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タイコグラフィ位相回復法の高度化と回折限界軟X線集光の実現

研究課題

研究課題/領域番号 17J04201
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 光工学・光量子科学
研究機関東京大学

研究代表者

竹尾 陽子  東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2017-04-26 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
2019年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2018年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2017年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード軟X線 / 集光 / ミラー / 波面計測 / 形状計測 / タイコグラフィ / 顕微鏡 / 超精密計測 / 集光素子 / 回転楕円ミラー
研究実績の概要

軟X線は,X線の中で比較的長い波長(0.5 nm~10 nm)を持つ電磁波である.軟X線は,その帯域に軽元素のK吸収端や金属元素のL吸収端が多く存在し,物質の結晶構造,化学組成,電子状態,磁気構造を解析するうえで欠かせない.軟X線解析を行う際には集光素子を用いてビームを集約することが一般的である.集光素子の性能,即ち集光サイズやピーク強度,色収差の有無は,解析における空間分解能,感度,波長可変性に直結する.
軟X線の理想的な集光素子として,回転楕円ミラーが提案され,その作製プロセス及び集光システムの開発が進められてきた.軟X線ビームラインにおける回転楕円ミラーの集光性能の評価を続ける中で,3点の課題が明らかになった.第一に,ミラー中央部を通過する光のために利用効率が高くならないこと.第二に,ミラーの設置角度精度が0.1 μradと極端に厳しいこと.第三に,作製の過程で回転楕円ミラーの中心軸が弓状に撓むことである.これら課題に応えるために,リング集光ミラーと準ウォルターミラーからなる二段集光光学系(Motoyama, 2015)を設計した.リング集光ミラーの導入により第一の課題が解決し,回転楕円ミラーを準ウォルターミラーに変更することにより第二,第三の課題が解消された.
本光学系を検証するために,SPrin-8の軟X線ビームラインBL25SUにおいて集光実験を実施した.300 eVにおいて,鉛直・水平ともに200 nmの集光サイズと45%の利用効率が達成され,これらはミラーを用いた軟X線集光において画期的な値である.また,タイコグラフィ法に基づく波面計測を実施することで,ミラーの形状誤差を定量的に評価した.
構築した光学系の応用例として,タイコグラフィ法を用いたPt/Co薄膜試料の磁区観察を実施し,Line and Spaceで100 nmの分解能が確認された.

現在までの達成度 (段落)

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 3件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror2020

    • 著者名/発表者名
      Yoko Takeo, Akihiro Suzuki, Hiroto Motoyama, Yoshinori Takei, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura1Applied Physics Letters
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 116 号: 12 ページ: 121102-121102

    • DOI

      10.1063/1.5144932

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Probing the spatial coherence of soft X-ray beams with Fresnel mirrors at BL25SU of SPring-82019

    • 著者名/発表者名
      Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • 雑誌名

      Journal of Synchrotron Radiation

      巻: 26 号: 3 ページ: 756-761

    • DOI

      10.1107/s1600577519002583

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of a precise ellipsoidal mirror for soft X-ray nanofocusing2018

    • 著者名/発表者名
      Mimura Hidekazu、Takei Yoshinori、Kume Takehiro、Takeo Yoko、Motoyama Hiroto、Egawa Satoru、Matsuzawa Yusuke、Yamaguchi Gota、Senba Yasunori、Kishimoto Hikaru、Ohashi Haruhiko
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 89 号: 9 ページ: 093104-093104

    • DOI

      10.1063/1.5035323

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Soft X-ray focusing system using ellipsoidal mirror for ptychographic imaging2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Takeo, A. Suzuki, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • 学会等名
      nternational Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 軟X線タイコグラフィを用いた回転楕円ミラーの形状評価2019

    • 著者名/発表者名
      竹尾陽子,鈴木明大,仙波泰徳,岸本輝,大橋治彦,三村秀和
    • 学会等名
      2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 回転楕円ミラーによる高NA集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ計測2019

    • 著者名/発表者名
      竹尾陽子
    • 学会等名
      第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 回転楕円ミラーによるナノ集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ顕微鏡の開発2018

    • 著者名/発表者名
      竹尾陽子
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 放射光軟X線による回転楕円ミラーの集光特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      竹尾陽子、本山央人、岸本輝、仙波泰徳、大橋治彦、三村秀和
    • 学会等名
      第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Development of soft x-ray focusing system with ellipsoidal mirror2017

    • 著者名/発表者名
      Yoko Takeo, Hiroto Motoyama, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      OPTICS & PHOTONICS International Congress 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Wavefront measuring system using ptychography for soft X-ray focusing beam with ellipsoidal mirror2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, H. Mimura
    • 学会等名
      The 24th Congress of the International Commission for Optics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 軟X線集光用高精度回転楕円ミラーの開発2017

    • 著者名/発表者名
      竹尾陽子
    • 学会等名
      第14回X線結像光学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演

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公開日: 2017-05-25   更新日: 2024-03-26  

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