の実現に不可欠な重点課題の一つである。本研究で得られた成果は、エレクトロ二クス分野、環境・エネルギー分野、バイオ・医療分野など、わが国の幅広い産業界における科学技術イノベーションの創出に大きく貢献するとともに、基礎から応用までの基盤的な学理の構築に貢献できると考えており、本研究成果の学術的、社会的意義は極めて大きいと考えている。
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