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高強度レーザー反応場を利用した高次ナノ構造の高速化学気相析出

研究課題

研究課題/領域番号 17H03426
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・組織制御工学
研究機関横浜国立大学

研究代表者

伊藤 暁彦  横浜国立大学, 大学院環境情報研究院, 准教授 (20451635)

研究分担者 吉川 彰  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (50292264)
後藤 孝  長岡技術科学大学, 工学研究科, 特任教授 (60125549)
鎌田 圭  東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授 (60639649)
且井 宏和  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員 (70610202)
研究期間 (年度) 2017-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2019年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2018年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2017年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
キーワード化学気相析出 / 自己組織化 / コーティング / 配向制御 / 共晶 / セラミックス / レーザー工学 / ナノ構造制御 / 光学媒質
研究成果の概要

本研究課題では、高強度レーザー反応場での高速化学気相析出を利用した高次ナノ構造体のコーティングプロセスを確立した。アルミナ系およびフェライト系のナノ複合膜を合成し、結晶配向やナノ組織形成、機械的、光学的および磁気的性質を明らかにした。
ハフニアや希土類セスキオキサイドは、顕著な自己配向を示し、この成果を基にこれら単結晶厚膜の高速気相合成プロセスを確立した。アルミナ-ハフニア系、アルミナ-希土類セスキオキサイド系において、高次ナノ構造体の形成に成功した。また、ストロンチウムヘキサフェライトやイットリウム鉄ガーネットの高速エピタキシャル成長に成功し、単結晶に匹敵する飽和磁化を確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

セラミックス共晶体の合成は、2000°C以上の超高温融液からの凝固が常識である。もしセラミックス共晶体を気相から直接合成できれば、材料開発および組織設計の自由度が格段に高まり、(i) 共晶体の優れた特性をコーティング化して利用できる、(ii) プロセス温度を、溶融凝固法 (融点) に対して半減できる、(iii) 非平衡の気相プロセスを駆使することで熱力学的には難しい組成域・結晶相を利用した材料組織が設計できる、といった利点がある。これはコーティング分野において、新たな材料設計の可能性を拓くものであり、想定する応用先として、医療用高分解能撮像素子や過酷環境から基材を保護するコーティングがある。

報告書

(4件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (64件)

すべて 2020 2019 2018 2017 その他

すべて 雑誌論文 (11件) (うち国際共著 1件、 査読あり 11件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (48件) (うち国際学会 10件、 招待講演 11件) 備考 (3件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] High-speed Epitaxial Growth of M-type Strontium Hexaferrite Films on Sapphire using Metal-Organic Chemical Vapor Deposition and Their Magnetic Property2020

    • 著者名/発表者名
      K. Kato, R. Watanuki, A. Ito
    • 雑誌名

      Materials Letters

      巻: 274 ページ: 128046-128046

    • DOI

      10.1016/j.matlet.2020.128046

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High-speed epitaxial growth of SrTiO3 transparent thick films composed of close-packed nanocolumns using laser chemical vapor deposition2020

    • 著者名/発表者名
      J. Chen, A. Ito, T. Goto
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 177 ページ: 109424-109424

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2020.109424

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Chemical vapor deposition route to transparent thick films of Eu3+-doped HfO2 and Lu2O3 for luminescent phosphors2020

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumoto, A. Ito
    • 雑誌名

      Optical Materials Express

      巻: 10 号: 4 ページ: 899-906

    • DOI

      10.1364/ome.386425

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-oriented growth of β-Yb2Si2O7 and X1/X2-Yb2SiO5 coatings using laser chemical vapor deposition2020

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, M. Sekiyama, T. Hara, T. Goto
    • 雑誌名

      Ceramics International

      巻: 46 号: 7 ページ: 9548-9553

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2019.12.217

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Highly self-oriented growth of (020) and (002) monoclinic HfO2 thick films using laser chemical vapor deposition2020

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumoto, Y. Kaneda, A. Ito
    • 雑誌名

      Ceramics International

      巻: 46 号: 2 ページ: 1810-1815

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2019.09.156

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective self-oriented growth of (200), (002), and (020) δ-WO3 films via metal-organic chemical vapor deposition2020

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, Y. Morishita
    • 雑誌名

      Materials Letters

      巻: 258 ページ: 126817-126817

    • DOI

      10.1016/j.matlet.2019.126817

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Lu2Ti2O7-Lu3NbO7 solid solution transparent ceramics by spark plasma sintering and their electrical conductivities2020

    • 著者名/発表者名
      L.Q. An, L. Wang, L. Wang, R. Fan, A. Ito, T. Goto
    • 雑誌名

      Journal of the European Ceramic Society

      巻: 40 号: 13 ページ: 4589-4594

    • DOI

      10.1016/j.jeurceramsoc.2020.05.008

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] レーザーを援用した化学気相析出法によるセラミックスの自己配向成長2020

