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半導体ナノワイヤによるSi基板上発光デバイスの研究

研究課題

研究課題/領域番号 17H03223
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関北海道大学

研究代表者

本久 順一  北海道大学, 情報科学研究院, 教授 (60212263)

研究分担者 原 真二郎  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 准教授 (50374616)
冨岡 克広  北海道大学, 情報科学研究院, 准教授 (60519411)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2019年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2018年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2017年度: 7,930千円 (直接経費: 6,100千円、間接経費: 1,830千円)
キーワード半導体ナノワイヤ / 有機金属気相成長 / 選択成長 / 発光ダイオード / 量子ドット / ナノワイヤ / 単一光子光源
研究成果の概要

成長時のIn原料の供給組成比を適切に制御し、PL測定および光電流スペクトル測定による吸収端波長の評価により、通信波長帯で発光するSi基板上InGaAsナノワイヤアレイの形成を確認した。また、InP系ナノワイヤによる発光ダイオードの発光特性を評価し、発光機構が発光性トンネリングであることを明らかにした。V族組成比の制御およびアニールによりナノワイヤサイズの制御の結果、通信波長帯で発光するInAsP/InP量子ドットナノワイヤを得ることに成功した。pn接合を有するInAsP/InPヘテロ構造ナノワイヤを用いて発光ダイオードを作製し、InAsPに由来する近赤外領域からの発光を確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

シリコン(Si)は集積回路など、応用上最も重要な半導体であるが、今後、高度な情報処理にはSi基板上に様々な光素子・光部品をSiプラットフォーム上でコンパクトに集積することが必要となっている。ここで最大の問題点はSiが発光素子には適していないことであり、よって、Si基板上に発光素子に適した材料の形成が必要である。本研究において、半導体ナノワイヤを利用することにより、発光素子をSi基板上に集積化することが可能になり、また通信波長帯で動作する素子の実現が可能となる。これは、電子回路と光回路とを融合させた集積回路の実現につながり、情報通信技術に進展をもたらす。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (27件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (23件) (うち国際学会 11件、 招待講演 1件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Characterization of nanowire light-emitting diodes grown by selective-area metal-organic vapor-phase epitaxy2019

    • 著者名/発表者名
      Motohisa Junichi、Kameda Hiroki、Sasaki Masahiro、Tomioka Katsuhiro
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 30 号: 13 ページ: 134002-134002

    • DOI

      10.1088/1361-6528/aafce5

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vertical InGaAs Nanowire Array Photodiodes on Si2019

    • 著者名/発表者名
      Chiba Kohei、Yoshida Akinobu、Tomioka Katsuhiro、Motohisa Junichi
    • 雑誌名

      ACS Photonics

      巻: 6 号: 2 ページ: 260-264

    • DOI

      10.1021/acsphotonics.8b01089

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Composition controllability of InGaAs nanowire arrays in selective area growth with controlled pitched on Si platform2017

    • 著者名/発表者名
      Kohei Chiba, Katsuhiro Tomioka, Akinobu Yoshida, and Junichi Motohisa
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 7 号: 12 ページ: 125304-125304

    • DOI

      10.1063/1.4993689

    • NAID

      120006380383

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] InP-based Nanowires Towards On-demand Single Photon Emitters2019

    • 著者名/発表者名
      Junichi Motohisa and Katsuhiro Tomioka
    • 学会等名
      2019 International Workshop on Physics of Semiconductor Devices
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] InP/InAsP/InP heterostructure nanowire LEDs for a single photon emitter2019

    • 著者名/発表者名
      Tomoya Akamatsu, Masahiro Sasaki, Hiroki Kameda, Katsuhiro Tomioka, and Junichi Motohisa
    • 学会等名
      Nanowire Weak 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] InPナノワイヤ量子ドットの熱アニールによる直径微細化と発光特性2019

    • 著者名/発表者名
      赤松 知弥, 佐々木 正尋, 冨岡 克広, 本久 順一
    • 学会等名
      第80回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] アニールによるInPナノワイヤ直径微細化2019

    • 著者名/発表者名
      佐々木 正尋、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      第54回応用物理学会北海道支部/第15回日本光学会北海道支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] InP/InAsP/InPヘテロ構造ナノワイヤLEDの作製と評価2019

