| 研究課題/領域番号 |
17H03156
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
岩田 太 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (30262794)
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| 研究分担者 |
永津 雅章 静岡大学, 電子工学研究所, 特任教授 (20155948)
下村 勝 静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授 (20292279)
荻野 明久 静岡大学, 工学部, 准教授 (90377721)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円)
2019年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2018年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
2017年度: 7,930千円 (直接経費: 6,100千円、間接経費: 1,830千円)
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| キーワード | 大気圧プラズマ / 走査型プローブ顕微鏡 / ナノピペット / 微細加工 |
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| 研究成果の概要 |
大気圧プラズマジェット(atmospheric pressure plasma jet :APPJ)を局所的に照射することで、表面微細加工と加工状態の組成分光分析が可能なナノ加工・分析システムを開発した．本装置は先端に微小開口を有するナノピペットをプローブとする走査型プローブ顕微鏡により高精度に位置決めされたナノピペット先端からAPPJを局所照射する．プラズマ原料ガスに反応性ガスを少量添加することで，活性種による加工効率の向上を実現した．また，高周波プラズマを照射可能にすることで、加工効率を向上させた．さらにプラズマ発光分光により，加工現象を分析する装置を開発し、その有効性を示した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
大気圧プラズマジェット （Atmospheric pressure plasma jets: APPJs）はその多様な特徴から表面改質，プラズマCVD，殺菌・滅菌など幅広い分野で様々な応用が研究されている．APPJは大気圧下で生成されることから，シンプルで低コストな装置構成での微細加工システムを実現した．APPJのサブマイクロスケールでの微細加工を扱った本研究成果は微小電気機械システム などのマイクロデバイスの低コスト且つ簡易的なプロセスでの試作品作製への応用が期待できる．
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