| 研究課題/領域番号 |
17H03378
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
金属物性・材料
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
山本 剛久 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (20220478)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2019年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2018年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2017年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
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| キーワード | 酸化物結晶 / 原子構造 / STEM / TEM / 結晶表面 / 表面 / EELS / チタン酸ストロンチウム / 電子状態 / 点欠陥 / SrTiO3 / ステップテラス構造 / 熱処理 |
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| 研究成果の概要 |
薄膜成長に用いる結晶基板表面には、原子レベル平坦なステップテラス構造が必要となる。この構造の構築は、基板表面での表面拡散を用いる熱処理法がしばしば用いられている。ところが、熱処理を行うことにより、基板最表面部でその熱処理温度と平衡する濃度の点欠陥が形成し、最表面部の原子密度が低下する可能性が生じる。本研究では、この原子密度の低下をできるだけ緩和させる手法として、熱処理時の酸素分圧の調整、超純水の利用について基礎的な知見を収集した。また、基板表面の状態を変化させる手法として電界印加の効果についても取り組んだ。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
結晶最表面部の原子構造に関する研究はこれまでに多数報告されている。その主な内容は、原子構造自体の変化や、組成変化に関するものである。一方、結晶表面のような格子不整合となる領域は点欠陥の生成消滅箇所として作用することが知られている。これまでに、このような点欠陥生成に伴う原子密度の変化という視点からの研究はなされていない。原子密度という観点からの基礎的な知見が得られれば、表面構造の新たな制御方法の確立へと結びつく可能性が考えられる。
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