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電流注入により室温発振するZnOポラリトンレーザの創製

研究課題

研究課題/領域番号 17H06514
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
研究分野 結晶工学
研究機関東北大学

研究代表者

嶋 紘平  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (40805173)

研究期間 (年度) 2017-08-25 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2018年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
キーワード酸化亜鉛 / 分布ブラッグ反射鏡 / 微小共振器 / 励起子ポラリトン / ヘリコン波励起プラズマ
研究成果の概要

室温で電流注入動作するポラリトンレーザの創製を目指し、ZnO微小共振器の形成およびpn接合の要素技術を開拓した。励起子ポラリトンの寿命を延ばすために、高い反射率と広いストップバンド幅を有する誘電体分布ブラッグ反射鏡を、反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ(R-HWPS)法により形成した。貫通転位や点欠陥性の非輻射再結合中心が極力排除され130 psの室温バンド端発光寿命を呈するZnO活性層を、単結晶ZnO基板の薄膜化プロセスにより形成した。また、n型ZnOとのTYPE-II型ヘテロ界面形成が期待され高いキャリア濃度を有するp型NiOをR-HWPS法により製膜した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究成果は、未だ達成されていないポラリトンレーザの室温での電流注入駆動に必要な要素技術を開拓した点にある。今後、室温での電流注入動作を実現できれば、「新しい動作原理に基づくポラリトンレーザは実用化の観点で半導体レーザよりも省電力化に寄与するか」という学術的問いに答えられると考えている。また、本デバイスは超低閾値な新型光源として省エネに貢献できる可能性がある。なかでも、ワイドギャップ半導体であるZnOの特徴を活かした近~深紫外線領域のポラリトンレーザが実現されれば、演色性に優れた自然な白色照明、殺菌・浄水デバイス、高密度光情報記録素子などを実現でき、電子・環境・情報通信分野に貢献できる。

報告書

(3件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2019 2018 その他

すべて 学会発表 (10件) (うち国際学会 2件) 備考 (1件)

  • [学会発表] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるp型NiO薄膜の堆積2019

    • 著者名/発表者名
      嶋紘平、小島一信、秩父重英
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 水熱合成単結晶ZnO基板の薄膜化プロセスと微小共振器構造への応用2019

    • 著者名/発表者名
      嶋紘平、小島一信、秩父重英
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成(1)2018

    • 著者名/発表者名
      粕谷拓生, 嶋紘平, 菊地清, 小島一信, 秩父重英
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成(2)2018

    • 著者名/発表者名
      嶋紘平, 粕谷拓生, 菊地清, 小島一信, 秩父重英
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] A comparative study on SiO2/ZrO2 and SiO2/HfO2 distributed Bragg reflectors for ZnO-based microcavities2018

    • 著者名/発表者名
      K. Shima, T. Kasuya, K. Furusawa, K. Kojima, and S. F. Chichibu
    • 学会等名
      The 10th International Workshop on ZnO and Other Oxide Semiconductors (IWZnO2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of a ZnO-based microcavity using the reactive helicon-wave-excited-plasma sputtering method2018

    • 著者名/発表者名
      T. Kasuya, K. Shima, K. Kojima, K. Furusawa, and S. F. Chichibu
    • 学会等名
      The 10th International Workshop on ZnO and Other Oxide Semiconductors (IWZnO2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるSiO2/HfO2誘電体分布ブラッグ反射鏡の作製2018

    • 著者名/発表者名
      嶋紘平、粕谷拓生、小島一信、秩父重英
    • 学会等名
      第79回応用物理学会春秋学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 時間分解フォトルミネッセンスによるZnOのプロセス誘起欠陥の評価2018

    • 著者名/発表者名
      粕谷拓生、嶋紘平、小島一信、秩父重英
    • 学会等名
      第79回応用物理学会春秋学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成 (1)2018

    • 著者名/発表者名
      粕谷拓生, 嶋紘平, 菊地清, 小島一信, 秩父重英
    • 学会等名
      2018年春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成 (2)2018

    • 著者名/発表者名
      嶋紘平, 粕谷拓生, 菊地清, 小島一信, 秩父重英
    • 学会等名
      2018年春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [備考] 東北大学 多元物質科学研究所 秩父研究室HP

    • URL

      http://www2.tagen.tohoku.ac.jp/lab/chichibu/html/index-j.html

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書

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公開日: 2017-08-25   更新日: 2022-01-27  

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