    • 著者名/発表者名
      伊藤暁彦
    • 雑誌名

      セラミックス

      巻: 55 ページ: 98-102

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] SiC繊維表面への界面制御コーティング技術と力学特性評価2020

    • 著者名/発表者名
      伊藤暁彦, 後藤健
    • 雑誌名

      セラミックス

      巻: 55 ページ: 431-435

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-oriented growth of (020) MgSiO3-orthopyroxene and (002) α-Mg2SiO4 films using metal-organic chemical vapor deposition2019

    • 著者名/発表者名
      Masakazu Ikai, Akihiko Ito
    • 雑誌名

      Ceramics International

      巻: 45 号: 10 ページ: 13567-13570

    • DOI

      10.1016/j.ceramint.2019.03.212

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] レーザを利用した高速CVDによるセラミックコーティングの新展開2019

    • 著者名/発表者名
      伊藤暁彦
    • 雑誌名

      溶射

      巻: 55 ページ: 176-182

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 化学気相析出法による単斜晶HfO2膜の合成とその機械的特性評価2020

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 多々見純一, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Chemical Vapor Deposition and Microcantilever Beam Testing of Alumina-hafnia Eutectic Composite Films2020

    • 著者名/発表者名
      A. Ito
    • 学会等名
      The American Ceramic Society
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] High-speed Epitaxial Growth of Functional Oxide Films Using Metal-organic Chemical Vapor Deposition and Their Luminescence and Magnetic Responses2020

    • 著者名/発表者名
      A. Ito
    • 学会等名
      The American Ceramic Society
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Yフェライトのエピタキシャル成長における結晶相制御と磁気特性2019

    • 著者名/発表者名
      相田穂乃香, 綿貫竜太, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      セラミックフェスタin神奈川実行委員会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] ハフニア膜の高速配向成長およびマイクロカンチレバー法による機械的特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      セラミックフェスタin神奈川実行委員会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出法を用いたSrフェライトの合成と磁気特性2019

    • 著者名/発表者名
      加藤起基, 綿貫竜太, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      セラミックフェスタin神奈川実行委員会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Preparation of HfO2-Al2O3 composite films using chemical vapor deposition and their nanostructures2019

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumoto, A. Ito
    • 学会等名
      MRS-J
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] SiC/SiC複合材料向けYbシリケート繊維コーティングの開発2019

    • 著者名/発表者名
      後藤健, 伊藤暁彦, 松田哲志
    • 学会等名
      宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出法による耐環境性コーティングの合成とその機械特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      伊藤暁彦, 松本昭源, 後藤健, 多々見純一
    • 学会等名
      宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Optical and Mechanical Properties of HfO2 Films Prepared Using Metal organic Chemical Vapor Deposition2019

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, S. Matsumoto
    • 学会等名
      The Ceramic Society of Japan, and the Korean Ceramic Society
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Preparation of HfO2 Thick Films Using Chemical Vapor Deposition and Their Mechanical Properties Measured with Microcantilever Beam2019

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumoto, J. Tatami, A. Ito
    • 学会等名
      The Ceramic Society of Japan
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Multilayered Ytterbium Silicate Coatings on SiC fiber using Chemical Vapor Deposition for SiC Ceramic Matrix Composite2019

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, T. Hara, K. Goto
    • 学会等名
      The Ceramic Society of Japan
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 単斜晶HfO2厚膜の自己配向成長とマイクロカンチレバー試験片を用いた機械的特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 多々見純一, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関西支部
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] PLD法を用いたLu2Ti2O7薄膜の合成とその電気的特性2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤瑛美香, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関東支部
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 単結晶HfO2膜の化学気相析出とマイクロカンチレバ―法による機械的特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 多々見純一, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関東支部
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MOCVDを用いたSrFe12O19膜の合成2019

    • 著者名/発表者名
      加藤起基, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関東支部
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出法によるY3Fe5O12-YFeO3 系膜の合成と磁気特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      相田穂乃香, 綿貫竜太, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関東支部
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MOCVDを用いたTiO2/グラファイト複合材料の合成とその光触媒活性2019

    • 著者名/発表者名
      北村朱里, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関東支部
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるYIGおよびYIP 膜の合成と磁気特性2019

    • 著者名/発表者名
      相田穂乃香, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 エンジニアリングセラミックス部会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] ハフニア膜の気相合成とマイクロカンチレバー試験片を用いた機械的特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 エンジニアリングセラミックス部会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるSrFe12O19膜の合成と磁気特性2019

    • 著者名/発表者名
      加藤起基, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 エンジニアリングセラミックス部会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Ceramic Coatings for Structural and Functional Applications2019

    • 著者名/発表者名
      A. Ito
    • 学会等名
      横浜国立大学
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Chemical Vapor Deposition of Ytterbium Silicate Coatings for SiC Ceramic Matrix Composite2019