    • 著者名/発表者名
      赤松 知弥、亀田 滉貴、佐々木 正尋、冨岡 克広
    • 学会等名
      2018年度電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Size Control of InP NWs by in situ Thermal Annealing in MOVPE2018

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, K. Chiba, A. Yoshida, K. Tomioka, J. Motohisa
    • 学会等名
      19th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XIX)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Nanowire Light-emitting Diodes Grown by Selective-area MOVPE2018

    • 著者名/発表者名
      J. Motohisa, H. Kameda, M. Sasaki, K. Tomioka
    • 学会等名
      19th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XIX)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Study on emission mechanism in InP-based nanowire LEDs2018

    • 著者名/発表者名
      J. Motohisa, H. Kameda, M. Sasaki, K. Tomioka
    • 学会等名
      Nanowire Week 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electroluminescence from InP-based Heterostructure Nanowires2018

    • 著者名/発表者名
      J. Motohisa, H. Kameda, M. Sasaki, K. Tomioka
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 有機金属気相選択成長により作製したInPナノワイヤのサイズ制御2018

    • 著者名/発表者名
      佐々木 正尋、千葉 康平、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      第10回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] InPナノワイヤLEDの温度依存性評価2018

    • 著者名/発表者名
      本久 順一、亀田 滉貴、佐々木 正尋、冨岡 克広
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 熱アニールによるInPナノワイヤのサイズ制御の検討2018

    • 著者名/発表者名
      佐々木 正尋、千葉 康平、吉田 旭伸、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] InP/InAsPナノワイヤLEDの電流注入発光特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      赤松 知弥、亀田 滉貴、佐々木 正尋、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] InPナノワイヤLEDにおける発光効率の温度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      本久 順一、亀田 滉貴、佐々木 正尋、冨岡 克広
    • 学会等名
      The 37th Electronic Materials Symposium (EMS 37)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] InP/InAsPナノワイヤLEDの電流注入発光特性2018

    • 著者名/発表者名
      赤松 知弥、亀田 滉貴、佐々木 正尋、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      The 37th Electronic Materials Symposium (EMS 37)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Nanowire Light-emitting Diodes Grown by Selective-area MOVPE2018

    • 著者名/発表者名
      Junichi Motohisa, Hiroki Kameda, Masahiro Sasaki, and Katsuhiro Tomioka
    • 学会等名
      19th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-19)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Study on Emission Mechanisms in InP-based Nanowire LEDs2018

    • 著者名/発表者名
      Junichi Motohisa, Hiroki Kameda, Masahiro Sasaki, and Katsuhiro Tomioka
    • 学会等名
      Nanowire Week 2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Improved characteristics of InP-based nanowire light-emitting diodes2017

    • 著者名/発表者名
      H. Kameda, K. Tomioka, F. Ishizaka, M. Sasaki, J. Motohisa
    • 学会等名
      22nd International Conference on Electronic Properties of Two-Dimensional Systems, 18th International Conference on Modulated Semiconductor Structures (EP2DS-22/MSS-18)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nanowire quantum dots emitting at telecom wavelength2017

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, H. Kameda, K. Tomioka, J. Motohisa
    • 学会等名
      The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Integration of InGaAs nanowires on Si(111) for optical devices2017

    • 著者名/発表者名
      K. Chiba, K. Tomioka, A. Yoshida, J. Motohisa
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] InAsP 埋め込み InP ナノワイヤにおける発光波長制御2017

    • 著者名/発表者名
      佐々木 正尋、千葉 康平、吉田 旭伸、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      第9回 ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] InAsP量子ドットナノワイヤにおける通信波長帯発光2017

    • 著者名/発表者名
      佐々木 正尋、千葉 康平、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 通信波長帯で発光するナノワイヤ量子ドットの成長と評価2017

    • 著者名/発表者名
      佐々木 正尋、千葉 康平、冨岡 克広、本久 順一
    • 学会等名
      The 36th Electronic Materials Symposium (EMS 36)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [図書] Nanowire Field Effect Transistors (in "Fundamental Properties of Semiconductor Nanowires")2020

    • 著者名/発表者名
      Junichi Motohisa and Shinjirho Hara
    • 出版者
      Springer
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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