| 研究課題/領域番号 |
17H03233
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
垣尾 省司 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (70242617)
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| 研究分担者 |
水野 潤 早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 上級研究員(研究院教授) (60386737)
鈴木 雅視 山梨大学, 大学院総合研究部, 助教 (60763852)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2019年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2018年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2017年度: 9,620千円 (直接経費: 7,400千円、間接経費: 2,220千円)
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| キーワード | SAWフィルタ / 縦型リーキー弾性表面波 / 異種材料接合 / 高周波化 / 高結合化 / 高Q化 / 高安定化 / 高性能化 / 弾性表面波 / 高周波フィルタ / 水晶 / LiNbO3・LiTaO3 / LiTaO3 / 電子・電気材料 / 移動体通信 |
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| 研究成果の概要 |
次世代通信システムの実現に向けて，LiTaO3等の圧電基板を用いた弾性表面波(SAW)フィルタの高周波化と広帯域化が強く要請されている．縦波型リーキーSAW(LLSAW)は，通常のSAWと比べて1.5～2倍の伝搬速度を持つため，SAWフィルタの高周波化に有利であるが非常に大きな伝搬損失を有する．
本研究では，異種材料接合技術を用いて１波長以下の厚みをもつ圧電薄板と水晶支持基板を接合すると，弾性波エネルギーが薄板内に集中するため，LLSAWの伝搬損失が格段に低減し，広帯域化に必要な結合係数が２～３倍に増加することを理論的，実験的に明らかにした．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
次世代通信システムの実現に向けて，LiTaO3等の圧電基板を用いた弾性表面波(SAW)フィルタの高周波化と広帯域化が強く要請されている．縦波型リーキーSAW(LLSAW)は，通常のSAWと比べて1.5～2倍の伝搬速度を持つため，SAWフィルタの高周波化に有利であるが非常に大きな伝搬損失を有する．
本研究では，異種材料接合技術を用いて１波長以下の厚みをもつ圧電薄板と水晶支持基板を接合すると，弾性波エネルギーが薄板内に集中するため，LLSAWの伝搬損失が格段に低減し，広帯域化に必要な結合係数が２～３倍に増加することを明らかにし，スマートフォン等の端末用高周波フィルタへの適用可能性を示した．
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