    • 著者名/発表者名
      Akihiko Ito, Tomohiro Hara
    • 学会等名
      ICACC 2019
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 化学気相析出法によるHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2019

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2019年年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] マイクロカンチレバー試験片で測定したSi-C-Oコーティングのメソスケール機械的特性2019

    • 著者名/発表者名
      多々見純一, 井本有美, 伊藤暁彦, 飯島志行, 矢矧束穂, 高橋拓実
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2019年年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] ZrO2界面相を有するSiC/SiCミニコンポジットの作製と界面力学特性の評価2019

    • 著者名/発表者名
      池田憲優, 後藤 健, 向後保雄, 井上 遼, 伊藤暁彦, 伊海雅和
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2019年年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出法によるHfO2-Al2O3 共晶セラミックス被膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      第13回セラミックフェスタin神奈川
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出法を用いたHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関西支部第21回 若手フォーラム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MOCVD を用いたHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成における成膜温度が膜組織に及ぼす影響2018

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 関東支部研究発表会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD を用いたHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出法によるYbシリケートの繊維コーティング2018

    • 著者名/発表者名
      原 朋弘, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] SiC/SiC向けYbシリケート繊維コーティングの開発2018

    • 著者名/発表者名
      後藤 健, 伊藤暁彦, 高橋誠治, 松田哲志, 北岡諭, 後藤孝
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] ZrO2界面相を有するSiC/SiCミニコンポジットの作製と界面力学特性の評価2018

    • 著者名/発表者名
      池田憲優, 松村佳子, 後藤 健, 向後保雄, 井上 遼, 伊藤暁彦, 伊海雅和
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD 法による自己配向Y2O3膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      小澤祐哉, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第31回秋期シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 気相法による新しい光学材料の合成法の開発2018

    • 著者名/発表者名
      伊藤暁彦
    • 学会等名
      第13回次世代先端光科学研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 気相からのHfO2-Al2O3共晶系ナノ複合膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      松本昭源, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      2018年度エンジニアリングセラミックス若手セミナー
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるSrO-Fe2O3系膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      加藤起基, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるTiO2膜コーティング2018

    • 著者名/発表者名
      北村朱里, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるエピタキシャルY2O3膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      小澤祐哉, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出法によるYbシリケートの繊維コーティング2018

    • 著者名/発表者名
      原 朋弘, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるY2O3-Fe2O3系薄膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      相田穂乃香, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法を用いたWO3膜の合成2018

    • 著者名/発表者名
      森下裕貴, 伊藤暁彦
    • 学会等名
      先進セラミックス研究会 若手セミナー2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] ナノ構造制御した高機能ナノ複相膜コーティング技術2018

    • 著者名/発表者名
      伊藤暁彦
    • 学会等名
      JSTイノベーション・ジャパン2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Chemical Vapor Deposition of Nanostructured Ceramic Coatings2018

    • 著者名/発表者名
      Akihiko Ito
    • 学会等名
      ISAC-6
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Nanostructured Ceramic Coatings Synthesized by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition2018

    • 著者名/発表者名
      Akihiko Ito
    • 学会等名
      ICACC 2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 気相法とレーザープロセスを活用したセラミックスコーティング2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤暁彦
    • 学会等名
      第6回バルクセラミックス若手セミナー
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 化学気相析出法によるハフニア厚膜の高速合成2017

    • 著者名/発表者名
      松本昭源、伊藤暁彦
    • 学会等名
      第6回バルクセラミックス若手セミナー
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] High-speed Structural Control for Functionalization of Various Oxide Films2017

    • 著者名/発表者名
      Akihiko Ito
    • 学会等名
      ICMCTF-2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [備考] ITO LAB | YNU - 横浜国立大学大学院 環境情報研究院 伊藤研究室

    • URL

      https://itonium.net/ynu/

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [備考] 横浜国立大学 研究者総覧 - 伊藤暁彦

    • URL

      https://er-web.ynu.ac.jp/html/ITO_Akihiko/ja.html

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [備考] 伊藤暁彦研究室 :: 横浜国立大学大学院 環境情報研究院 :: 化学EP

    • URL

      http://itonium.net/ynu/

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [産業財産権] セラミックス被膜とその製造方法2020

    • 発明者名
      伊藤暁彦, 松本昭源
    • 権利者名
      伊藤暁彦, 松本昭源
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-058685
    • 出願年月日
      2020
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [産業財産権] セラミックス蛍光体およびセラミックス蛍光体の製造方法2020

    • 発明者名
      伊藤暁彦, 松本昭源, 柳田健之, 河口範明
    • 権利者名
      伊藤暁彦, 松本昭源, 柳田健之, 河口範明
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-048265
    • 出願年月日
      2020
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書

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公開日: 2017-04-28   更新日: 2021-02-19  

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