| 研究課題/領域番号 |
17H03382
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
忠永 清治 北海道大学, 工学研究院, 教授 (90244657)
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| 研究分担者 |
三浦 章 北海道大学, 工学研究院, 准教授 (10603201)
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| 研究期間 (年度) |
2017-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円)
2019年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2018年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2017年度: 9,880千円 (直接経費: 7,600千円、間接経費: 2,280千円)
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| キーワード | 窒化物薄膜 / 酸窒化物薄膜 / 液相法 / 低温窒化 / ゲル膜 / 窒化物 / 酸窒化物 / 薄膜 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、ゾル－ゲル法により作製したゲル膜を、窒素を含む低温溶融塩の液相と反応させる、あるいは、様々な窒素含有化合物のと共に熱処理を行うことにより、低温プロセスで窒化物あるいは酸窒化物の薄膜を形成する新規手法を開発することを目的とした。
作製した酸化物ゲル膜を窒素気流下の電気炉で熱処理する際に、上流に尿素を置き、尿素を加熱して発生する化学種を用いてゲル膜を窒化する方法を検討したところ、あらかじめ液相法で作製した酸化銅あるいは酸化タンタルの薄膜を尿素存在下、窒素気流中熱処理を行うことにより、Cu3NまたはTaON薄膜形成できることを見出した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
溶液法による膜形成と尿素を用いた窒化反応により、金属窒化物や酸窒化物薄膜を、様々な基板上に容易に形成できる手法を見出した。本手法では、金属窒化物薄膜および酸窒化物薄膜を得るために、容易に手に入る尿素粉末を窒素源として用いており、窒化反応において有毒なアンモニアガスを用いる必要がないことが大きな特徴である。
今回見出した手法を他の系に適用することが可能となれば、金属窒化物薄膜あるいは酸窒化物が容易に得られることから、窒化物薄膜あるいは酸窒化物薄膜の研究の大きく進展し、さらに、応用の拡大が期待できる。
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